光学谐振腔和气体检测系统的制作方法

文档序号:15015716发布日期:2018-07-24 23:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.光学谐振腔,其特征在于,包括腔体,所述腔体具有第一端和第二端,所述腔体的所述第一端和所述第二端安装有腔镜,所述腔镜安装在安装片上,所述安装片插入到安装槽中,在所述第一端和所述第二端分别设置一对所述安装槽,在同一端的一对安装槽开口相对,在所述安装槽中,设置有压缩性弹性元件,所述压缩性弹性元件的形变方向为所述安装槽的深度方向。

2.根据权利要求1所述的光学谐振腔,其特征在于,每个所述安装槽的槽内的两侧面设有夹持垫,所述夹持垫夹持所述安装片。

3.根据权利要求2所述的光学谐振腔,其特征在于,所述安装槽由安装槽夹板形成,所述安装槽夹板的朝向位于所述腔体同一端的另一安装槽的端面上设置有第一距离传感器,所述第一距离传感器朝向所述安装片,所述第一距离传感器用于测定所述第一距离传感器与其所朝向的所述安装片之间的距离。

4.根据权利要求1或2或3所述的光学谐振腔,其特征在于,在所述腔体的第一端和第二端的内侧,也分别设置有第二距离传感器,所述第二距离传感器朝向所述腔镜,所述第二距离传感器用于测定所述第二距离传感器与其所朝向的所述腔镜之间的距离。

5.根据权利要求1或2或3所述的光学谐振腔,其特征在于,所述腔体还设有氮气入口、氮气出口、待测气体入口和待测气体出口,所述氮气出口、所述氮气入口设在所述腔体的底部,所述待测气体入口和所述待测气体出口设在所述腔体的顶部。

6.根据权利要求5所述的光学谐振腔,其特征在于,所述氮气出口设有流量计,所述流量计用于测定所述腔体中排出的氮气流速。

7.根据权利要求5所述的光学谐振腔,其特征在于,所述待测气体出口上以可拆卸的方式设置有气体收集袋。

8.根据权利要求1或2或3或6或7所述的光学谐振腔,其特征在于,所述腔体外壁的底部安装有减震缓冲块。

9.气体检测系统,其特征在于,设置有权利要求1-8中任一项所述的光学谐振腔。

10.根据权利要求9所述的气体检测系统,其特征在于,还包括激光器、入射光调节抛物面镜、全反镜、透镜、出射光调节抛面镜、探测器,所述激光器、所述入射光调节抛物面镜、所述全反镜、透镜依次设置在所述光学谐振腔的入射光路上,所述入射光调节抛物面镜用于将所述激光器发射的激光反射到所述全反镜上,所述全反镜用于将激光反射到透镜上,所述透镜用于将光线折射到所述光学谐振腔的入口,所述出射光调节抛面镜、所述探测器依次设置在所述光学谐振腔的出射光路上,所述出射光调节抛面镜用于将所述探测器反射到所述探测器上。

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