散射测量系统及其使用方法与流程

文档序号:19488274发布日期:2019-12-21 04:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微散射测量系统,依次包括:

光源,所述光源提供在400nm至700nm范围内的至少一个波长的光;

聚焦元件;

样品保持器;

光圈;和

第一光检测器,所述第一光检测器能够围绕偏心点旋转,其中当所述光源被通电时,来自所述光源的光束穿过所述聚焦元件并通过所述聚焦元件聚焦到聚焦在所述第一光检测器的所述偏心点处的面积在1平方微米至625平方微米范围内的斑点,其中所聚焦的光在所述焦点之后发散,并且发散光在接触所述第一光检测器之前穿过所述光圈,并且其中所述样品保持器能够在正交于入射光束的平面中平移。

2.根据权利要求1所述的微散射测量系统,其中所述光源为激光器。

3.根据前述权利要求中任一项所述的微散射测量系统,其中所述聚焦元件为透镜。

4.根据权利要求1或2所述的微散射测量系统,其中所述聚焦元件为空间光调制器。

5.根据权利要求1或2所述的微散射测量系统,其中所述聚焦元件为抛物面镜。

6.根据前述权利要求中任一项所述的微散射测量系统,还包括定位在所述光源和所述聚焦元件之间的光学斩光器。

7.根据权利要求6所述的微散射测量系统,还包括定位在所述光学斩光器和所述聚焦元件之间以将所述光束的一部分分光到第二光检测器的光束分光器。

8.根据权利要求7所述的微散射测量系统,还包括定位在所述光源和所述聚焦元件之间的扩束空间滤光器。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的微散射测量系统,还包括定位在所述光源和所述聚焦元件之间以将所述光束的一部分分光到第二光检测器的光束分光器。

10.根据权利要求9所述的微散射测量系统,还包括定位在所述光束分光器和所述聚焦元件之间的扩束空间滤光器。

11.根据权利要求10所述的微散射测量系统,其中所述光束由脉冲光构成。

12.根据权利要求1至5中任一项所述的微散射测量系统,还包括定位在所述光源和所述聚焦元件之间的扩束空间滤光器。

13.根据权利要求12所述的微散射测量系统,还包括定位在所述光源和所述扩束空间滤光器之间的光学斩光器。

14.根据权利要求13所述的微散射测量系统,其中所述光束由脉冲光构成。

15.根据前述权利要求中任一项所述的微散射测量系统,其具有镜面方向,其中所述第一光检测器能够围绕所述偏心点相对于所述镜面方向在-90°至90°的范围内旋转。

16.根据前述权利要求中任一项所述的微散射测量系统,其中光轴从所述光源朝所述样品保持器延伸,并且垂直于所述透镜和所述样品保持器两者,并且其中所述第一光检测器能够围绕所述偏心点相对于所述镜面方向在-90°至90°的范围内旋转。

17.一种微散射测量的方法,所述方法包括:

提供系统,所述系统依次包括:

光源;

聚焦元件;

样品,所述样品为至少一个波长在400nm至700nm范围内的光的透射或反射中的至少一者;

光圈;和

第一光检测器,所述第一光检测器能够围绕偏心点旋转,

使所述光源通电以提供具有在400nm至700nm范围内的至少一个波长的光的光束,其中来自所述光源的光束穿过所述聚焦元件并通过所述聚焦元件聚焦到所述样品上或所述样品内的面积在1平方微米至625平方微米范围内的斑点,其中所述样品保持器在正交于所述入射光束的平面中平移,并且其中所述光的至少一部分透射穿过所述样品或被所述样品反射以提供散射光;以及

使所述第一光检测器围绕偏心点旋转,并且将由穿过所述光圈的所述散射光生成的数据收集到所述第一光检测器上。

18.根据权利要求17所述的方法,还包括由所收集的数据生成角分辨的散射光轮廓。

19.根据权利要求18所述的方法,其中所述光源为激光器。

20.根据权利要求17至19中任一项所述的方法,其中所述聚焦元件为透镜。

21.根据权利要求17至20中任一项所述的方法,其中所述聚焦元件为空间光调制器。

22.根据权利要求17至19中任一项所述的方法,其中所述聚焦元件为抛物面镜。

23.根据权利要求17至22中任一项所述的方法,还包括定位在所述光源和所述聚焦元件之间的光学斩光器,其中所述方法还包括用所述光学斩光器斩断所述光束。

24.根据权利要求17至23中任一项所述的方法,还包括定位在所述光学斩光器和所述聚焦元件之间以将所述光束的一部分分光到第二光检测器的光束分光器,其中所述方法还包括所述光束分光器将所述光束的一部分分光到所述第二光检测器。

25.根据权利要求23所述的方法,还包括定位在所述光源和所述聚焦元件之间的扩束空间滤光器,其中所述方法还包括用所述扩束空间滤光器过滤和扩展所述光束。

26.根据权利要求23所述的方法,其中所述光束由脉冲光构成。

27.根据权利要求17至22中任一项所述的方法,还包括定位在所述光源和所述聚焦元件之间的扩束空间滤光器,其中所述方法还包括用所述扩束空间滤光器过滤和扩展所述光束。

28.根据权利要求27所述的系统,其中所述光束由脉冲光构成。

29.根据权利要求17至28中任一项所述的方法,其中光轴沿着所述入射光束从所述光源朝所述样品保持器延伸,并且垂直于所述透镜和所述样品保持器两者,并且其中所述第一光检测器能够围绕所述偏心点相对于所述镜面方向在-90°至90°的范围内旋转。

30.根据前述权利要求17至28中任一项所述的微散射测量系统,其具有镜面方向,其中所述第一光检测器能够围绕所述偏心点相对于所述镜面方向在-90°至90°的范围内旋转。


技术总结
本发明提供了微散射测量系统,其用于由所收集的数据生成角分辨的散射光轮廓。

技术研发人员:M·R·C·阿特金森
受保护的技术使用者:3M创新有限公司
技术研发日:2018.05.03
技术公布日:2019.12.20
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