光源组件和微全分析系统的制作方法

文档序号:15922512发布日期:2018-11-14 00:43阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种光源组件,用于微全分析系统中,所述光源组件包括光源和牛眼准直结构,所述牛眼准直结构设置在所述光源的出光侧,用于对所述光源发射的光线进行准直;所述牛眼准直结构包括金属层,所述金属层上设置有亚波长孔和环绕该亚波长孔的多个环形凹槽,多个环形凹槽沿所述亚波长孔的径向依次设置。相应地,本发明还提供一种微全分析系统。本发明的光源组件的结构更轻薄,从而使得微全分析系统的整体结构更轻薄,并且,采用所述光源组件的微全分析系统的检测结果更加准确。

技术研发人员:王方舟;孟宪芹;王维;谭纪风;高健;孟宪东;梁蓬霞;凌秋雨;陈小川
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
技术研发日:2018.08.28
技术公布日:2018.11.13
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