用于感测在测量气体室中的测量气体的至少一个特性的传感器元件的制作方法

文档序号:18456406发布日期:2019-08-17 01:37阅读:162来源:国知局
用于感测在测量气体室中的测量气体的至少一个特性的传感器元件的制作方法

由现有技术已知用于感测测量气体的至少一个特性的传感器元件。对此尤其配属有用于感测测量气体的至少一个参数、尤其是内燃机的废气的至少一个特性的传感器元件,例如废气的组分的含量,其中有氧气、氮氧化物和/或气态碳氢化合物的含量。通过这种传感器元件能够感测的其他特性可以涉及测量气体的颗粒负载、温度和/或压力。

这种传感器元件尤其可以是λ探头。λ探头优选可以安装在内燃机的废气系中,例如以便感测废气中的氧气含量。例如在konradreif(编者)的sensorenimkraftfahrzeug,第二版,springervieweg,2012年,第160至165页中描述了所述λ探头。λ探头、尤其是通用的λ探头使传感器元件中的电极空腔和测量气体室之间的两个物质流、尤其是氧气流处于平衡。在这里,所述物质流中的一个物质流通过浓度差被驱动经过扩散势垒。另一个物质流被驱动经过固体电解质和两个电极、尤其是两个泵电极、优选是可由测量气体加载的外部泵电极和通过所施加的泵电流控制的内部泵电极。在这里,泵电流可以这样调节,使得在电极空腔中出现恒定的和非常小的氧气浓度。经由扩散势垒的浓度变化曲线通过电极空腔中的恒定调节点、尤其是在氧气浓度中产生的恒定理论电压并且通过废气侧的氧气浓度明确地确定。氧分子从测量气体室向电极空腔的供应相应于该明确的浓度变化曲线地进行调整并且与所调节的泵电流相应。因此,泵电流可以用作为用于测量气体室中的氧气浓度、尤其用于存在于废气侧的氧气浓度的测量值。

但这种传感器元件也可以是用于感测测量气体室中的测量气体的颗粒、尤其是炭黑颗粒或灰尘颗粒的传感器元件。例如由de10149333a1、de10319664a1、de10353860a1、de102004046882a1、de102005053120a1、de102006042362a1或wo2003/006976a2已知颗粒传感器,在所述颗粒传感器中,一个或多个金属电极施加在电绝缘载体上。在电压作用下积聚的颗粒在传感器元件的聚集阶段形成例如构型为彼此梳状嵌合的叉指电极的电极之间的导电桥并且由此使这些电极短路。在复原阶段中,电极通常借助于集成的加热元件进行自洁式燃烧。通常,颗粒传感器分析处理电极结构的由于颗粒积聚而改变的电特性。例如可以在恒定施加电压的情况下测量到减小的电阻或增大的电流。

这种传感器元件为了提供其相应的功能而包括至少一个电极,该电极可以被加载以测量气体,其中,经常可以有利的是,提供具有尽可能大的表面的形式的电极。因此,λ探头的外部泵电极或颗粒传感器的叉指电极或尤其在颗粒传感器或温度传感器中的用于温度测量的电阻印制导线尤其暴露给废气流。然而,与传感器元件的实际构型和所设置的安装区域在很大程度上无关地,尤其在内燃机的高运行温度的情况下在较长的时间段中,传感器元件的电极表面由功能决定地要么直接地并且不受保护地暴露给测量气体、如内燃机的废气,要么通过尤其气体可穿透的覆盖层暴露给该测量气体。

内燃机、尤其是柴油发动机或汽油发动机的废气可以包含尤其呈化学化合物形式的化学元素磷(p),所述化合物在内燃机的高运行温度的情况下可以分解。为此的示例是五氧化(二)磷p4o10。因此,磷可以在加载传感器元件的电极的暴露给测量气体的表面时对电极表面的化学组成和/或空间结构造成影响。例如,在测量气体中包含的磷与至少存在于电极表面中的金属组分形成混合相,金属铂(pt)尤其可以属于该金属组分。金属铂具有1768.3℃的熔点,而这样产生的混合相可以具有明显低于金属铂的熔点。例如混合相磷化铂pt20p7具有仅为588℃的熔点。混合相的熔点甚至可以低于传感器元件的600℃至1300℃的运行温度,使得传感器元件的电极的暴露给测量气体的表面可以具有明显降低的耐热性。此外,在这种混合相中的由温度驱动的老化过程比在纯铂中在相同环境下的老化过程更快地进行。

替代地或附加地,传感器元件的电极表面在其制造过程中尤其已经可以在化学组成和/或空间结构方面经历变化,所述变化并不总是能预期的。优选地,颗粒传感器的叉指电极或尤其在颗粒传感器或温度传感器中的用于温度测量的电阻印制导线尤其能够以包含丝网印刷、烧结和激光剥蚀的组合式方法制造。为此,首先可以将由铂制成的整面施加到载体上并且烧结,之后借助于激光尤其通过剥蚀电极指的隔片之间的材料产生叉指电极。在这里,用于制造叉指电极的方法可以引起表面的变化,所述变化可以证明为对形成传感器元件的测量信号是不利的。原则上,至少位于电极表面中的铂在制造方法之后可以呈现催化活性状态,该催化活性状态会促进提早的炭黑烧损并且由此不利地影响测量信号。



技术实现要素:

因此,在本发明的框架下,提出一种用于感测在测量气体室中的测量气体的至少一个特性的传感器元件。在本发明的框架下,传感器元件理解为以下任意装置,该装置适用于定性和/或定量地感测测量气体的所选择的特性并且该装置尤其可以产生相应于测量气体的所选择的特性的电测量信号、如电压或电流。在这里,测量气体的所选择的特性优选可以涉及测量气体的组分的含量、尤其是氧气、氮氧化物和/或气态碳氢化合物的含量、测量气体的颗粒负载、温度和/或压力。

传感器元件尤其可以设置成用在机动车中。测量气体尤其可以是机动车的废气。其他气体和气体混合物原则上也是可能的。传感器元件优选可以是λ探头、尤其是宽带λ探头,或者是颗粒传感器、尤其是炭黑颗粒传感器,它们可以暴露给废气流。然而其他类型的传感器元件同样是可能的。

测量气体室原则上可以是任意的、敞开的或闭合的室,该室设置成用于接收测量气体和/或由测量气体流经。测量气体室例如可以是内燃机、例如燃烧式马达的废气管路。

用于感测在测量气体室中的测量气体的至少一个特性的传感器元件包括至少一个电极,该电极具有表面,该表面可以通过测量气体至少部分地影响。为此,所述至少一个电极可以这样布置在传感器元件中,使得所述表面可以直接或间接地暴露给测量气体。在这里,概念“直接”表明电极的以下布置,在该布置中,电极的外表面施加到传感器元件的对于由测量气体的加载而言可接触的外表面上,而与传感器元件是否接收在至少一个保护管中无关。而概念“间接”表明电极的以下布置,在该布置中电极的外表面设有至少一个另外的层,该另外的层可以由测量气体首先至少部分地跨越,以便达到电极表面上。

在本发明的框架下,电极理解为电导体,该电导体适用于电流测量和/或电压测量和/或该电导体可以给与电极接触的至少一个元件加载电压和/或电流。为了实现尽可能高的导电性和高的抗腐蚀性,至少传感器元件的电极的暴露给测量气体的表面优选具有贵金属、尤其是铂系金属。除了金属铂(pt)之外,化学元素周期表的第五周期和第六周期的8至10组的其他元素也属于铂系金属。在这里,第五周期的铂系金属钌(ru)、铑(rh)和钯(pd)也可以被称为“轻铂系金属”并且第六周期的铂系金属锇(os)、铱(ir)和铂(pt)也可以被称为“重铂系金属”。所述传感器元件在不限制通用性的情况下以金属铂(pt)的示例阐释;然而其余铂系金属对于传感器元件和附属的制造方法的使用而言同样是可能的。

电极的形状原则上是不相关的,然而所述至少一个电极优选能够以平面电极或电极指的形状构型。在这里,平面电极的概念原则上涉及电极的任意形式,其在两个维度中的尺寸明显、例如至少以系数2、优选至少以系数10、特别优选至少以系数100大于在另外一个维度中的尺寸。

概念电极指原则上理解为电极的任意形式,其在一个维度中的尺寸明显、例如至少以系数2、优选至少以系数3、特别优选至少以系数5大于在至少一个另外的维度中的尺寸。在这里,优选可以设置多个电极指,所述电极指可以彼此嵌合,尤其可以彼此梳状地嵌合。替代地,多个电极指可以具有从鱼骨状结构、锯齿状结构和绕组结构组成的组中选择出的结构。

所述至少一个电极优选可以施加在载体上。在本发明的框架下,载体原则上理解为以下任意衬底,该衬底适用于承载所述至少一个电极和/或在该衬底上可以施加有所述至少一个电极。载体可以包括至少一种电绝缘材料、尤其至少一种陶瓷材料。载体可以具有载体表面。在本发明的框架下,载体表面原则上理解为以下任意层,该层将载体与其周围环境隔开并且传感器元件的可以由测量气体加载的电极被施加到该层上。

本发明提出,传感器元件的面向测量气体的区域这样构型,使得所述区域是含铁的。在这里,概念“含铁”原则上表明存在于传感器元件的区域中的铁原子、铁离子或铁复合物的含量。在特别优选的构型中,传感器元件的含铁区域可以包括铁氧化物和/或铁混合氧化物。在这里,作为铁氧化物可以出现化学计量相,如三价铁氧化物fe2o3、二价三价铁氧化物、fe3o4,或者非化学计量相。在这里,概念“铁混合氧化物”表明在其中引入其他金属的铁氧化物、附加地具有引入其中的铁原子或铁离子的非铁金属氧化物或者由铁氧化物和非铁金属氧化物形成的化合物。为此的示例是铁混合氧化物alfeo3。

在特别优选的构型中,传感器元件的面向测量气体的含铁区域具有含量为0.1%重量百分比、优选为1%重量百分比、直至10%重量百分比、优选直至5%重量百分比的铁。

与铁在传感器元件的面向测量气体的区域中实际存在的方式无关地,铁可以满足在传感器元件中、尤其在λ探头或颗粒传感器中实现所谓的“吸气功能”或“捕获功能”。在不限制通用性的情况下,这能够通过以下方式实现,存在于区域中的、尤其呈铁氧化物的形式的铁可以设置成用于,在传感器元件的区域中使磷(p)化合,如前面描述的那样,所述磷可以通过测量气体流供应给传感器元件,之后磷(p)可以与铂(pt)形成混合相(pt-p)。而这样铁(fe)可以与磷(p)形成磷酸铁,由此所述磷不再提供用于混合相,该混合相可以至少包括铁和铂。以该方式可以尽可能地抑制磷会对化学组成和/或空间结构和由此对传感器元件的电极的功能性所造成的不利影响。由此能够实现电极相对于磷的明显增大的稳固性,该稳固性尤其可以表现为传感器测量信号的较高质量和较慢进行的老化过程。

替代地或附加地,铁在传感器元件的区域中的存在具有如下优点:在所述区域中已经可以在传感器元件的制造期间至少部分地抑制电极的表面的化学组成和/或空间结构的变化。由此尤其可以部分地防止,位于电极表面中的铂在制造方法之后可以呈现催化活性状态,该催化活性状态会促进提早的炭黑烧损并且由此不利地影响测量信号。

优选地,传感器元件的含铁区域可以包括传感器元件的至少一个外部层,该外部层直接面向测量气体和/或该外部层邻接到传感器元件的另外的外部层上,该另外的外部层直接面向测量气体。在这里,概念“直接”表明传感器元件的所述至少一个外部层的布置,该外部层对于由测量气体的加载而言是可接触的,而与传感器元件是否接收在至少一个保护管中无关。

在优选构型中,传感器元件的面向测量气体的含铁区域可以包括传感器元件的电极的面向测量气体的至少一个表面。在这里,电极尤其可以从以下组中选择出,该组包括λ探头、尤其是宽带λ探头的外电极、颗粒传感器的叉指电极、尤其在颗粒传感器或温度传感器中的用于温度测量的电阻印制导线。因此,在该构型中,电极的体积是含铁的或者仅电极的面向测量气体的表面层是含铁的。

以特别有利的方式,电极在该构型中满足上面所述的“吸气功能”以使由测量气体带来的磷(p)化合,因为电极的表面对于与测量气体一起到来的磷(p)而言能够以特别简单的方式接触。

替代地或附加地,传感器元件的面向测量气体的含铁区域可以包括邻接到电极上的至少一个层。由此,在该构型中,优选直接邻接到电极上的所述至少一个层是含铁的。在特别优选的构型中,在这里与电极本身是否含铁无关,邻接到电极上的含铁层可以布置在电极的可由测量气体至少部分加载的表面上。替代地或附加地,关于邻接到电极上的层的粘接层可以构型为含铁区域。因此,施加到电极表面上的含铁层能够以特别简单的方式捕获与测量气体共同到来的磷(p)并且因此同样以特别有利的方式实现上面所述的“吸气功能”以使由测量气体带来的磷(p)化合。

替代地或附加地,传感器元件的含铁区域包括邻接到电极上的至少一个绝缘层或含金属的、尤其含铂的功能层的陶瓷矩阵。在这里,铁尤其能够以alfeo3的形式存在于绝缘层或陶瓷矩阵中,这具有与在那里存在的al2o3的特别高的可混合性。

替代地或附加地,传感器元件的含铁区域可以包括设置用于加热电极的加热器,含铁组分被附加地引入到该加热器的导电材料中。

在本发明的另一方面中,提出一种用于制造用于感测测量气体室中的测量气体的至少一个特性的传感器元件的方法。在这里,传感器元件的面向测量气体的区域设有含铁物质,其中,含铁物质的施加可以按照下面还要详细描述的方法中的至少一个方法进行。

在第一方法中,含铁物质可以借助于浸渍施加到传感器元件上。为此,传感器元件可以完全地或部分地引入到含铁溶液中,其中,随后优选通过加热传感器元件将含铁物质固定到传感器元件的引入溶液中的区域中。

在另外的方法中,含铁物质可以借助于给传感器元件的面向测量气体的区域掺有(versetzen)膏来施加,其中,所述膏包括含铁颗粒、尤其是铁氧化物颗粒。在这里,所述膏的施加可以包括直接施加到面向测量气体的电极上和/或施加到至少一个邻接到电极上的层上,其中,邻接到电极上的层优选可以布置在电极的可由测量气体至少部分加载的表面上。

在另外的方法中,含铁物质可以通过将含铁层施加到传感器元件的面向测量气体的区域上来实现。在这里,含铁层优选可以直接施加到面向测量气体的电极上。

替代地或附加地,含铁层可以包括邻接到电极上的绝缘层,含金属的、尤其含铂的功能层的陶瓷矩阵,或者包括关于邻接到电极上的层的粘接层。

在所述方法的特别的构型中,可以借助于结构化方法、如激光剥除将空间结构引入到所述至少一个电极的表面中,该电极具有可由测量气体至少部分加载的表面。在该构型中,随后会承受温度处理、尤其是加热过程的含铁铂电极结构可以通过以下方式改善:优化电极层的铂组分的晶体结构。此外,在电极表面上的在应用结构化方法、如激光剥除之后具有无定形结构的含铂区域可以又强制回到微粒的晶体结构。以该方式,这样制造的传感器元件可以具有传感器测量信号的相对较高的信号质量。

所述方法尤其可以用于制造根据本发明、即根据上面提到的实施方式中的一个实施方式或根据下面还详细描述的实施方式中的一个实施方式的传感器元件。相应地,对于定义和可选构型可以尽可能地参照对所述传感器元件的描述。然而其他构型原则上也是可能的。

所提出的传感器元件和所提出的用于制造该传感器元件的方法相对于已知的传感器元件和附属的制造方法具有多种优点。传感器元件的所述结构和组成能够尽可能地抑制磷对化学组成和/或空间结构并且由此对传感器元件的电极的功能性造成的不利影响。由此可以实现电极相对于磷的影响的明显增大的稳固性,该稳固性尤其可以表现为传感器测量信号的较高质量和电极的老化过程的延缓。此外,在制造传感器元件时已经可以防止,至少位于电极表面中的铂呈现催化活性状态,这同样可以引起传感器测量信号的较高质量。所提出的传感器元件和所提出的制造方法除了其他类型的传感器元件之外优选可以广泛地应用到λ探头、尤其是宽带λ探头或者颗粒传感器、尤其是炭黑颗粒传感器或者温度传感器。

附图说明

本发明的其他可选细节和特征由下面对附图中示意性示出的优选实施例的描述得出。

附图示出:

图1以俯视图示出本发明的传感器元件的实施方式;

图2a至2d以横截面视图示出图1的传感器元件的不同实施方式;和

图3a至3c传感器元件的传统电极在成功激光加工表面之后的表面的扫描电子显微镜照片(图3a,现有技术)和在成功的加热过程之后的扫描电子显微镜照片(图3b,现有技术)或根据本发明的电极的扫描电子显微镜照片(图3c)。

具体实施方式

图1以俯视图示意性示出根据本发明的、用于感测在测量气体室中的测量气体112的至少一个特性的传感器元件110的实施方式。传感器元件110尤其可以设置成用在机动车中,优选作为λ探头、尤其是宽带λ探头或者作为颗粒传感器、尤其是炭黑颗粒传感器。为此,传感器元件110尤其可以包括一个或多个在附图中未示出的、另外的功能元件,如另外的电极、另外的电极导线或触点、多个层、一个或多个加热元件、电化学单元或如在上面提到的现有技术中公开的其他元件。此外,传感器元件110例如可以接收在这里同样未示出的保护管中。

传感器元件110包括至少一个电极114,其中,为了实施传感器元件110的功能,电极114、尤其是电极114的面向测量气体112的表面116可以至少部分地由测量气体112加载。所述至少一个电极114例如可以是λ探头、尤其是宽带λ探头的外电极或者是颗粒传感器的叉指电极或尤其在颗粒传感器或温度传感器中的用于温度测量的电阻印制导线。然而其他应用领域是可能的。

传感器元件可以包括至少一个载体118,其中,所述至少一个电极114尤其可以施加到载体118的载体表面120上。然而另外的布置是可能的。载体118可以具有至少一种电绝缘材料、优选至少一种陶瓷材料。此外,可以在载体118上施加有通向电极114的至少一个电极导线122,如在图1中示意性示出。然而电极导线122的其他实施方案是可能的,例如通过位于载体118内部的空腔。

所述至少一个电极114尤其具有尽可能高的导电性并且同时具有尤其相对于测量气体112的高的抗腐蚀性,由此可以至少在传感器元件110的电极114的暴露给测量气体112的表面116上优选存在贵金属、尤其是铂系金属、尤其是铂(pt)、钌(ru)、铑(rh)、钯(pd)、锇(os)和/或铱(ir),其中,铂(pt)是特别优选的。因此,所述传感器元件110在不限制普遍性的情况下例如以金属铂(pt)阐释;然而其余的铂系金属对于传感器元件110而言的使用同样是可能的。

所述传感器元件110具有面向测量气体的区域124,该区域可以被加载以测量气体112。测量气体112尤其可以是机动车的废气。这种废气可以包含尤其呈化学化合物形式的化学元素磷(p),所述化合物在高运行温度的情况下可以分解。因此,在没有其他措施的情况下,磷在加载传感器元件110的面向测量气体112的区域124时会对电极114的暴露给测量气体112的表面116的化学组成和/或空间结构造成可能不利的影响,并且在这里尤其与至少存在于电极114的表面116上的金属铂(pt)形成混合相(pt-p)。

因此,传感器元件110的面向测量气体的区域124构型为含铁区域126。为此,传感器元件110的含铁区域126尤其可以包括铁氧化物或铁混合氧化物。在这里,作为铁氧化物可以出现三价铁氧化物fe2o3、二价三价铁氧化物、fe3o4或非化学计量相。在这里,铁混合氧化物可以包括在其中引入另外的金属元素的铁氧化物、附加地具有引入到其中的铁原子或铁离子的非铁金属氧化物或者由铁氧化物和非铁金属氧化物组成的化合物,如alfeo3。然而另外的铁混合氧化物是可能的。在特别优选的构型中,传感器元件110的含铁区域126为此可以具有含量为0.1%重量百分比、优选1%重量百分比、直至10%重量百分比、优选直至5%重量百分比的铁。

为此,传感器元件110的面向测量气体112的含铁区域126能够以特别有利的方式实现上面描述的“吸气功能”以使由测量气体112带来的磷(p)化合,因为含铁区域126对于与测量气体112一起到来的磷(p)而言能够简单地接触。

图2a至2d分别以横截面视图示意性示出图1的传感器元件110的实施方式,其中,在传感器元件110中电极114分别施加在载体118上。在上下文中明确地指出,传感器元件110的在图2a至2d中单独示出的实施方式也可以相互组合,例如来自图2a和2b、来自图2a、2b和2c、来自图2b和2c或者来自图2d的实施方式与图2a或者图2a和2b或者图2a和2b和2c组合。其他组合是可能的。

在根据图2a的特别优选的实施方式中,电极114在这里可以具有体积128和设置成用于由测量气体112加载的表面116。在该实施方式中,电极114的体积128可以承担含铁区域126的功能。替代地,仅仅电极114的面向测量气体112的表面层130能够承担含铁区域126的功能。根据图2a的特别优选的实施方式能够以特别有利的方式实现上面提到的吸气功能,因为电极114的表面116对于与测量气体112一起到来的磷(p)而言能够以特别简单的方式接触。

在根据图2b的另外的优选实施方式中,可以与电极114的表面116邻接地设置有含铁覆盖层132,该含铁覆盖层在这里可以承担含铁区域126的功能。根据图2b的优选实施方式也能够以有利的方式实现吸气功能,因为布置在电极114的表面116上的含铁覆盖层132对于测量气体112和由此与该测量气体一起到来的磷(p)而言同样能够以简单的方式接触。

在根据图2c的另一实施方式中,可以在电极114的表面116和施加在其上的覆盖层134之间设置有含铁粘接层136,该含铁粘接层在这里除了粘接剂层的功能之外也可以承担含铁区域126的功能。在这里,覆盖层134可以含铁地或者不含铁地实施。

在根据图2d的另一实施方式中,可以在电极114的下侧138和载体118的面向电极114的载体表面120之间设置有含铁载体层140,电极114可以通过该下侧放置在载体118上。在这里,含铁载体层140、载体118和/或载体118的近表面层142可以承担含铁区域126的功能。

为了制造所述传感器元件110,传感器元件110的面向测量气体112的区域124设置有含铁物质,其中,含铁物质的施加可以借助于以含铁物质的浸渍、含铁膏的涂覆或含铁层的施加进行。

为了传感器元件110借助于含铁物质的浸渍,传感器元件110可以完全或部分地引入、如沉入到含铁溶液、如硝酸铁溶液中,其中,随后进行含铁物质在传感器元件110的引入到溶液中的区域124上的固定,其方式是,优选可以通过加热传感器元件110由硝酸铁形成稳定的铁氧化物。

替代地或附加地,传感器元件110的面向测量气体112的区域124可以设有膏,其中,所述膏可以包括含铁颗粒、尤其是铁氧化物颗粒。在这里,所述膏尤其可以直接施加到面向测量气体112的电极114、覆盖层134和/或载体118的近表面层142上。

替代地或附加地,含铁物质可以借助于将含铁层施加到传感器元件110的面向测量气体112的区域124上实现。在这里,含铁覆盖层132优选可以直接施加到面向测量气体112的电极114上。替代地或附加地,含铁载体层140可以直接施加到载体118上,之后可以在该含铁载体层上施加电极114。

如上面已经提到的那样,电极114、尤其是颗粒传感器的叉指电极优选能够以包含丝网印刷、烧结和激光剥蚀的组合式方法制造。为此,优选可以首先将由铂制成的电极整面施加到载体上并且烧结,之后接着尤其通过借助激光的材料剥蚀产生电极114。在烧结之后,铂晶粒以结晶相凝结,并且电极整面的表面还没有缺陷处或杂质、如由于微滴积聚所产生的杂质。

借助于激光过程,该激光过程尤其有利于产生具有小的电极间隔的电极结构,将材料从电极整面中剥蚀。该剥蚀不仅能够引起电极整面的结构化,而且也能够改变位于剥蚀区域中的各个晶粒的表面,其中,铂晶粒的表面在这里甚至能够经历相位转变。铂的所观察的相位转变或电极的催化活性通常可以与激光过程的使用无关地完全由铂结构的制造方法引起。

图3a示出传统电极的表面在成功激光加工表面之后的扫描电子显微镜照片并且图3b示出在成功的加热过程之后的扫描电子显微镜照片。相对于描绘根据现有技术的传统电极的这些照片,图3c示出相应于本发明的传感器元件110中的电极114的表面116的扫描电子显微镜照片。通过将铁氧化物混合成电极膏、电极114的载体层140或者电极114的覆盖层,可以改善之后温度处理的有效性,该温度处理用于改善传感器元件110的信号质量,或者直接对于改善的铂结构也可以是有效的。

在另外的实施方式中,可以在烧结或激光过程之后实现含铁物质的施加,并且通过随后的温度处理或随后的加热过程来补充,以便使得铁对于铂结构变得有效。

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