一种基于光纤的外差干涉光路结构和激光测振仪的制作方法

文档序号:16196964发布日期:2018-12-08 06:14阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及干涉测量技术领域,公开了一种基于光纤的外差干涉光路结构和激光测振仪,光路结构包括第一光纤耦合器、光纤移频器、第二光纤耦合器、光纤环路器以及光收发器;上述各器件之间均通过光纤建立连接并构成外差干涉回路。激光测振仪包括测量激光源、平衡光电探测器以及上述的光路结构,测量激光源与第一光纤耦合器的输入端、平衡光电探测器与第二光纤耦合器的输出端均通过光纤连接;本发明通过光纤连接实现占用体积小、可靠性高特点,通过构成外差干涉光路,使得光路系统具有较高的信噪比和抗干扰能力,可用于精密测量领域长度、位移、直线度、平面度等几何量的测量。

技术研发人员:刘红巍;宋云峰;杨兴;李大猛;宋耀东;周昊;陈华钧
受保护的技术使用者:余姚舜宇智能光学技术有限公司
技术研发日:2018.06.29
技术公布日:2018.12.07
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