技术总结
本实用新型涉及一种声表面波谐振器型热对流式双轴加速度计结构，包括基板、顶面绝缘层、底面绝缘层、加热器，顶面绝缘层、底面绝缘层分别设置在基板的上表面和下表面，加热器设置在基板的中部；所述基板顶面绝缘层上对称分布于加热器上端面四侧设有4个同频率的声表面波谐振器；所述底面绝缘层上设有输入信号电极、输出信号电极、接地电极；所述基板封接有封帽，顶面绝缘层四边设有封接区，基板为正方形基板。通过本实用新型，采用声表面波谐振器作为感测元件，输出信号为准数字的谐振频率，分辨率高、测量精度高，便于对测量结果作进一步的数字化处理；采用常规的微机械加工工艺，并采用正方形基板和封帽结构，适合于批量化生产。
技术研发人员：赵成;陈磊;张凯;孙妍;郭鹏飞;王健
受保护的技术使用者：扬州大学
技术研发日：2018.04.24
技术公布日：2018.12.14