技术特征：
技术总结
本发明涉及速度测量领域，具体涉及一种光路敏感型加速度计，其中包括光源、光电探测器、透镜和第一MEMS芯片，其中，第一MEMS芯片包括反射镜、支撑梁和质量块；反射镜设在质量块上，质量块与支撑梁连接，在加速度作用下，支撑梁使得质量块沿Z轴方向发生位移；透镜置于光源、光电探测器所在平面和反射镜所在平面之间；光电探测器用于接收由光源产生、透镜聚焦、反射镜反射回的光。本发明利用反射镜的轴向位移引起的光路损耗测量加速度值，结构简单、体积小、容易加工、成本低，且分辨率明显提高。同时，在此基础上改进得到可用于三维测量的加速度计，芯片设计简单、分辨率高，避免了传统设计中正交性误差大和体积大的缺点。
技术研发人员：卜勤练;王震;郑洁;赵慧;王敏
受保护的技术使用者：武汉光迅科技股份有限公司
技术研发日：2018.01.25
技术公布日：2018.07.27