技术特征：
技术总结
本发明公开了一种快照式全场白光干涉显微测量方法及其装置。它是在白光干涉显微测量法和快照式光谱成像探测术的基础上，利用复色平行光经过轴向色散型干涉光学系统后沿轴向依次色散并一一对应地聚焦于不同的轴向深度位置、以及光谱域上的白光干涉信号强度随波长变化且在轴向色散的某一单色光焦面位置附近达到极大值，建立了测量所需的“白光干涉信号—光谱—深度”三者之间的唯一性编码，仅需多帧或单帧快照式色散光谱编码白光干涉图像，即可实现对被测元件三维形貌分布的无机械式扫描、全场非接触、快速（动态甚至瞬态）高精度测量。
技术研发人员：马锁冬;王钦华;曾春梅;许峰
受保护的技术使用者：苏州大学
技术研发日：2018.09.17
技术公布日：2018.12.11