一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法与流程

文档序号:16543067发布日期:2019-01-08 20:36阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种提高波前测量和校正精度的装置及其使用方法,属于激光系统光束质量控制技术领域,所述装置包括波前传感器、变形镜、控制器、缩束系统、分光镜和反射镜,待校正的入射激光束经分光镜后透射至变形镜,经变形镜反射回的入射激光束经分光镜后分为取样光束和输出光束,取样光束依次入射至反射镜、缩束系统和波前传感器,本发明通过改变缩束系统对取样光束的缩束比,调节入射到波前传感器上的取样光束口径,得到若干组不同口径取样光束的波前畸变,并分别利用变形镜进行波前校正得到若干组不同的波前校正电压,最后对波前畸变和波前校正电压取平均值,得到入射激光束的精准波前畸变和精准波前校正电压,校正结果精度高。

技术研发人员:薛峤;曾发;张晓璐;代万俊;田晓琳;梁樾;李森;宗兆玉;赵军普;邓武;张崑;龙蛟;张君
受保护的技术使用者:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
技术研发日:2018.07.06
技术公布日:2019.01.08
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