一种磁耦合谐振式频率检测装置的制作方法

文档序号:15491928发布日期:2018-09-21 20:46阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种磁耦合谐振式频率检测装置,属于精密传感器领域。Z轴调整装置和激振装置均固定在底座上,主动梁单元固定在激振装置上,主动梁单元的磁性材料通过主动梁表面的中间结合层和主动梁固定在一起,被动梁单元包括前端导体开口回路、被动梁梁身、上电极和下电极,应力应变敏感膜、侧电极和输出端子,主动梁单元和被动梁单元构成磁耦合同步共振结构,侧电极和应力应变膜的电极均能实现检测信号的输出。本实用新型基于磁耦合同步共振,具有高灵敏度,高分辨率的特点,并能减少相位噪声,自由调整量程和放大倍数,具有良好的互换性,在匹配识别,物联网传感网络等领域有着潜在的用途和重大应用前景。

技术研发人员:王东方;万胜来;杜旭;郑果文;夏操;马文瑞;田利峰;杨旭;刘欣;王昕
受保护的技术使用者:吉林大学
技术研发日:2017.11.28
技术公布日:2018.09.21

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