一种滤波器探针测试方法与流程

本发明实施例涉及滤波器领域，特别涉及一种滤波器探针测试方法。

背景技术：

滤波器是一种用于分隔频率的微波元件，通过一定频率的信号阻断另一些频率的信号，主要用于微波通信中。

在滤波器的设计制作过程中，为了提高制作滤波器频率的准确性，需要利用探针对半成品滤波器进行检测，得到探针波形。经过多次探测测试可以得到探针波形与成品滤波器的中心频率的之间对应关系，在制作芯片时利用对应关系可以推算出成品滤波器的中频频率。

然而，小型化的高频滤波器内各个换能器之前相互影响，导致探针波形变化不规律，探针波形不易分辨。

技术实现要素：

为了解决现有技术的问题，本发明实施例提供了一种滤波器探针测试方法。该技术方案如下：

第一方面，提供了一种滤波器探针测试方法，该方法包括：

制作掩膜版，所述掩膜版上的图形包括多个谐振器图形和两个探针电极图形，所述两个探针电极图形与所述多个谐振器图形中的一个单组谐振器图形连接；

在滤波器制作过程中利用所述掩膜版进行光刻，得到的滤波器中有一个单组谐振器连接两个探针电极；

利用所述两个探针电极获取所述单组谐振器的探针波形。

可选的，获取探针波形与滤波器波形的对应关系。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

通过制作掩膜版，掩膜版的图形中的单谐振器图形连接两个探针电极图形，在制作滤波器过程中利用包括改进的图形的掩膜版进行光刻，得到的滤波器中存在一个单组谐振器与两个探针电极连接，利用探针电极获取单组谐振器的探针波形；解决了现在探针测试方法获取的波形不稳定的问题；达到了令获取到的探针波形变化规律、易分辨，方便确定成品滤波器的中心频率的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据一示例性实施例示出的一种滤波器探针测试方法的流程图；

图2是根据一示例性实施例示出的一种滤波器光刻后的图案；

图3是根据一示例性实施例示出的一种滤波器的csp套刻后图案。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

请参考图1，其示出了本发明一个实施例提供的滤波器探针测试方法的流程图。如图1所示，该滤波器探针测试方法可以包括以下步骤：

步骤101，制作掩膜版，掩膜版上的图形包括多个谐振器图形和两个探针电极图形，两个探针电极图形与多个谐振器图形中的一个单组谐振器图形连接。

多个谐振器图形包括单组谐振器图形和两两并联的谐振器图形。

由于csp(chipscalepackage，芯片级封装)图案是无电极的第一层图案，无法找到合适的地方扎针，因此在光刻过程中设置探针。

由于需要扎输入输出两个脚位，且不能扎到换能里面，需要找具有一定面积的位置，此外，单组谐振器探出的波形单一且容易确定波形，并联的谐振器探出的波形比较复杂且不太稳定，不易确定频率，因此，两个探针电极图形与多个谐振器图形中的单组谐振器图形连。

在制作掩膜版时，在多个谐振器图形中找出一个单组谐振器，在找出的单组谐振器处设置两个探针电极。

步骤102，在滤波器制作过程中利用掩膜版进行光刻，得到的滤波器中有一个单组谐振器连接两个探针电极。

如图2所示，黑色部分表示换能器，换能器与电极连接，虚线椭圆内部的是两个探针电极12，多个换能器中有一个单组谐振器11，根据掩膜版进行光刻，得到的滤波器中的单组谐振器11与两个探针电极12连接。

如图3所示，csp滤波器套刻后，得到的最终图案不会影响滤波器的最终性能。

步骤103，利用两个探针电极获取滤波器的探针波形。

综上所述，本发明实施例通过制作掩膜版版，掩膜版的图形中的单组谐振器图形连接两个探针电极图形，在制作滤波器过程中利用包括改进的图形的掩膜版进行光刻，得到的滤波器中存在一个单组谐振器与两个探针电极连接，利用探针电极获取单组谐振器的探针波形；解决了现在探针测试方法获取的波形不稳定的问题；达到了令获取到的探针波形变化规律、易分辨，方便确定成品滤波器的中心频率的效果。

此外，还可以针对不同的半成品滤波器执行上述步骤101至步骤103得到多个探针波形，获取探针波形与滤波器波形的对应关系，方便推算成品滤波器的中心频率。

需要说明的是：上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种滤波器探针测试方法，属于滤波器领域。该方法包括制作掩膜版，所述掩膜版上的图形包括多个谐振器图形和两个探针电极图形，所述两个探针电极图形与所述多个谐振器图形中的单组谐振器图形连接；在滤波器制作过程中利用所述掩膜版进行光刻，得到的滤波器中有一个单组谐振器连接两个探针电极；利用所述两个探针电极获取单组谐振器的探针波形；解决了现在探针测试方法获取的波形不稳定的问题；达到了令获取到的探针波形变化规律、易分辨，方便确定成品滤波器的中心频率的效果。

技术研发人员：袁蔚旻;夏明超;掌庆冠;张莉;孙昭苏
受保护的技术使用者：无锡市好达电子有限公司
技术研发日：2018.11.30
技术公布日：2019.05.24