玻璃板的检查方法及其制造方法以及玻璃板的检查装置与流程

本发明涉及玻璃板的检查方法及其制造方法以及玻璃板的检查装置。

背景技术：

以往，在玻璃板的制造工序中，通常包含对玻璃板所含的缺陷的有无进行检查的检查工序。

作为这种检查工序，例如举出专利文献1公开的检查工序。在该文献所公开的检查工序中，在玻璃板的一方的主面侧配置光源，并且，利用在玻璃板的与光源相反的另一方的主面侧配置的相机来接受透过了玻璃板的来自光源的光，基于由相机拍摄到的光量的变化来检查玻璃板所含的缺陷的有无。另外，在该文献中还公开了如下的内容：在玻璃板的一方的主面侧配置光源，并且，利用在玻璃板的与光源相同的一方的主面侧配置的相机来接受由玻璃板反射的来自光源的光，基于由相机拍摄到的光量的变化来检查玻璃板所含的缺陷的有无。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-211415号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，在专利文献1中，作为玻璃板的缺陷，例示了玻璃板中的气泡和异物，但未公开对这些缺陷种类进行识别的技术。在气泡缺陷与异物缺陷(例如来自耐火物等的剥离物等)的情况下对玻璃板的品质造成的影响不同。因此，气泡缺陷的容许尺寸与异物缺陷的容许尺寸不同，即便是相同尺寸的缺陷，合格与否的基准也根据缺陷种类而不同。因此，需要识别气泡缺陷与异物缺陷。

另外，当要仅基于由相机拍摄到的光量的变化来检查缺陷的有无时，有时会对附着于玻璃板的表面的尘埃进行误检测。大多情况下尘埃能够通过玻璃板的清洗等而去除。通常检测到缺陷的玻璃板被废弃，因此，当将尘埃误检测为缺陷时，可能连品质上没有问题的玻璃板也被废弃。因此，还需要防止玻璃板的缺陷的误检测。

本发明的技术课题在于，在防止玻璃板的缺陷的误检测的同时，准确地进行玻璃板的缺陷种类的识别。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题而完成的本发明是一种玻璃板的检查方法，其特征在于，配置第一摄像系统和第二摄像系统，该第一摄像系统具有：第一光源；第一摄像部，其对从第一光源照射且透过了玻璃板的第一透射光进行拍摄；以及遮挡构件，其遮挡第一透射光的一部分而在第一摄像部的视场内形成亮部与暗部，该第二摄像系统具有：第二光源及第三光源；以及第二摄像部，其以亮视场拍摄从第二光源照射且透过了玻璃板的第二透射光，同时以暗视场拍摄从第三光源照射且透过了玻璃板的第三透射光，在所述玻璃板的检查方法中，基于由第一摄像系统得到的像和由第二摄像系统得到的像，来识别玻璃板的缺陷种类。根据这样的结构，根据气泡缺陷、异物缺陷等缺陷种类而从由第一摄像系统得到的像及/或由第二摄像系统得到的像中提取的特征量(例如形状、颜色等)示出特有的变化。另外同样地，在为容易误检测为缺陷的附着于玻璃板的表面的尘埃的情况下，从这两个像中提取的特征量也示出特有的变化。因此，能够基于由第一摄像系统得到的像和由第二摄像系统得到的像，准确地进行玻璃板的缺陷种类的识别。而且，若能够准确地进行缺陷种类的识别，则必然也能够防止缺陷的误检测。

在上述的结构中，优选的是，将第一光源、第二光源及第三光源设为一个光源单元，利用分束器，将从光源单元照射且透过了玻璃板的透射光分离为包含第一透射光的第一成分和包含第二透射光及第三透射光的第二成分这两个成分，利用第一摄像部隔着遮挡构件来拍摄第一成分，利用第二摄像部来拍摄第二成分。这样，能够利用第一摄像部和第二摄像部同时地对玻璃板的相同位置进行拍摄，因此，能够实现更加细致的玻璃板的检查。

在上述的结构中，也可以是，基于由第一摄像系统得到的像的有无以及由第二摄像系统得到的像的有无，来识别玻璃板中的异物缺陷。即，在为异物缺陷的情况下，有时由第一摄像系统得到像，由第二摄像系统未得到像。因此，能够基于由第一摄像系统得到的像的有无和由第二摄像系统得到的像的有无，来识别玻璃板中的异物缺陷和除此以外的情况。

在上述的结构中，也可以是，基于由第一摄像系统得到的像的面积以及由第二摄像系统得到的像的面积，来识别玻璃板中的异物缺陷与气泡缺陷。即，在为异物缺陷的情况下，存在由第一摄像系统得到的像的面积与由第二摄像系统得到的像的面积相比较大的趋势。换言之，存在(由第一摄像系统得到的像的面积)/(由第二摄像系统得到的像的面积)的值变大的趋势。与此相对，在为气泡缺陷的情况下，存在由第一摄像系统得到的像的面积与由第二摄像系统得到的像的面积相比不那么大的趋势。换言之，存在(由第一摄像系统得到的像的面积)/(由第二摄像系统得到的像的面积)的值变小的趋势。因此，能够基于由第一摄像系统得到的像的面积和由第二摄像系统得到的像的面积，来识别气泡缺陷与异物缺陷。

在上述的结构中，也可以是，基于由第二摄像系统得到的像的颜色，来识别玻璃板中的气泡缺陷与附着于玻璃板的表面的尘埃。即，在为气泡缺陷的情况下，存在由第二摄像系统得到的像的颜色变黑(变暗)的趋势。与此相对，在为尘埃的情况下，存在由第二摄像系统得到的像的颜色变白(变亮)的趋势。因此，能够利用由第二摄像系统得到的像的颜色来识别气泡缺陷与尘埃。

在上述的结构中，也可以是，基于由第二摄像系统得到的像的第一方向上的尺寸以及由第二摄像系统得到的像的第二方向上的尺寸，来识别玻璃板中的气泡缺陷与附着于玻璃板的表面的尘埃，该第一方向沿着玻璃板的延伸方向，该第二方向与第一方向正交。即，在为气泡缺陷的情况下，大多在玻璃板的延伸方向上拉伸而变得细长。因此，处于由第二摄像系统得到的像的第一方向上的尺寸大于与第一方向正交的第二方向上的尺寸的趋势。换言之，处于(第一方向上的尺寸)/(第二方向上的尺寸)的值变大的趋势。与此相对，在为尘埃的情况下，与玻璃板的延伸方向不相关，因此，处于由第二摄像系统得到的像的第一方向上的尺寸与该像的第二方向上的尺寸成为相同程度的趋势。换言之，处于(第一方向上的尺寸)/(第二方向上的尺寸)的值变小的趋势。因此，能够基于由第二摄像系统得到的像的第一方向上的尺寸和该像的第二方向上的尺寸，来识别气泡缺陷与尘埃。

在上述的结构中，也可以是，基于由第二摄像系统得到的像的面积以及由第二摄像系统得到的像所内接的矩形的面积，来识别玻璃板中的气泡缺陷与附着于玻璃板的表面的尘埃，该矩形由与沿着玻璃板的延伸方向的第一方向平行的边以及与正交于第一方向的第二方向平行的边构成。即，在为气泡缺陷的情况下，大多在玻璃板的延伸方向上笔直地延伸。因此，处于由第二摄像系统得到的像的面积与该像所内接的矩形的面积成为相同程度的趋势。换言之，处于(由第二摄像系统得到的像的面积)/(由第二摄像系统得到的像所内接的矩形的面积)的值变大的趋势(接近于1)。与此相对，在为尘埃的情况下，与玻璃板的延伸方向不相关，因此，处于由第二摄像系统得到的像的面积远小于该像所内接的矩形的面积的趋势。换言之，处于(由第二摄像系统得到的像的面积)/(由第二摄像系统得到的像所内接的矩形的面积)的值变小的趋势(接近于0)。因此，能够基于由第二摄像系统得到的像的面积以及该像所内接的矩形的面积，来识别气泡缺陷与尘埃。

在上述的结构中，也可以是，基于由第二摄像系统得到的像的相对于对称轴的对称性，来识别玻璃板中的气泡缺陷与附着于玻璃板的表面的尘埃，该对称轴与沿着玻璃板的延伸方向的第一方向平行。即，在为气泡缺陷的情况下，大多在玻璃板的延伸方向上笔直地延伸，因此，处于由第二摄像系统得到的像相对于与第一方向平行的对称轴的对称性(线对称性)变高的趋势。与此相对，在为尘埃的情况下，与玻璃板的延伸方向不相关，因此，处于由第二摄像系统得到的像相对于与第一方向平行的对称轴的对称性(线对称性)变低的趋势。因此，能够基于由第二摄像系统得到的像的、相对于与第一方向平行的对称轴的对称性，来识别气泡缺陷与尘埃。

在上述的结构中，也可以是，基于由第二摄像系统得到的像的相对于第一方向的倾斜度，来识别玻璃板中的气泡缺陷与附着于玻璃板的表面的尘埃，该第一方向沿着玻璃板的延伸方向。即，在为气泡缺陷的情况下，大多在玻璃板的延伸方向上笔直地延伸，因此，处于由第二摄像系统得到的像相对于第一方向的倾斜度变小的趋势。与此相对，在为尘埃的情况下，与玻璃板的延伸方向不相关，因此，处于由第二摄像系统得到的像相对于第一方向的倾斜度变大的趋势。因此，能够基于由第二摄像系统得到的像的相对于第一方向的倾斜度，来识别气泡缺陷与尘埃。

在上述的结构中，也可以是，利用第二摄像系统对玻璃板的端边进行拍摄，检查端边有无形状不良。这样，能够在检查玻璃板的缺陷的同时，也检查因切断不良等引起的端边的形状不良。

为了解决上述课题而完成的本发明是一种玻璃板的制造方法，其特征在于，该玻璃板的制造方法包括：成形工序，在该成形工序中，使熔融玻璃沿规定方向延伸而成形板状的玻璃带；退火工序，在该退火工序中，使在成形工序中成形后的玻璃带退火；切断工序，在该切断工序中，将在退火工序中退火后的玻璃带以规定的大小切断而得到玻璃板；以及检查工序，在该检查工序中，通过适当包括已述的玻璃板的检查方法的构成的方法对在切断工序中得到的玻璃板进行检查。

为了解决上述课题而完成的本发明是一种玻璃板的检查装置，其特征在于，该玻璃板的检查装置具备第一摄像系统、第二摄像系统以及识别机构，该第一摄像系统具有：第一光源；第一摄像部，其对从第一光源照射且透过了玻璃板的第一透射光进行拍摄；以及遮挡构件，其遮挡第一透射光的一部分而在第一摄像部的视场内形成亮部与暗部，该第二摄像系统具有：第二光源及第三光源；以及第二摄像部，其以亮视场拍摄从第二光源照射且透过了玻璃板的第二透射光，同时以暗视场拍摄从第三光源照射且透过了玻璃板的第三透射光，该识别机构基于由第一摄像系统得到的像和由第二摄像系统得到的像，来识别玻璃板的缺陷种类。

在上述的结构中，优选构成为，第一光源、第二光源及第三光源设为一个光源单元，玻璃板的检查装置具备分束器，该分束器将从光源单元照射且透过了玻璃板的透射光分离为包含第一透射光的第一成分和包含第二透射光及第三透射光的第二成分这两个成分，遮挡构件配置于第一摄像部与分束器之间，第一摄像部隔着遮挡构件来拍摄第一成分，并且，第二摄像部拍摄第二成分。

发明效果

根据以上那样的本发明，能够在防止玻璃板的缺陷的误检测的同时，准确地进行玻璃板的缺陷种类的识别。

附图说明

图1是示出本发明的实施方式的玻璃板的检查装置的俯视图。

图2是图1的光源单元的主视图。

图3是示意性地示出具有异物缺陷、气泡缺陷及尘埃的玻璃板的剖视图。

图4是示出关于异物缺陷、气泡缺陷及尘埃分别利用图1的检查装置得到的像的代表例的图。

图5是示出在本发明的实施方式的玻璃板的检查方法所含的缺陷检查工序中执行的处理的一例的流程图。

图6a是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第一摄像系统得到的异物缺陷的像的一例。

图6b是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的异物缺陷的像的一例。

图7a是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第一摄像系统得到的气泡缺陷的像的一例。

图7b是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的气泡缺陷的像的一例。

图8a是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的气泡缺陷的像的一例。

图8b是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的尘埃的像的一例。

图9a是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的气泡缺陷的像的一例。

图9b是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的尘埃的像的一例。

图10a是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的气泡缺陷的像的一例。

图10b是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的尘埃的像的一例。

图11a是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的气泡缺陷的像的一例。

图11b是用于说明在缺陷检查工序中执行的处理的变形例的图，是由第二摄像系统得到的尘埃的像的一例。

图12是用于说明本发明的实施方式的玻璃板的检查方法所含的端缘检查工序的图。

图13是示出本发明的实施方式的玻璃板的检查装置的变形例的俯视图。

具体实施方式

对本发明的玻璃板的检查方法、制造方法及检查装置的一实施方式进行说明。需要说明的是，以下，在说明玻璃板的制造方法的过程中，一并说明玻璃板的检查装置及检查方法，但玻璃板的检查装置及检查方法也能够从玻璃板的制造方法独立开来而单独实施。

本实施方式的玻璃板的制造方法包括：使熔融玻璃沿规定方向延伸而成形板状的玻璃带的成形工序；使在成形工序中成形后的玻璃带退火的退火工序；将在退火工序中退火后的玻璃带以规定的大小切断而得到玻璃板的切断工序；以及对在切断工序中得到的玻璃板进行检查的检查工序。

在成形工序中，使用溢流下拉法从熔融玻璃成形玻璃带。详细而言，一边使从剖面楔形的成形体的顶部溢出到两侧的各熔融玻璃沿着成形体的外侧面部流下、一边使其在成形体的下端部融合一体化，由此，成形玻璃带。在该情况下，使熔融玻璃(或玻璃带)向下方延伸。需要说明的是，成形工序中不局限于使用溢流下拉法。例如，也可以使用狭缝下引法、再拉法等其他的下拉法、浮法。

在退火工序中，在退火炉的内部空间内朝向下方设置规定的温度梯度。与成形体连续的玻璃带以随着在退火炉的内部空间朝向下方移动而温度变低的方式被退火。与此相伴，玻璃带的内部应变得以去除(降低)。

切断工序包括将玻璃带以规定长度切断的第一切断工序、以及将玻璃带的宽度方向两端部切断的第二切断工序。玻璃带的宽度方向两端部有时与宽度方向中央部相比厚度相对较大。在该实施方式中，在第一切断工序之后，在与第一切断工序不同的场所进行第二切断工序。在第一切断工序及第二切断工序中，沿着玻璃带的一方的主面的切断预定线形成划刻线，之后，沿着划刻线作用弯曲应力，由此，将玻璃带沿着划刻线切断(切割)。由此，从玻璃带得到规定尺寸的玻璃板。在该实施方式中，在第一切断工序及第二切断工序中，将玻璃带保持着纵向姿势(例如铅垂姿势)切断，并将得到的玻璃板保持着纵向姿势而送至检查工序。需要说明的是，玻璃带的切断方法、切断姿势不局限于此。另外，也可以将玻璃板以横向姿势(例如水平姿势)送至检查工序。此外，也可以在检查工序之前设置对玻璃板进行清洗的清洗工序。

检查工序包括对玻璃板的缺陷进行检查的缺陷检查工序、以及对玻璃板的端缘进行检查的端缘检查工序。这里，检查工序相当于玻璃板的检查方法。

如图1所示，在缺陷检查工序中使用玻璃板的检查装置1。检查装置1具备第一摄像系统2、第二摄像系统3以及识别机构4。这里，图中的xyz是正交坐标系，x方向及y方向是水平方向，z方向是铅垂方向。

玻璃板g在上边被支承或上边及下边被支承的纵向姿势(优选为铅垂姿势)的状态下沿着x方向被输送。第一主面g1与第二主面g2对置的玻璃板g的厚度方向沿着y方向。成形时的玻璃板g的延伸方向沿着z方向。这里，“沿着特定方向(例如x方向)”这样的用语是指与该特定方向(例如x方向)平行或大致平行的状态(以下同样)。需要说明的是，玻璃板g的输送方向未特别限定。

第一摄像系统2具有第一光源5、对从第一光源5照射且透过了玻璃板g的第一透射光l1进行拍摄的第一摄像部6、以及将第一透射光l1的一部分(例如一半)遮挡而在第一摄像部6的视场内形成亮部与暗部的作为遮挡构件的遮挡板7。这里，在作为由摄像部拍摄的测定光而使用透射光的情况下，在“透射光”这样的用语中也包含散射光(以下同样)。

第一光源5配置在玻璃板g的第一主面g1侧，第一摄像部6配置在玻璃板g的第二主面g2侧。第一光源5的光轴成为使光大致垂直地向玻璃板g的第一主面g1入射的朝向。第一摄像部6的光轴以基本上能够由第一摄像部6捕捉第一透射光l1的方式配置在第一光源5的光轴的直线上。由此，若没有遮挡板7，则第一摄像部6成为以亮视场拍摄第一透射光l1的状态，但实际上通过遮挡板7将第一透射光l1的一部分阻断，因此，成为以半亮视场拍摄第一透射光l1的状态。

另一方面，第二摄像系统3具有第二光源8及第三光源9、以及第二摄像部10，该第二摄像部10以亮视场拍摄从第二光源8照射且透过了玻璃板g的第二透射光l2，并且以暗视场拍摄从第三光源9照射且透过了玻璃板g的第三透射光l3。

第二光源8配置在玻璃板g的第一主面g1侧，第二摄像部10配置在玻璃板g的第二主面g2侧。第二光源8的光轴成为使光大致垂直地向玻璃板g的第一主面g1入射的朝向。第二摄像部10的光轴以基本上能够由第二摄像部10捕捉第二透射光l2的方式配置在由后述的分束器11分离后的第二光源8的光轴的直线上。由此，第二摄像部10成为以亮视场拍摄第二透射光l2的状态。

第三光源9配置在玻璃板g的第一主面g1侧。第三光源9的光轴成为使光倾斜地向玻璃板g的第一主面g1入射的朝向。在该实施方式中，设置有一对第三光源9。第二摄像部10的光轴以基本上不使第三透射光l3进入第二摄像部10的方式配置在从第三光源9的光轴的直线上错开的位置。由此，第二摄像部10成为以暗视场拍摄第三透射光l3的状态。第三透射光l3仅在玻璃板g发生了散射时等的特定情况下被第二摄像部10接受。需要说明的是，在图1中第三透射光l3的倾斜角被夸大，但第三透射光l3也基本上向后述的分束器11入射。

在第二摄像部10中，拍摄第二透射光l2与第三透射光l3合成后的光。

在该实施方式中，如图1及图2所示，第一光源5、第二光源8及第三光源9组入到一个光源单元12中。由此，第一光源5、第二光源8及第三光源9被接近配置，第一透射光l1、第二透射光l2及第三透射光l3通过玻璃板g上实质上相同的位置。在该实施方式中，光源单元12将第一光源5、第二光源8及第三光源9同时点亮。需要说明的是，光源单元12也可以使第一光源5、第二光源8及第三光源9在不同的时机闪烁。

另外，返回到图1，在第一摄像部6的光轴上及第二摄像部10的光轴上配置有分束器11。遮挡板7配置在分束器11与第一摄像部6之间。分束器11将从光源单元12照射并透过了玻璃板g的透射光分离为包含第一透射光l1的第一成分与包含第二透射光l2及第三透射光l3的第二成分这两个成分。详细而言，作为分束器11，使用使特定的波长透过且反射除此以外的波长的分束器。而且，作为第一光源5，使用例如蓝色的led，作为第二光源8及第三光源9，使用颜色与第一光源5不同的例如红色的led。由此，利用分束器11，双色分离为来源于第一光源5的第一透射光l1和来源于第二光源8及第三光源9的第二透射光l2及第三透射光l3。在图示例子中，包含第一透射光l1的第一成分透过分束器11而由第一摄像部6拍摄，包含第二透射光l2及第三透射光l3的第二成分被分束器11反射而由第二摄像部10拍摄。需要说明的是，第一光源5、第二光源8及第三光源9不局限于led，例如也可以为金属卤化物灯、激光源等。

此外，光源单元12沿着z方向配置有多个，构成线光源，对此省略了图示。另外，同样地，第一摄像部6及第二摄像部10也沿着z方向配置有多个，构成线阵相机。由此，当沿着x方向输送玻璃板g时，对玻璃板g的大致整个面进行检查。

识别机构4以有线或无线的方式与第一摄像部6及第二摄像部10连接，被输入由这些摄像部6、10拍摄的拍摄结果。摄像部6、10输出由明亮部分为白且暗黑部分为黑的黑白信息构成的像。这里所说的像是指玻璃板g的缺陷候补。识别机构4例如由pc的cpu构成。识别机构4基于由第一摄像系统2得到的像和由第二摄像系统3得到的像来识别玻璃板g的缺陷种类。识别机构4将识别出的玻璃板g的缺陷种类和位置存储于存储机构(例如pc的存储器)，并且在显示器上显示这些信息，对此省略图示。

如图3所示，作为玻璃板g的内部所含的缺陷，具有异物缺陷xm和气泡缺陷xb。异物缺陷xm是来源于玻璃原料的未熔解物等，大多情况下伴随着玻璃板g的表面的应变。气泡缺陷xb是在制造过程中混入的空气等。另外，也有时在玻璃板g的表面上附着有容易误检测为缺陷的尘埃xd。尘埃xd能够通过清洗等去除。

图4示出在利用检查装置1对具有异物缺陷、气泡缺陷、尘埃等的玻璃板g进行了检查的情况下得到的像的代表性的一例。这些像是通过透射光l1、l2、l3在异物缺陷、气泡缺陷、尘埃中发生折射或散射等而得到的。

如该图所示，在为异物缺陷的情况下，大多在第一摄像系统2中得到像i1，在第二摄像系统3中未得到像。第一摄像系统2的像i1例如成为由接近于正圆的白圈和黑圈相连而成的形状。

在为气泡缺陷的情况下，在第一摄像系统2中，得到像i2或未得到像自身。在得到像i2的情况下，例如成为由接近于长圆的白圈和黑圈相连而成的形状。另一方面，在第二摄像系统3中，大多得到黑色的像i3。像i3例如成为接近于长圆的形状。

在为尘埃的情况下，在第一摄像系统2中，得到像i4或未得到像自身。在得到像i4的情况下，例如成为波浪形状。另一方面，在第二摄像系统3中，大多得到白色的像i5。像i5例如成为波浪形状。

在缺陷检查工序中，使用这些趋势，根据由第一摄像系统2得到的像和由第二摄像系统3得到的像来识别玻璃板g的缺陷种类。在识别玻璃板g的缺陷种类时，以下使用图5所示的流程图来说明在缺陷检查工序中进行的处理的一例。

如该图所示，首先，判断是否存在第一摄像系统2的像(步骤s1)。其结果是，在判断为存在第一摄像系统2的像的情况下，判断是否存在第二摄像系统3的像(步骤s2)，并且在判断为不存在第一摄像系统2的像的情况下，判断是否存在第二摄像系统3的像(步骤s3)。

在步骤s2中判断为不存在第二摄像系统3的像的情况下，判断为在检查对象位置处的玻璃板g中存在异物缺陷(步骤s4)。

在步骤s2或s3中判断为存在第二摄像系统3的像的情况下，判断第二摄像系统3的像的颜色是否为白色(步骤s5)。其结果是，在判断为第二摄像系统3的像不是白色的情况下，判断为在检查对象位置处的玻璃板g中存在气泡缺陷(步骤s6)。

另一方面，在步骤s5中判断为第二摄像系统3的像为白色的情况下，判断为在检查对象位置处的玻璃板g上存在尘埃(步骤s7)。

另外，在步骤s3中判断为不存在第二摄像系统3的像的情况下，判断为在检查对象位置处的玻璃板g不存在缺陷及尘埃(步骤s8)。

步骤s1～s8的处理能够由识别机构4全自动地进行。

然后，将这些最终的识别结果信息在与检查对象位置的位置信息关联起来的状态下存储于存储机构且显示于显示器。另外，识别结果信息被反馈到上游侧的工序(例如成形工序、切断工序)，根据需要来调整上游侧的工序中的制造条件等。需要说明的是，判断为存在异物缺陷及/或气泡缺陷的玻璃板g根据其缺陷的大小等而被决定是否废弃。

根据以上那样的缺陷检查工序，能够在防止将尘埃误检测为玻璃板g的缺陷的同时，准确地识别玻璃板g的缺陷种类(异物缺陷、气泡缺陷)。

这里，为了提高缺陷的识别精度，也可以在缺陷检查工序中追加如下那样的处理。

即便在为异物缺陷的情况下，也有时由第二摄像系统3得到像而难以识别异物缺陷和气泡缺陷。为此，在上述的缺陷检查工序中，也可以求出如图6a及图7a所示那样由第一摄像系统2得到的像i6、i8的面积a、以及如图6b及图7b所示那样由第二摄像系统3得到的像i7、i9的面积b，并基于这两个面积之比a/b来识别玻璃板g中的气泡缺陷与异物缺陷。即，如图6a及图6b所示，在为异物缺陷的情况下，由第一摄像系统2得到的像i6的面积a与由第二摄像系统3得到的像i7的面积b相比较大，存在面积比a/b的值变大的趋势。与此相对，如图7a及图7b所示，在为气泡缺陷的情况下，由第一摄像系统2得到的像i8的面积a与由第二摄像系统3得到的像i9的面积b相比不那么大，存在面积比a/b的值变小的趋势(接近于1)。因此，也可以将面积比a/b的值为规定的阈值以上的情况判断为异物缺陷或异物缺陷候补，将面积比a/b的值小于阈值的情况判断为气泡缺陷或气泡缺陷候补。这里，异物缺陷候补和气泡缺陷候补并非是最终的识别结果，之后预定增加其他的识别处理。后述的尘埃候补也是同样的含义。需要说明的是，面积比a/b的阈值也可以分为用于识别异物缺陷的第一阈值和用于识别气泡缺陷的第二阈值(第二阈值<第一阈值)。能够根据检查的要求精度而变更阈值的大小。

即便在为尘埃的情况下，由第二摄像系统3得到的像也有时不为白色而难以识别气泡缺陷与尘埃。为此，在上述的缺陷检查工序中，也可以如图8a及图8b所示那样，求出由第二摄像系统3得到的像i10、i11的沿着玻璃板g的延伸方向的z方向(相当于第一方向)上的尺寸c以及该像i10、i11的与z方向正交的x方向(相当于第二方向)上的尺寸d，并基于这两个尺寸的尺寸比c/d，来识别气泡缺陷与尘埃。即，如图8a所示，在为气泡缺陷的情况下，由第二摄像系统3得到的像i10大多在z方向上变得细长，因此，处于尺寸比c/d的值变大的趋势。与此相对，如图8b所示，在为尘埃的情况下，由第二摄像系统3得到的像i11不受延伸成形的影响而与z方向不相关，因此，处于尺寸比c/d的值变小的趋势。因此，也可以将尺寸比c/d的值为规定的阈值以上的情况判断为气泡缺陷或气泡缺陷候补，将尺寸比c/d的值小于阈值的情况判断为尘埃或尘埃候补。需要说明的是，尺寸比c/d的阈值也可以分为用于识别气泡缺陷的第一阈值和用于识别尘埃的第二阈值(第二阈值<第一阈值)。另外，能够根据检查的要求精度来变更阈值的大小。

另外，在难以识别气泡缺陷与尘埃的情况下，在上述的缺陷检查工序中，也可以如图9a及图9b所示那样，求出由第二摄像系统3得到的像i12、i13的面积e以及形成矩形s时的矩形s的面积f，并基于这两个面积的面积比e/f来识别气泡缺陷与尘埃，该矩形s以使该像i12、i13内接的方式由与z方向平行的边以及与x方向平行的边构成。即，如图9a所示，在为气泡缺陷的情况下，由第二摄像系统3得到的像i12大多在z方向上笔直地延伸，因此，像i12的面积e与矩形s的面积f成为相同的程度，处于面积比e/f的值变大的趋势(接近于1)。与此相对，如图9b所示，在为尘埃的情况下，由第二摄像系统3得到的像i13不受延伸成形的影响而与z方向不相关，因此，像i13的面积e远小于矩形s的面积f，处于面积比e/f的值变小的趋势(接近于0)。因此，也可以将面积比e/f的值为规定的阈值以上的情况判断为气泡缺陷或气泡缺陷候补，将面积比e/f的值小于阈值的情况判断为尘埃或尘埃候补。需要说明的是，面积比e/f的阈值也可以分为用于识别气泡缺陷的第一阈值和用于识别尘埃的第二阈值(第二阈值＜第一阈值)。另外，也能够根据检查的要求精度来变更阈值的大小。

此外，在难以识别气泡缺陷与尘埃的情况下，在上述的缺陷检查工序中，也可以如图10a及图10b所示那样，基于由第二摄像系统3得到的像i14、i15的相对于与z方向平行的对称轴h的对称性，来识别气泡缺陷与尘埃。即，如图10a所示，在为气泡缺陷的情况下，由第二摄像系统3得到的像i14大多在z方向上笔直地延伸，因此，处于像i14的相对于对称轴h的对称性(线对称性)变高的趋势。与此相对，如图10b所示，在为尘埃的情况下，由第二摄像系统3得到的像i15不受延伸成形的影响而与z方向不相关，因此，处于像i15的相对于对称轴h的对称性(线对称性)变低的趋势。因此，电可以将使相对于对称轴h的对称性数值化了的值(当对称性较高时值变大)为规定的阈值以上的情况判断为气泡缺陷或气泡缺陷候补，将该值小于阈值的情况判断为尘埃或尘埃候补。需要说明的是，对称性的阈值也可以分为用于识别气泡缺陷的第一阈值和用于识别尘埃的第二阈值(第二阈值＜第一阈值)。另外，也能够根据检查的要求精度来变更阈值的大小。

另外，在难以识别气泡缺陷与尘埃的情况下，在上述的缺陷检查工序中，也可以如图11a及图11b所示那样，求出由第二摄像系统3得到的像i16、i17的相对于z方向的倾斜角θ，并基于该倾斜角θ来识别气泡缺陷与尘埃。即，如图11a所示，在为气泡缺陷的情况下，由第二摄像系统3得到的像i16大多在z方向上笔直地延伸，因此，处于像i16的倾斜角θ变小的趋势。与此相对，如图11b所示，在为尘埃的情况下，由第二摄像系统3得到的像i17不受延伸成形的影响而与z方向不相关，因此，处于像i17的倾斜角θ变大的趋势。因此，也可以将倾斜角θ为规定的阈值以下的情况判断为气泡缺陷或气泡缺陷候补，将倾斜角θ超过阈值的情况判断为尘埃或尘埃候补。需要说明的是，倾斜角θ的阈值也可以分为用于识别气泡缺陷的第一阈值和用于识别尘埃的第二阈值(第二阈值＞第一阈值)。另外，能够根据检查精度来变更阈值的大小。

这里，以上所例示的气泡缺陷与尘埃的识别方法考虑了玻璃板g的延伸方向。因此，也可以说是，从由第二摄像系统3得到的像中提取与玻璃板g的延伸方向关联的特征量，并基于该特征量来识别气泡缺陷与尘埃。

如图12所示，在端缘检查工序中，利用第二摄像系统3对包含玻璃板g的端边gf、gb的检查区域a1、a2进行拍摄，来检查端边gf、gb有无形状不良。其结果是，如图12中放大示出那样，基于第二摄像系统3的拍摄结果，在判断为端边gf、gb存在切削残余d1或缺口d2的情况下，判断为玻璃板g的形状不良。也可以省略端缘检查工序，还可以通过其他的检查装置来进行端缘检查工序。

需要说明的是，本发明不局限于上述的实施方式的结构，也不局限于上述的作用效果。本发明在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。

在上述的实施方式中，说明了使用将第一光源5、第二光源8及第三光源9汇总成一个的光源单元12和分束器11而使第一摄像系统2与第二摄像系统3的光路的一部分重复的情况，但不局限于此。例如，也可以如图13所示那样，将第一摄像系统2与第二摄像系统3沿着玻璃板g的输送方向隔开间隔地配置，使第一摄像系统2的光路与第二摄像系统3的光路完全地独立。

在上述的实施方式中，说明了一边将玻璃板g以纵向姿势输送一边识别缺陷种类的情况，但玻璃板g的姿势没有特别限定。例如，也可以一边将玻璃板g以横向姿势(优选为水平姿势)输送一边识别缺陷种类。

在上述的实施方式中，说明了一边使玻璃板g相对于配置在规定位置的检查装置1移动一边识别缺陷种类的情况，但只要在检查装置1与玻璃板g之间存在相对的移动即可。即，也可以在将玻璃板g配置于规定位置的状态下使检查装置1相对于玻璃板g移动，还可以使玻璃板g与检查装置1这两方移动。

在上述的实施方式中，也可以在检查工序之后设置清洗工序。在该情况下，也可以从存储机构调出在检查工序中确定的尘埃的位置，并选择性地或重点地清洗与该调出的位置对应的部分。

附图标记说明：

1检查装置；

2第一摄像系统；

3第二摄像系统；

4识别机构；

5第一光源；

6第一摄像部；

7遮挡板；

8第二光源；

9第三光源；

10第二摄像部；

11分束器；

12光源单元；

g玻璃板；

g1第一主面；

g2第二主面；

l1第一透射光；

l2第二透射光；

l3第三透射光。