一种击穿测试结构、显示面板和击穿测试方法与流程

文档序号:16478857发布日期:2019-01-02 23:53阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种击穿测试结构、显示面板和击穿测试方法。所述结构包括:基底;有源层,所述有源层设置在所述基底上;栅绝缘层,所述栅绝缘层设置在所述有源层上,所述栅绝缘层与所述有源层边沿对应的区域为爬坡区,位于所述爬坡区内部的区域为平面区;栅极层,所述栅极层设置在所述栅绝缘层上,包括相接的第一栅部和第二栅部,所述第一栅部覆盖所述平面区,所述第二栅部覆盖所述爬坡区,所述第一栅部和/或第二栅部为镂空图案以露出所述栅绝缘层。通过本发明实施例,在测试栅绝缘层的击穿电压时,可以根据击穿位置确定平面区和爬坡区哪一个被击穿,以及哪一个先被击穿,并且可以根据击穿现象准确得知栅绝缘层的膜层状况。

技术研发人员:刘振定;左博文;安亚斌;蔺聪
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
技术研发日:2018.08.29
技术公布日:2019.01.01
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