气体红外探测器的制作方法

文档序号:19607166发布日期:2020-01-03 13:40阅读:181来源:国知局
技术特征:

1.一种气体红外探测器,其特征在于,包括:

第一电极;

衬底,所述衬底设在所述第一电极的上表面;

隔离层,所述隔离层设在所述衬底的上表面,所述隔离层开设有窗口,所述窗口用于暴露所述衬底的部分上表面;

第二电极,所述第二电极设在所述隔离层的上表面,所述第二电极为环状且环绕在所述窗口的外周;

石墨烯薄膜,所述石墨烯薄膜覆设在所述衬底的部分上表面、围成所述窗口的所述隔离层的内侧面、所述第二电极的内侧面和所述第二电极的上表面,位于所述衬底的部分上表面的所述石墨烯薄膜具有周期性纳米结构。

2.根据权利要求1所述的气体红外探测器,其特征在于,所述石墨烯薄膜在所述第二电极的上表面的覆盖面积小于所述第二电极的上表面面积。

3.根据权利要求1所述的气体红外探测器,其特征在于,所述周期性纳米结构包括多个孔状结构。

4.根据权利要求3所述的气体红外探测器,其特征在于,所述孔状结构的横截面呈圆形、方形、菱形或三角形。

5.根据权利要求1所述的气体红外探测器,其特征在于,所述隔离层为二氧化硅隔离层。

6.根据权利要求1所述的气体红外探测器,其特征在于,所述窗口为方形、圆形、菱形或三角形。

7.根据权利要求1所述的气体红外探测器,其特征在于,所述窗口设有多个,多个所述窗口均匀间隔布置。

8.根据权利要求7所述的气体红外探测器,其特征在于,所述第二电极具有多个,多个所述第二电极均匀间隔布置且一个所述第二电极对应一个所述窗口。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的气体红外探测器,其特征在于,所述石墨烯薄膜为单层或多层。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的气体红外探测器,其特征在于,掺杂所述石墨烯薄膜以改变所述石墨烯薄膜的化学势。

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