腐蚀环境监测装置的制作方法

本发明涉及一种以室内环境、主要是设置有电气电子装置的环境为对象，测定由存在于该环境中的腐蚀性气体引起的腐蚀程度的腐蚀环境监测装置。

背景技术

在电气电子装置中，为了使对象装置稳定地运转的目的，要求长期的可靠性。另外为了高速化或省空间化，搭载有许多采用高密度安装结构并由精细布线结构或薄膜电镀结构组成的电力电子部件。在这些电力电子部件中轻微的腐蚀损伤会使电气特性或磁特性发生变化从而成为故障或误动作的原因，因此抑制该腐蚀损伤被列举在电气电子装置的可靠性上的问题中。为了使与环境的腐蚀性的程度相应的防蚀对策反映于设计以及维护，要求简单地在短时间内高精度地持续评价电气电子装置的设置环境的腐蚀性。另外在电气电子装置中，为了省空间化，对环境的腐蚀性进行诊断的装置也要求小型轻量。

对此，作为对电气电子装置的设置环境的腐蚀性进行评价的方法，在iso11844-1标准中，通常使用对暴露了一定期间的铜、银、铝、铁、锌的腐蚀程度进行评价的方法。已知虽然影响程度不同,但铜、银、铝、铁、锌在so2、no2、h2s的任一种腐蚀性气体中会腐蚀。在iso标准中，对暴露了1年的金属的腐蚀程度用重量法来进行定量化，或者对暴露的金属的腐蚀生成物用电气化学测定来进行定量化。

另外作为对环境的腐蚀性进行评价的其他的方法，报告了来自ashrae(美国供暖制冷空调学会)的对数据中心设置环境的腐蚀性进行评价的指导书(ashraetc9.9、2011gaseousandparticulatecontaminationguidelinesfordatacenters，ashraetc9.9、2011数据中心有害气体和颗粒物污染指导书)。在ashrae指导书中，对暴露了1个月的金属的腐蚀程度用电气化学测定来进行定量化。

进一步地作为本技术领域的背景技术，在专利文献1、2中，记载着采用如下的气氛调查方法：“作为对存在于环境气氛中的腐蚀性气体的种类和浓度进行测定的方法，其特征在于，对于由铜、银、铝、铁以及52合金组成的5种金属片，预先求出表示腐蚀性气体的浓度和通过放置规定期间而产生的腐蚀生成物的x射线强度的相关关系的x射线微量分析仪的检量线，并将所述5种金属片放置于被调查环境气氛中规定期间，根据腐蚀状态推断腐蚀性气体的种类后，对该腐蚀生成物通过x射线微量分析仪求腐蚀性气体成分的x射线强度，并与所述检量线比较从而求出气体的浓度”。

另外，作为根据金属的腐蚀厚度对环境的腐蚀性进行定量化的装置，在专利文献3中记载了采用如下环境评价方式以及使用该方式的环境评价装置，“其特征在于，在一块绝缘物基板上依次形成由金属或其合金，或者其化合物组成的2种以上的不同材料所组成的薄膜，每个薄膜具有不同的物理的或/和化学的性质，构成利用该薄膜所具有的物理的或/和化学的性质的差异来对多个环境中的气体成分进行检测的检测元件，检测该元件的材料的物理的或/和化学的特性的变化从而进行环境评价”。

另外，作为根据金属的腐蚀厚度对环境的腐蚀性进行定量化的装置，在专利文献4中记载了如下腐蚀环境监测装置，“其特征在于，具备第一腐蚀环境监测部以及第二腐蚀环境监测部，第一腐蚀环境监测部以及第二腐蚀环境监测部由具有一个开口部的通道结构和金属薄膜构成，与来自所述开口部的腐蚀性物质的扩散方向平行的通道结构的一部分的壁面由透明基板形成，金属薄膜形成于所述透明基板上，所述第一腐蚀环境监测部以及第二腐蚀环境监测部能够透过所述透明基板对因在被测定环境中放置了规定期间的所述金属薄膜的腐蚀生成物而变化了的色调的区域的形状大小进行测定，所述第一腐蚀环境监测部的金属薄膜由规定的材料构成，并且所述第二腐蚀环境监测部的金属薄膜是由与所述第一腐蚀环境监测部的金属薄膜的材料不同的材料构成”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭63-305232号公报

专利文献2：日本特开平6-117976号公报

专利文献3：日本特开2003-294606号公报

专利文献4：日本专利第5798955号

技术实现要素：

发明要解决的问题

如上所述，针对评价电气电子装置的设置环境的腐蚀性的手法，提出了种种提案，例如在专利文献1、2的气氛调查方法中，放置于电气电子装置的设置环境气氛中规定期间后，回收金属板并带回，使用荧光x射线分析装置等分析装置分析吸附于该金属板的表面的气体。为此，存在如下问题：在电气电子装置的设置环境当场分析金属板并定量地诊断环境的腐蚀性是困难的。另外还存在如下问题：这些气氛调查装置设置于被高密度安装的电气电子装置内是困难的。

另外例如在专利文献3的环境评价方式以及使用该方式的环境评价装置中，为了检测出薄膜元件的反光率、透光率、电阻元件的变化并转换为电信号，需要驱动电路的电源。存在如下问题：在客户环境下使用时，不能根据客户的情况准备电源，使用环境测定装置是困难的。

另外例如在专利文献4的腐蚀环境监测装置中，腐蚀环境监测装置由具有一个开口部的通道结构和金属薄膜构成，与来自所述开口部的腐蚀性物质的扩散方向平行的通道结构的一部分的壁面由透明基板形成，金属薄膜形成于所述透明基板上，能够将金属薄膜的变色区域的长度换算为暴露金属板时的腐蚀厚度。存在如下问题：在数据中心等相对干净的环境中，实施了ashrae指导书指定的1个月的暴露的话，则金属薄膜的变色区域小且其长度短，因此用ashrae指导书评价(容许的银的腐蚀厚度在20nm以下，铜的腐蚀厚度在30nm以下)金属的腐蚀程度是困难的。

在相对被污染的环境下使用专利文献4的面向相对干净的环境而设定的腐蚀环境监测装置的情况下，存在如下问题：实施了iso11844-1标准指定的1年的曝露的话，金属薄膜全部变色，因此测定腐蚀程度是困难的。

另外作为这些专利文献1、2、3、4中共同的问题，存在有如下问题：无论在哪一个腐蚀环境监测装置中，仅具有一个传感部，并且偏差大的腐蚀数据的校正是困难的。

根据以上内容，在本发明中，目的在于提供一种不需要特别的分析仪器，就能够在当场，在成为诊断对象的电子设备壳体内的狭小的空间，从短期到长期对金属的腐蚀程度进行测定，而不需要商用电源或蓄电池等的电源。

解决问题的技术手段

为了解决上述问题，本发明的腐蚀环境监测装置具备传感器部，所述传感器部是在箱型形状的通道结构的与开口部相对的上下表面或侧面的一部分表面配置金属薄膜2，并用透明基板覆盖金属薄膜而形成的，所述通道结构的一端被封闭，另一端被设置成开口部，所述腐蚀环境监测装置的特征在于，具备多个腐蚀环境监测部，所述多个腐蚀环境监测部的开口部相邻地配置，多个腐蚀环境监测部中的金属薄膜的腐蚀检测条件被设置为不同。

发明的效果

根据本发明，不需要特别的分析设备，就能够在当场，在成为诊断对象的电子设备壳体内的狭小的空间，从短期到长期测定金属的腐蚀程度，而不需要商用电源或蓄电池等电源。

例如根据本发明的实施例，能够根据ashrae指导书诊断1个月的短期的暴露下在相对干净的环境中的腐蚀性，进一步地能够根据iso-11844-1标准诊断1年的长期的曝露下在相对被污染的环境中的腐蚀性。

附图说明

图1是实施例1的腐蚀环境监测装置的立体图。

图2是实施例1的腐蚀环境监测装置的俯视图。

图3是图2的腐蚀环境监测装置的a-a截面图。

图4是图2的腐蚀环境监测装置的b-b截面图。

图5是示出实施例1的腐蚀环境监测装置暴露后的金属薄膜的腐蚀情况的俯视图。

图6是图5的腐蚀环境监测装置的a-a截面图。

图7是图5的腐蚀环境监测装置的b-b截面图。

图8是示出宽幅传感器和窄幅传感器中的、金属薄膜的变色区域的长度和腐蚀厚度的关系的图。

图9是示出实施例的腐蚀环境监测装置中的、窄幅金属薄膜的变色区域的长度与宽幅金属薄膜的变色区域的长度的比和腐蚀厚度的关系的图。

图10是现有的腐蚀环境监测装置的立体图。

图11是现有的腐蚀环境监测装置的俯视图。

图12是图11的腐蚀环境监测装置的b-b截面图。

图13是示出现有的腐蚀环境监测装置暴露后的金属薄膜的腐蚀情况的俯视图。

图14是示出现有的腐蚀环境监测装置暴露后的金属薄膜的腐蚀情况的图11的b-b截面图。

图15是示出现有的腐蚀环境监测装置中的、金属薄膜的变色区域的长度和腐蚀厚度的关系例子的图。

图16是实施例2涉及的腐蚀环境监测装置的立体图。

图17是实施例2的腐蚀环境监测装置的俯视图。

图18是示出实施例2的腐蚀环境监测装置暴露后的金属薄膜的腐蚀情况的俯视图。

图19是示出实施例2中的金属薄膜的变色区域的长度和腐蚀厚度的关系的图。

图20是示出实施例2中的高开口部的变色区域的长度与低开口部的变色区域的长度的比和腐蚀厚度的关系的图。

图21是实施例3涉及的腐蚀环境监测装置的立体图。

图22是实施例4涉及的腐蚀环境监测装置的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施例进行说明。在本实施例中，主要对测定由存在于电气电子装置的设置环境中的腐蚀性物质引起的腐蚀程度的腐蚀环境监测装置的例子进行说明。

在对本发明的实施例进行说明时，为了理解该构造的特征，与现有的构造对比来进行说明是合适的。为此在以下的说明中，决定首先对现有的腐蚀环境监测装置的构成进行说明。

首先在图10～12中示出现有的腐蚀环境监测装置的构成例并进行说明。图10是现有的腐蚀环境监测装置的立体图，图11是现有的腐蚀环境监测装置的俯视图，图12是图11的b-b截面图。

如图10的立体图所示，腐蚀环境监测装置1在箱型形状的中心部形成有通道结构4，该通道结构4的一端被封闭，另一端被设置为开口部5。另外在构成通道结构4的侧面、上下表面、内表面之中，用金属薄膜2形成上表面，进一步地用透明基板3覆盖着金属薄膜2。由此使得从腐蚀环境监测装置1的上方能够看到金属薄膜2的腐蚀情况。

根据该构造，金属薄膜2构成传感器部，并安装于具有开口部5的通道结构4内的一部分的壁面(在图10的情况下是上表面)。另外以使金属薄膜2的成膜面在通道结构4一侧且透明基板3在周围气氛一侧的方式，即能够透过透明基板3从周围气氛一侧(在图10中是上侧)观察金属薄膜2的方式来进行安装。金属薄膜2除了能够采用电气电子装置设置环境的腐蚀环境监测中使用的铜、银之外，还能够采用铝、铁、锌等金属和腐蚀生成物的色调不同的金属。

将现有的腐蚀环境监测装置1暴露于环境中时，存在于环境中的腐蚀性物质6从通道结构4的开口部5侵入，从而腐蚀金属薄膜2。在该情况下，通道结构4还具有控制由存在于环境中的腐蚀性物质6引起的传感器部即金属薄膜2的腐蚀速度的作用。在通道结构4中，开口部5为一个(在图11、12中通道结构的左侧)，通道结构的右侧没有开口部并且与周围环境隔断。在这里腐蚀性物质有腐蚀性气体、外来海盐(飛来海塩)、尘埃等，以下将腐蚀性气体作为代表进行叙述。

根据图11的俯视图，由于一端被封闭(图的右侧)，通道结构4不会变成通风路，因此存在于环境中的腐蚀性气体6从通道结构4的开口部5随着时间流逝缓缓侵入进来。在该图中6'表示进入通道结构4内的腐蚀性气体6，根据示出图11的b-b截面的图12，侵入内部的腐蚀性物质6'与开口部5一侧的金属薄膜2相接触。

接下来，对通过现有的腐蚀环境监测装置1将侵入通道结构4内并扩散了的开口部5附近的腐蚀性气体6'定量化的方法进行叙述。

在图10的腐蚀环境监测装置1中，将腐蚀性气体6'的扩散限定为从纸面左侧的方向，从而控制着腐蚀环境监测装置1上的腐蚀。离开口部5的距离越近则腐蚀性气体6'的浓度流束越大，因此在金属薄膜2中，与开口部5越接近的左侧腐蚀量变得越大。该举措被记载于例如“硫磺气体环境中的银的腐蚀速度的推算”材料和环境第56卷、p256-271(2007)。在该文献中，通过利用金属板进行的实验和解析求出腐蚀速度随着远离腐蚀性气体6'的发生源而减少这一情况。通过使用该手法，能够解析腐蚀环境监测装置的腐蚀举措。

在这里使用了金属薄膜2，因此在腐蚀厚度变成和金属薄膜2的厚度相同的区域(金属薄膜2腐蚀到与透明基板3的边界面的区域)腐蚀的进展停止。当从透明基板3一侧观察该金属薄膜2的区域时，能够确认正在从金属薄膜2的金属的色调变化为腐蚀生成物的色调。

在图13的俯视图和图14的b-b截面图中示出腐蚀环境监测装置1的暴露后的金属薄膜2的腐蚀情况。根据图13，在腐蚀厚度由于金属薄膜2的腐蚀的进展而变得和薄膜厚度相同的区域(金属薄膜腐蚀到与基板的边界面的区域)中，腐蚀不再继续进行。存在于环境中的腐蚀性气体6从与开口部5接近的左侧持续扩散，进一步地使右侧的金属薄膜腐蚀。如图13的俯视图和图14的b-b截面图所示，膜厚方向全部腐蚀的金属薄膜2的区域7(图中从左端到b点为止的距离)随着暴露时间的流逝向右侧扩展。

在ashrae指导书中，根据暴露了1个月的金属的腐蚀生成物的厚度诊断环境的腐蚀性。暴露的金属的腐蚀生成物的厚度能够根据现有技术通过腐蚀环境监测装置由膜厚方向全部腐蚀的金属薄膜的区域7的长度换算而得。膜厚方向全部腐蚀的金属薄膜的区域7的长度的伸长速度依赖于金属薄膜的厚度和开口部的高度。金属薄膜越薄，开口部越高，该伸长速度越快。

在图15中示出腐蚀环境监测装置1中膜厚方向全部腐蚀的金属薄膜2的区域7的长度和暴露的金属板的腐蚀生成物的厚度的关系的一个例子。图15是横轴为变色的区域7的长度、纵轴示出暴露的金属板的腐蚀生成物的厚度的图，具体来说示出了银薄膜厚度20nm、通道高度2mm、通道宽度5mm、通道长度20mm时的特性。

根据该特性，可以得知曲线的倾斜度相对较大，并且即使腐蚀的金属薄膜的区域7的长度略微伸长，暴露的金属板的腐蚀生成物的厚度也会大幅增大(测定精度低)。为了高精度的求暴露的金属板的腐蚀生成物的厚度，需要曲线的倾斜度小(即使腐蚀的金属薄膜的区域7的长度大幅伸长，暴露的金属板的腐蚀生成物的厚度也只略微增大)的腐蚀环境监测装置。

另外，ashrae指导书中根据暴露了1个月的金属的腐蚀生成物的厚度来诊断环境的腐蚀性，或者iso1844-1标准中根据暴露了1年的金属的腐蚀生成物的厚度来诊断环境的腐蚀性。

为此，需要能够适用于两者的标准的腐蚀环境监测装置。

实施例1

以上，由于现有的腐蚀环境监测装置的构成和问题变得明确，所以以下对本发明的腐蚀环境监测装置的构成进行说明。在图1～图7中示出本发明的实施例1涉及的腐蚀环境监测装置的构成例和作用。图1是示出本发明的实施例1涉及的腐蚀环境监测装置的整体构成的立体图，图2是图1的俯视图，图3是图2的a-a截面图，图4是图2的b-b截面图。另外图5、图6、图7分别表示示出实施例1的腐蚀环境监测装置的暴露后的金属薄膜的腐蚀情况的俯视图、图5的腐蚀环境监测装置的a-a截面图、图5的腐蚀环境监测装置的b-b截面图。

将图1的本发明的实施例1涉及的腐蚀环境监测装置1与图10的现有的腐蚀环境监测装置1比较，很明显地，在实施例1的腐蚀环境监测装置1中设置有多组(在图1中是2组)腐蚀环境监测部。并且腐蚀环境监测部中的腐蚀监测条件被设置为不同。在图1的实施例1中，对于传感器部即金属薄膜2，是设置有与图10相同条件(用金属薄膜覆盖通道结构4的全部上表面)的第1金属薄膜2和与图10不同条件(沿进深方向将金属薄膜配置于通道结构4的上表面的一部分中)的第2金属薄膜2'。另外，其他条件(通道结构4的构造、腐蚀性气体6等)被设置为相同。

进一步具体地进行说明。在腐蚀环境监测装置1中具有由附设于透明基板3上的金属薄膜2、2'构成的传感器部。金属薄膜2的宽度和通道结构4的宽度相同，金属薄膜2'的宽度比通道结构4的宽度窄。

在实施例1的构成的情况下，如图2的俯视图所示，关于腐蚀性气体6'的流动，在金属薄膜2的通道结构中腐蚀性气体6'朝与通道结构平行的方向扩散并与金属薄膜发生反应，相对于此，在金属薄膜2'的通道结构中腐蚀性气体6'朝与通道结构平行的方向扩散，且朝垂直方向扩散(从金属薄膜2的侧面扩散)。

为此，如示出实施例1的腐蚀环境监测装置的暴露后的金属薄膜的腐蚀情况的图5所示，可以得到如下腐蚀结果：即使是相同厚度的金属薄膜，金属薄膜2'的变色区域的长度(从图5的左端到a点为止的距离)比金属薄膜2的变色区域的长度(从图5的左端到b点为止的距离)更长。对此进一步详细地进行说明。

虽然图8是和图15同样地示出腐蚀环境监测装置1中膜厚方向全部腐蚀的金属薄膜2的区域7的长度和暴露的金属板的腐蚀生成物的厚度的关系的一个例子的图，但对比示出了宽幅传感器(金属薄膜2)和窄幅传感器(金属薄膜2')中的特性的差异。

图8的事例示出了对于窄幅金属薄膜2'设为银薄膜宽度1mm、银薄膜厚度20nm、通道高度2mm、通道宽度20mm、通道长度20mm，对于宽幅金属薄膜2设为银薄膜宽度5mm、银薄膜厚度20nm、通道高度2mm、通道宽度5mm、通道长度20mm并进行测量所得到的结果。像这样当采用宽度不同的金属薄膜时，能够用窄幅的金属薄膜2'面向ashrae指导书求出暴露了1个月的金属的腐蚀生成物的厚度，并用宽幅的金属薄膜2按照iso11844-1标准求出暴露了1年的金属的腐蚀生成物的厚度。

根据该图8的关系，优选的是，当将金属薄膜2设置为比通道结构4的宽度窄时，窄幅金属薄膜2'相对于宽幅金属薄膜2由1/5以下的宽度构成。由此能够同时测定ashrae指导书中的暴露了1个月和iso11844-1标准中的暴露了1年的金属的腐蚀程度。

像这样在本发明的腐蚀环境监测装置1中，使用两种金属薄膜2，2'，因此能够用2种方法求腐蚀生成物的厚度并求平均值。能够进一步地算出窄幅金属薄膜的变色区域的长度与宽幅金属薄膜的变色区域的长度的比，根据该值求腐蚀生成物的厚度。进一步地在本发明的腐蚀环境监测装置1中，通过用3种方法求腐蚀生成物的厚度并进行平均化，能够高精度地推算腐蚀生成物的厚度。

在这里，对根据窄幅金属薄膜2'的变色区域7的长度与宽幅金属薄膜2的变色区域7的长度的比求腐蚀生成物的厚度的方法进行说明。如图8中所示，得知金属薄膜的变色区域的长度和腐蚀厚度的关系如下：随着金属薄膜的宽度相对于通道结构的宽度变窄而示出线性，相反，金属薄膜的宽度相对于通道结构的宽度变得相同则示出非线性。如果利用该线性的差异，就能根据窄幅金属薄膜的变色区域的长度与宽幅金属薄膜的变色区域的长度的比求腐蚀生成物的厚度。

在图9中示出从图8求得的窄幅金属薄膜的变色区域的长度与宽幅金属薄膜的变色区域的长度的比和腐蚀厚度的关系的例子。在腐蚀厚度的绝对量少的范围内，变色区域的长度的比和腐蚀厚度具有良好的直线关系。该方法是适宜于高精度地推算腐蚀生成物的厚度的方法。

实施例2

在图16～17中示出本发明的实施例2涉及的腐蚀环境监测装置的构成例。图16是立体图，图17是俯视图。

将图16的本发明的实施例2涉及的腐蚀环境监测装置1与图1的实施例1的腐蚀环境监测装置1相比较，很明显地，设计有多组(在图16中是2组)相同构成的金属薄膜这点是共同的，但作为腐蚀环境监测部中的腐蚀检测条件的通道结构4、以及开口部5的大小被设置为不同。

进一步具体地进行说明。在腐蚀环境监测装置1中，配置有由附设于透明基板3上的二组金属薄膜2构成的传感器部。金属薄膜2都具有与通道结构4相同的宽度。然而，是通道结构4的开口部5和5'的高度不同的构造。

在图18的俯视图中示出该情况下的腐蚀环境监测装置1的暴露后的金属薄膜的腐蚀情况。相对于开口部5的通道，在开口部5'的通道中，腐蚀性气体6与开口部5'扩大程度相应地扩散至通道内部。为此，即使是相同厚度的金属薄膜2，也可以得到开口部5'的变色区域的长度(从图18的左端到a点为止的距离)比开口部5的变色区域的长度(从图18的左端到b点为止的距离)长的测量结果。

图19示出了金属薄膜的变色区域的长度和腐蚀厚度的关系的一个例子。这是对于高通道结构设为银薄膜厚度20nm、通道高度10mm、通道宽度5mm、通道长度20mm，对于低通道结构设为银薄膜厚度20nm、通道高度2mm、通道宽度5mm、通道长度20mm并进行测量所得到的结果。像这样采用高度不同的开口部时，能够通过高开口部5'面向ashrae指导书求出暴露了1个月的金属的腐蚀生成物的厚度，通过低开口部5按照iso11844-1标准求出暴露了1年的金属的腐蚀生成物的厚度。

在实施例2的腐蚀环境监测装置1中，使用2种开口部，因此能够用2种方法求腐蚀生成物的厚度并求平均值。进一步地由于使用2种金属薄膜，因此能够计算出高开口部(窄开口部)的变色区域的长度与低开口部(宽开口部)的变色区域的长度的比，并根据该值求腐蚀生成物的厚度。进一步地在实施例2的腐蚀环境监测装置1中，通过用3种方法求腐蚀生成物的厚度并进行平均化，能够高精度地推算腐蚀生成物的厚度。

在这里，对根据低开口部的变色区域的长度与高开口部的变色区域的长度的比求腐蚀生成物的厚度的方法进行说明时，该理由与所述的窄金属薄膜和宽金属薄膜的方法相同。如图19所示，得知金属薄膜的变色区域的长度和腐蚀厚度的关系随着开口部变高示出线性，相反地，开口部变低则示出非线性。如果利用该线性的差异，就能根据高开口部的变色区域的长度与低开口部的变色区域的长度的比求腐蚀生成物的厚度。

进一步地在图20中示出根据图19求得的高开口部的金属薄膜的变色区域的长度与低开口部的金属薄膜的变色区域的长度的比和腐蚀厚度的关系的例子。据此，在腐蚀厚度的绝对量少的范围内，变色区域的长度的比和腐蚀厚度具有良好的直线关系。该方法是适宜于高精度地推算腐蚀生成物的厚度的方法。

实施例3

在图21中示出了本发明的实施例3涉及的腐蚀环境监测装置的构成例。图21是并用了实施例1的宽窄幅金属薄膜的关系与实施例2的高低开口部的关系的方式。

在这里，组合实施例2的开口部的高度不同的通道结构和不同宽度的金属薄膜，从而构成具有将窄幅金属薄膜附设于高开口部的通道的传感部和将宽幅金属薄膜附设于低开口部的通道的传感部的装置。

由此，能够维持变色区域的长度的比和腐蚀厚度的良好直线关系，而且能够通过将宽幅金属薄膜附设于低开口部的通道的传感部面向ashrae指导书求出暴露了1个月的金属的腐蚀生成物的厚度，并通过将宽幅金属薄膜附设于低开口部的通道的传感部跟根据iso11844-1标准求出暴露了1年的金属的腐蚀生成物的厚度。

实施例4

在图22中示出本发明的实施例4涉及的腐蚀环境监测装置的构成例。图22是并用了实施例1的宽窄幅金属薄膜的关系与实施例2的高低开口部的关系的方式。

在实施例4中，腐蚀环境监测装置1具有由附设于透明基板3上的金属薄膜2、2'构成的传感器部。金属薄膜2的宽度和通道结构4的宽度相同，金属薄膜2'的宽度比通道结构4的宽度窄。在这里金属薄膜2'附设为与开口部的侧壁面相接触。

由此，相比将金属薄膜2附设于开口部的中心的构造，通过附设为与侧壁面相接触，能够得到与具有实质2倍宽度的构造同等的效果，并且能够为环境监测装置的省空间化作出贡献。

符号说明

1：腐蚀环境监测装置，2、2'：金属薄膜，3：透明基板，4：通道结构，5：开口部，6、6'：腐蚀性气体，7：膜厚方向全部腐蚀的金属薄膜的区域。