一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法与流程

本发明涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法。

背景技术：

在过去几十年间，以悬臂支撑梁和固体质量块作为敏感元件的微机械加速度计，易在外界的高速冲击下发生断裂或损坏，结构容易疲劳；而且，为了提高这种加速度计的灵敏度，必须将敏感元件放在真空环境中和降低气体阻尼系数,但是这种制作工艺成本较高且复杂。相比而言，利用流体作为敏感元件，制作而成的器件可实现结构简单、抗冲击能力强、寿命长和成本低的特点，具有优良的性能。之前，利用热对流原理制作而成的加速度计，由于热对流气体的流速较慢，且依赖重力加速度g，导致其灵敏度较低和易受外界环境的影响。以上两个因素的影响导致热对流加速度计的灵敏度无法提高，限制了热流加速度计的应用。因此，本领域技术人员致力于研发一种能够克服以上两种因素对加速度计的影响，提高加速度计的性能。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法，利用周期性方波电压形成的热膨胀流，可同时实现两轴加速度的测量。结构简单、寿命长、抗冲击能力强、成本低，同时可抵抗外界环境的干扰和提高流体加速度计的灵敏度。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供一种热膨胀式流体二维加速度计，其包括：上密封层、下密封层、中间检测层；所述中间检测层设置有方形结构，所述方形结构设置有金属电阻桥热敏丝、金属电阻桥加热丝和绝缘子接线柱；所述上密封层设置有上密封层内槽，所述下密封层设置有下密封层内槽，所述上密封层与所述下密封层构成加速度计的敏感腔体，所述敏感腔体内部的气体与外界隔离以形成一个封闭的工作环境。

作为一种进一步的技术方案，所述方形结构的四边中心对称悬置四根金属电阻桥加热丝，且各个金属电阻桥加热丝与相应边保持平行。

作为一种进一步的技术方案，在所述方形结构上，与每根金属电阻桥加热丝距离相同长度且相对平行的位置悬置两根金属电阻桥热敏丝。

作为一种进一步的技术方案，定义所述方形结构的垂直的相邻两边所在方向分别为x方向、y方向，所述敏感腔体的高度方向为z向；所述金属电阻桥热敏丝包括检测x轴加速度的金属电阻桥热敏丝、检测y轴加速度的金属电阻桥热敏丝；检测x轴加速度的金属电阻桥热敏丝为四根，对称悬置于方形结构x轴向两边上，并在相应边上的金属热敏加热丝两侧对称放置；检测y轴加速度的金属电阻桥热敏丝为四根，对称悬置于方形结构y轴向两边上，并在相应边上的金属热敏加热丝两侧对称放置；四根金属电阻桥加热丝的悬置高度一致，均为z1；检测x轴加速度的四根金属电阻桥热敏丝、检测y轴加速度的四根金属电阻桥热敏丝的悬置高度一致，均为z2，满足：z1＝z2。

作为一种进一步的技术方案，所述金属电阻桥加热丝加载周期性的方波电压，方波电压的一个工作周期包括通电时间与断电时间。

作为一种进一步的技术方案，所述金属电阻桥热敏丝加载恒定电压。

作为一种进一步的技术方案，每一所述金属电阻桥加热丝由相同长度的pt金属电阻线制成。

作为一种进一步的技术方案，每一所述金属电阻桥热敏丝由相同长度的pt金属电阻线制成。

作为一种进一步的技术方案，每一所述的绝缘子接线柱的规格相同。

综上所述，本实施例工作时，方形结构上的四根金属电阻桥加热丝加热，其周围的气体受热膨胀，形成沿x、y方向运动的热膨胀流，该热膨胀流运动过程符合质量、动量和能量守恒。悬置方形结构上的两根金属电阻桥加热丝形成分别沿x轴正、负向运动的热膨胀流，悬置方形结构上的另外两根金属电阻桥加热丝形成分别沿y轴正、负向运动的热膨胀流。金属电阻桥加热丝两侧悬置有检测x轴加速度的金属电阻桥热敏丝、检测y轴加速度的金属电阻桥热敏丝；共有八根金属电阻桥热敏丝检测输入加速度引起的周围温度场的变化。具体地说，当外界输入x轴方向的加速度时，由于惯性力的作用，热膨胀流体引起腔体内部温度场的变化，根据热阻效应，沿输入加速度方向的一对金属电阻热敏丝之间发生阻值变化，通过相应的检测电路及信号处理电路，可实现输入x轴加速度值的测量。当外界输入y轴方向的加速度时，由于惯性力的作用，热膨胀流体引起腔体内部温度场的变化，根据热阻效应，沿输入加速度方向的一对金属电阻热敏丝之间发生阻值变化，通过相应的检测电路及信号处理电路，可实现输入y轴加速度值的测量。

第二方面，本发明还提供一种制作所述热膨胀式流体二维加速度计的加工方法，其包括如下步骤：

s1、在铝材上制作生成方形的中间检测层，并在方形结构相应位置制成直径和高度与绝缘子尺寸相同的孔，用于安装绝缘子接线柱；

s2、在二十四个孔上安装镀金绝缘子接线柱，以悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝；

s3、裁剪用于悬置检测x、y轴加速度的金属电阻桥热敏丝绝缘子接线柱的引线和用于悬置金属电阻桥加热丝绝缘子接线柱的引线，并裁剪出相同的长度，使检测x、y轴加速度的金属电阻桥热敏丝与金属电阻桥加热丝处于同一平面上；

s4、通过焊接工艺，将金属电阻桥热敏丝和金属电阻桥加热丝焊接在绝缘子接线柱上；

s5、将制作好的上密封层、下密封层、中间检测层进行装配，形成热膨胀式流体加速度计。

采用上述技术方案，本发明具有如下有益效果：

本发明提出的热膨胀式流体二维加速度计，采用方形结构的检测层，悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现二维加速度的同时检测。该结构在x轴和y轴方向分别放置两根金属电阻桥加热丝，在每根金属电阻桥加热丝两侧的两根金属电阻桥热敏丝，可实现加速度值的准确测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是实施例中热膨胀式流体二维加速度计上密封层三维示意图；

图2是实施例中热膨胀式流体二维加速度计上密封层俯视图；

图3是实施例中热膨胀式流体二维加速度计上密封层主剖视图；

图4是实施例中热膨胀式流体二维加速度计中间检测层三维示意图；

图5是实施例中热膨胀式流体二维加速度计中间检测层俯视图；

图6是实施例中热膨胀式流体二维加速度计中间检测层左视图；

图7是实施例中热膨胀式流体二维加速度计下密封层三维示意图；

图8是实施例中热膨胀式流体二维加速度计下密封层俯视图；

图9是实施例中绝缘子接线柱平面示意图。

图中，1：上密封层；2：中间检测层；3：下密封层；4、5、6、7：金属电阻桥加热丝；8、9、10、11、12、13、14、15：金属电阻桥热敏丝；16：上密封层内槽；17：下密封层内槽；18：绝缘子接线柱。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

实施例一

本实施例提供一种热膨胀式流体二维加速度计，其包括：上密封层1、下密封层3、中间检测层2。

结合图1至图9所示，上密封层1设置有上密封层内槽16，下密封层3设置有下密封层内槽17，上密封层内槽16与下密封层内槽17之间高度为敏感腔体的总高度z，优选的，该实施例中的腔体总高度越为腔体长度的10％，可以有效抑制腔体内部气体的自然对流。上密封层1与下密封层3构成加速度计的敏感腔体，敏感腔体内部的气体与外界隔离以形成一个封闭的工作环境。

结合图4、5、6所示，中间检测层2的方形结构上悬置有四根金属电阻桥加热丝作为加速度计的加热丝(金属电阻桥加热丝4、5、6、7)，金属电阻桥加热丝4、5、6、7两侧悬置的八根金属电阻桥作为加速度计的热敏丝(金属电阻桥热敏丝8、9、10、11、12、13、14、15)。

其中，加热丝用于加热腔体内部气体形成沿x轴、y轴的定向热流。

具体来说：在密闭腔体内，悬置的金属电阻桥加热丝4、5、6、7加载周期性方波电压而发热，其周围的气体介质受热膨胀，形成运动的热膨胀流，该热膨胀流运动过程符合质量、动量和能量守恒。可以认为，金属电阻桥加热丝4、6形成分别沿x轴正、负向的热膨胀流，金属电阻桥加热丝5、7形成分别沿y轴正、负向的热膨胀流。

其中，热敏丝用于检测外界加速度输入引起的腔体内部温度的变化。

具体来说：金属电阻桥热敏丝8、9、12、13检测x轴加速度，当外界输入x轴方向的加速度时，由于惯性力的作用，热膨胀流体引起腔体内部x-y平面温度场发生偏移，金属电阻桥热敏丝8、9之间和金属电阻桥热敏丝12、13之间产生温度差，根据热阻效应，金属电阻桥热敏丝8、9之间和金属电阻桥热敏丝12、13产生阻值差，通过相应的检测电路及信号处理电路，可推算出输入x轴的加速度值；金属电阻桥热敏丝10、11、14、15检测y轴加速度，当外界输入y轴方向的加速度时，由于惯性力的作用，热膨胀流体引起腔体内部x-y平面温度场发生偏移，金属电阻桥热敏丝10、11之间和金属电阻桥热敏丝14、15之间产生温度差，根据热阻效应，金属电阻桥热敏丝10、11之间和金属电阻桥热敏丝14、15之间产生阻值差，通过相应的检测电路及信号处理电路，可推算出输入y轴的加速度值。

本实施例中，中间检测层的方形结构上悬置的四根金属电阻桥加热丝4、5、6、7和检测x轴方向和y轴方向的八根金属电阻桥热敏丝8、9、10、11、12、13、14、15的长度相同，都是由材料和横截面积相同的pt丝制成。

本实施例中，方形结构上悬置的四根金属电阻桥加热丝4、5、6、7加载周期性方波电压，方波电压的一个工作周期包括通电时间与断电时间；方形结构上悬置的八根金属电阻桥热敏丝8、9、10、11、12、13、14、15加载恒定电压。

实施例二

本实施例还提供一种制作所述热膨胀式流体二维加速度计的加工方法，其包括如下步骤：

s1、在铝材上制作生成方形的中间检测层，并在方形结构相应位置制成直径和高度与绝缘子尺寸相同的孔，用于安装绝缘子接线柱18；

s2、在二十四个孔上安装镀金绝缘子接线柱18，以悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝；

s3、裁剪用于悬置检测x、y轴加速度的金属电阻桥热敏丝绝缘子接线柱的引线和用于悬置金属电阻桥加热丝绝缘子接线柱的引线，并裁剪出相同的长度，使检测x、y轴加速度的金属电阻桥热敏丝与金属电阻桥加热丝处于同一平面上；

s4、通过焊接工艺，将金属电阻桥热敏丝和金属电阻桥加热丝焊接在绝缘子接线柱上；

s5、将制作好的上密封层、下密封层、中间检测层进行装配，形成热膨胀式流体加速度计。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。