涡流流量计的制作方法

本发明有关于一种涡流流量计，其包括：涡流产生体；及被配设于该涡流产生体的下游侧的流量测量部，并且所述流量测量部借由检测出通过所述涡流产生体所产生的涡流，测量流量。

背景技术：

真空室、淬火装置、雷射加工机、急冷器等的热源借冷却水所冷却。在这些装置，在冷却水的循环回路配设流量传感器与控制阀，借由将冷却水的流量控制成设定流量，进行热源的温度管理。对于流量传感器，例如使用便宜的涡流流量计。

例如，在专利文献1，揭示一种涡流流量计，该涡流流量计形成于本体的流路上，从上游侧依序设置涡流产生体、涡流传感器以及温度传感器。温度传感器被设置成向流路内突出。

此外，在专利文献2，揭示一种管内温度传感器的安装装置，该安装装置将以隔热材料覆盖将管内侧的前端面除外的面的金属制方块的管内侧的部分嵌入在管壁所钻的孔，而方块及隔热材料的管内侧的前端面成为与管的内壁面大致同一面，并将温度传感器埋入方块内。

[现有专利文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开平9－280912号公报

[专利文献2]日本实开昭60－156428号公报

技术实现要素：

[发明所欲解决的问题]

可是，专利文献1所记载的涡流流量计因为温度传感器向流路突出，所以在被测量流体通过温度传感器的突出部分时发生扰流。因为此扰流对在涡流产生部的涡流的产生或在涡流传感器的涡流的检测有影响，所以温度传感器需要设置于涡流传感器的下游侧。

关于这一点，若使用专利文献2所记载的管内温度传感器的安装装置的构造，因为可在本体将温度传感器安装成不会向流路内突出，所以可将温度传感器设置于涡流传感器的上游侧。可是，在专利文献2，未明确记载温度传感器的固定方法。专利文献2所记载的安装构造是将隔热材料与橡胶紧密地嵌入比方块更靠近管外侧的外壳内，并在外壳的管外侧的端部以螺丝将盖固定成压缩橡胶。从这件事推测，认为温度传感器借由将盖锁入外壳，将隔热材料与橡胶压扁，并利用其反弹力固持成与方块接触。可是，在这种温度传感器的固定方法中，橡胶或隔热材料劣化时，固持温度传感器的力降低，而可能在温度传感器与方块之间产生间隙。产生间隙时，温度传感器无法高反应性地检测出被测量流体的温度。

本发明是为了解决上述的问题点所提出，其目的在于提供一种涡流流量计，该涡流流量计可抑制对流量测量功能所给与的影响，同时提高测温功能的可靠性。

[解决问题的手段]

本发明一方面是为了解决该问题，而具有如以下所示的构成。即，(1)一种涡流流量计，包括：涡流产生体；以及被配设于该涡流产生体的下游侧的流量测量部，并且流量测量部借由检测出通过该涡流产生体所产生的涡流，测量流量；其特征为具有：测温体，包括金属制的测温壳和通过黏着剂黏接于金属制的测温壳的温度传感器；本体壳，具有配设该涡流产生体的本体流路、以及用于供测温体插入的插入孔，该本体流路与该插入孔连通；以及密封构件，对该测温体与该插入孔的内壁之间进行密封；该插入孔中所插入的该测温体还包括位于本体流路侧的前端面，所述前端面被配置于与该本体流路的流路面成为同一面的位置、或者比该本体流路的流路面更靠该本体流路的径向外侧的位置。

具有这种构成的涡流流量计以测温体不向本体流路内突出的方式被安装于本体壳，因为难以影响涡流的产生及检测，所以即使将测温体配置于本体流路上，也可抑制对流量测量功能所给与的影响。再者，涡流流量计是借由以黏着剂将温度传感器黏接于金属制的测温壳，即使长期间使用，也在温度传感器与测温壳之间难以产生间隙，因为测温体高反应性地检测出被测量流体的温度，所以可提高测温功能的可靠性。

(2)在(1)所记载的涡流流量计，优选在该测温壳，在该测温壳的轴线方向形成收容该温度传感器的收容孔；在使该温度传感器与该收容孔的内壁接触的状态黏接该温度传感器与该收容孔的内壁。

具有这种构成的涡流流量计因为可将温度传感器配置成尽量接近本体流路，所以可高反应性地检测出被测量流体的温度。再者，因为黏接温度传感器与收容孔的内壁，所以可避免因测温体的使用期间或涡流流量计的安装姿势等而在温度传感器与测温壳之间产生间隙。

(3)在(1)或(2)所记载的涡流流量计，该测温体较佳地是被配置于该涡流产生体的上游侧。

若依据具有这种构成的涡流流量计，因为测温体对涡流的产生或检测无影响，所以可得到与不具备测温体的涡流流量计相同的流量测量精度。

[发明效果]

因此，若依据本发明，可实现抑制对流量测量功能所给与的影响，同时提高测温功能的可靠性的涡流流量计。

附图说明

[图1]是本发明的实施方式的涡流流量计的剖面图。

[图2]是图1的a－a剖视图。

[图3]是压电组件壳的正视图。

[图4]是图3的上视图。

[图5]是图3的底视图。

[图6]是图3的b－b剖面图。

[图7]是图3的c－c剖面图。

[图8]是图5的d－d剖面图。

[图9]是图1所示的测温壳的上视图。

[图10]是图9的e－e剖面图。

[图11]是使用实施例所测量的电压信号的电压波形的图。

[图12]是使用比较例所测量的电压信号的电压波形的图。

具体实施方式

在以下，根据图面，说明本发明的涡流流量计的实施方式。

图1是本发明的实施方式的涡流流量计1的剖面图。如图1所示，涡流流量计1将本体壳2与控制部17收容于外壳6。本体壳2形成大致长方体形状，在相对向的第一面2a与第二面2b，经由o形环14、15连接第一接头12与第二接头13。

涡流流量计1将在位于输入侧(上游侧)的第一接头12所形成的第一通口12a与第一流路12b、在本体壳2所形成的第一喷嘴部24、本体流路23及第二喷嘴部25、以及在位于输出侧(下游侧)的第二接头13所形成的第二通口13a与第二流路13b设置成位于同轴上。本体壳2从上游侧(与第一接头12连接的侧)沿着本体流路23依序设置测温体40、涡流产生体16以及流量测量部30。此外，本体壳2与外壳6是以具有耐腐蚀性、强度的树脂所形成。第一接头12与第二接头13由金属所形成。

涡流产生体16在与本体流路23的轴线方向(在图1为左右方向)正交的方向(在图1为上下方向)被设置成柱状。涡流产生体16与本体壳2一体成形。

图2是图1的a－a剖面图。涡流产生体16沿着本体流路23的轴线方向所剖开的剖面的形状形成六角形形状，在从输入侧(第一接头12侧)所流入的被测量流体非对称地产生卡门涡流k1、k2。流量测量部30是借由卡门涡流k1、k2的交变应力作用于受压部314，检测出卡门涡流k1、k2，而测量被测量流体的流量。

回到图1，本体壳2在控制部17所在的侧的面(在图1为上面)，钻设第一插入孔27与第二插入孔26。第一插入孔27在比涡流产生体16上游侧的位置，以与本体流路23连通的方式所形成。测温体40以位于本体流路23侧的前端面415在本体流路23侧不突出的方式被插入第一插入孔27，并通过螺丝固定于本体壳2。第二插入孔26在比涡流产生体16下游侧的位置，以与本体流路23连通的方式所形成。流量测量部30以在前端部所设置的受压部314向本体流路23突出的方式插入第二插入孔26，并通过螺丝固定于本体壳2。

流量测量部30将压电组件32收容于压电组件壳31。压电组件32在长方形的压电板322的一端连接电极部321。压电组件32因应于压电板322的应变变形而从电极部321输出电压。压电组件32在将压电板322插入在压电组件壳31的中央沿着轴线方向所形成的狭缝318，并将电极部321配置于在狭缝318的开口部所设置的大径孔部317内的状态，使用紫外线硬化性黏着剂黏接于压电组件壳31。

压电组件壳31将不含玻璃纤维的树脂成形成图3～图8所示的形状。图3是压电组件壳31的正视图。图4是图3的上视图。图5是图3的底视图。图6是图3的b－b剖面图。图7是图3的c－c剖面图。图8是图5的d－d剖面图。

如图3所示，压电组件壳31包括嵌合部312、受压部314以及凸缘部311。

如图3及图5所示，嵌合部312形成圆柱形状。嵌合部312在位于本体流路23侧的端部(在图3为下端部)，具备直径比嵌合部312小的小径部312b，并沿着外周面成环状地形成段差部312c。如图3所示，嵌合部312将环状的密封构件51安装小径部312b，并借段差部312c限制密封构件51的移动。

如图3所示，受压部314从嵌合部312的位于本体流路23侧的前端面312a(在图3为下端面)沿着轴线方向突出。如图7所示，受压部314形成在对压电组件壳31的轴线正交的方向所剖开的剖面成为六角形的板形状，并以使在被测量流体所产生的阻力变成尽量小的方式被配置于本体流路23内。

如图6所示，嵌合部312从前端面312a沿着压电组件壳31的轴向(在图6为上下方向)，形成空间部319。空间部319沿着受压部314的外周面所形成。因此，受压部314在嵌合部312的内部与嵌合部312连接，并被悬臂支撑。受压部314的总长l1与未形成空间部319并在嵌合部的前端面被悬臂支撑的熟知型的受压部相比，只长了空间部319的长度l2的份量，并以基端部314b为基点易弯曲变形(振动)。

空间部319被形成至超过形成小径部312b的区域的位置，换言之，自段差部312c至与本体流路23(嵌合部312的前端面312a)相反侧的位置。因此，空间部319横渡可安装密封构件51的区域所形成，而作成密封构件51的应力不会作用于受压部314。

狭缝318在受压部314的内部所形成。压电组件壳31将压电组件32的压电板322插入狭缝318，并无间隙地黏接压电板322与狭缝318的内壁。压电组件32借由压电板322因传达受压部314的变形(振动)而产生变形，检测出卡门涡流k1、k2。因此，受压部314的振动的振幅(变形量)愈大，压电组件32的灵敏度愈佳。

可是，受压部314的振动的振幅(变形量)过大时，可能发生共振。压电组件32例如压电板322只要变形0.05mm，就可检测出振动。因此，如图5及图8所示，压电组件壳31在空间部319设置一对肋313、313，来抑制受压部314的变形(振动)。一对肋313、313沿着受压部314的横宽方向(本体流路23的轴线方向、对压电组件壳31的轴线正交的方向、在图5及图8为左右方向)被设置成对称，并分割空间部319。如图8所示，一对肋313、313的周缘部除了位于本体流路23侧(嵌合部312的前端面312a侧)的面以外，与嵌合部312及受压部314连接。一对肋313、313拉动变形的受压部314，并限制受压部314的变形量(振动的振幅)。

如图6所示，受压部314在本体流路23内所配置的前端部314a的厚度比基端部314b的厚度薄。借此，例如，即使是因为涡流流量计1的可测量范围的下限值是低流量，而本体流路23的流路截面积小的情况，也确保在受压部314和本体流路23的流路面23a之间所形成的间隙，作成受压部314可因承受卡门涡流k1、k2的交变应力而产生变形。此外，例如，在因为涡流流量计1的可测量范围的下限值是大流量，而本体流路23的流路截面积大的情况，也可前端部314a与基端部314b的厚度是相同。

凸缘部311被设置于嵌合部312的位于与本体流路23相反侧的后端部(在图3为上端部)，并规定将流量测量部30插入第二插入孔26的插入量。在凸缘部311，形成用于插入固定螺丝的贯穿孔316、316。

如图4及图5所示，凹部315被设置于凸缘部311的外缘部。如图5所示，凹部315与受压部314及一对肋313、313被设置成位于同轴上，并沿着本体流路23的轴心方向所形成。如图1所示，本体壳2在第二插入孔26的侧方，设置导引部28。导引部28沿着对本体流路23的轴心方向正交的方向(在图1中为上下方向)所形成，并被设置成与第二插入孔26平行。因此，压电组件壳31借由使凹部315与导引部28卡合，可将受压部314对本体流路23的轴心定位。

如图1所示，第二插入孔26包括：嵌合凹部26a，与压电组件壳31的嵌合部312所嵌合；及连通部26d，被受压部314贯穿。嵌合凹部26a包括嵌合部312所嵌合的嵌合孔部26b、与小径部312b所嵌合的小径孔部26c，借由在两点支撑压电组件壳31，抑制流量测量部30的晃动。压电组件壳31与第二插入孔26的内壁之间的间隙是通过密封构件51所密封。连通部26d形成为比受压部314的可变形区域大的圆形或椭圆形，并与受压部314不接触。

如图1所示，测温体40将温度传感器42收容于测温壳41。

图9是图1所示的测温壳41的上视图。图10是图9的e－e剖面图。测温壳41例如由不锈钢等的导热性、耐腐蚀性高的金属所形成。

图10所示的测温壳41的嵌合部412形成为圆柱形。嵌合部412在位于本体流路23侧的端部(在图10为下端部)，具有被设置成直径比嵌合部412小的小径部414，并沿着外周面将凹部413形成环状。测温壳41将密封构件52安装于小径部414，并通过凹部413限制密封构件52的移动。凸缘部411被设置于嵌合部412的位于与本体流路23相反侧的端部(在图10为上端部)，并规定将测温体40插入第一插入孔27的插入量。如图9所示，在凸缘部411，形成用于插入固定螺丝的贯穿孔416、416。测温壳41在与前端面415相反侧的面(位于与本体流路23相反侧的面)将收容孔418钻设成圆柱形。

如图1所示，温度传感器42是对收容孔418插入成与收容孔418的内壁418a接触，并借紫外线硬化性黏着剂黏接于测温壳41。

如图1所示，第一插入孔27包括：嵌合凹部27a，测温体40所嵌合；及连通部27d，使嵌合凹部27a与本体流路23连通。本体壳2借由将测温壳41的嵌合部412与小径部414插入嵌合凹部27a的嵌合孔部27b与小径孔部27c，在两点支撑测温体40，抑制测温体40的晃动。测温体40与第一插入孔27的内壁之间通过密封构件52所密封。

控制部17包括传感器基板3、主基板4以及显示设备5。传感器基板3经由一对导线10与流量测量部30的压电组件32连接。并经由导线11与测温体40的温度传感器42连接。再者，传感器基板3经由导线9与主基板4连接。主基板4搭载显示设备5。再者，主基板4经由导线7与连接器8连接，并与图中未示出的外部装置连接成可通讯。

接着，说明涡流流量计1的组装程序。首先，将流量测量部30与测温体40安装于本体壳2。具体而言，将环状的密封构件51安装于流量测量部30的小径部312b。然后，使流量测量部30的凹部315与本体壳2的导引部28卡合，再一面将密封构件51压扁一面将流量测量部30推入第二插入孔26的嵌合凹部26a。对第二插入孔26将流量测量部30插入至凸缘部311与本体壳2抵接的位置后，将图中未示出的固定螺丝插入凸缘部311的贯穿孔316、316，并锁紧于本体壳2，借此，将流量测量部30固定于本体壳2。同样地依此方式，将测温体40固定于本体壳2。

然后，将与流量测量部30连接的一对导线10及与温度传感器42连接的导线11分别与传感器基板3连接。将主基板4、显示设备5以及连接器8安装于外壳6的上部盖6a。经由导线9将传感器基板3与主基板4连接后，以对准本体壳2的上端缘2d的方式盖上上部盖6a，并以螺丝固定后，将本体壳2收容于外壳6的下部盖6b。然后，使本体壳2与下部盖6b成一体地卡合。

然后，经由o形环14、15以螺丝将第一接头12与第二接头13固定于本体壳2。借此，涡流流量计1的组装完成。

涡流流量计1因为对本体壳2，可从图中上侧在同一方向安装流量测量部30、测温体40、传感器基板3以及主基板4，所以易组装。又，在本体壳2与外壳6之间所形成的收容空间内将导线10、11进行配线。因此，在组装涡流流量计1的情况，因为不必对导线10、11进行密封，而借o形环14、15与密封构件51、52可确保控制部17的防水性，所以组装作业是简单。进而，在将流量测量部30与测温体40插入第二插入孔26与第一插入孔27时，密封构件51、52移动至段差部312c、413，并被卡止于段差部312c、413。因此，密封构件51、52的安装状况稳定。

接着，说明涡流流量计1测量流量与温度的程序。如图1所示，涡流流量计1从第一通口12a向第一流路12b所输入的被测量流体被第一喷嘴部24整流后，在本体流路23流动，然后借第二喷嘴部25使流速减速后，向第二流路13b流出，而从第二通口13a被输出。

被测量流体借涡流产生体16，沿着本体流路23的轴线方向非对称地产生卡门涡流k1、k2，而卡门涡流k1、k2的交变应力作用于流量测量部30的受压部314。受压部314交变应力作用于前端部314a时，以基端部314b为基点产生振动(弯曲变形)。压电组件32借从受压部314所传达的振动而压电板322弯曲，因应于压电板322的应变变形，从电极部321向传感器基板3输出模拟信号。

传感器基板3将从压电组件32的电极部321所接收的模拟信号变换成数字信号。即，传感器基板3将超过临限值的模拟信号变换成“1”，而将不超过临限值的模拟信号变换成“0”。主基板4以涡流流量计1的电源变成导通为契机，执行微电脑的程序。主基板4借该程序，收到来自传感器基板3的数字信号时，检测出该数字信号的频率，并对流量进行数值化。显示设备5接收来自主基板4的数值化的流量并显示。

涡流流量计1除了流量测量以外，还借测温体40测量被测量流体的温度。被测量流体的一部分在涡流产生体16的上游侧流入第一插入孔27，而与测温体40的测温壳41接触。测温壳41因为由导热性佳的金属所形成，所以被加热至与被测量流体相同的温度。温度传感器42与测温壳41接触，并测量温度。因此，测温体40不会受到外气温度等的影响，而可高反应性地检测出被测量流体的温度。传感器基板3从温度传感器42收到关于被测量流体的温度的信息时，向主基板4传送该信息。主基板4根据从传感器基板3所接收的信息，将被测量流体的温度显示于显示设备5。

压电组件32与温度传感器42都分别被黏接于压电组件壳31与测温壳41。因此，涡流流量计1不会因使用期间或安装姿势，而在压电组件32与压电组件壳31之间、或温度传感器42与测温壳41之间产生间隙，而可在长期间维持流量测量功能与温度测量功能的可靠性。

此外，显示设备5如果作成因应于涡流流量计1的安装姿势，可变更流量或温度的显示方向(例如，直写、横写)，则用户易看到显示内容而方便。

如以上的说明所示，本实施方式的涡流流量计1包括：涡流产生体16；及被配设于涡流产生体16的下游侧的流量测量部30，并且流量测量部30借由检测出通过涡流产生体16所产生的卡门涡流k1、k2，测量流量；该涡流流量计1的特征为：具有：测温体40，包括金属制的测温壳和通过黏着剂将黏接于金属制的测温壳41的温度传感器42；本体壳2，具有配设涡流产生体16的本体流路23、与被插入测温体40的第一插入孔27，并本体流路23与第一插入孔27连通；以及密封构件52，对测温体40与第一插入孔27的内壁之间进行密封；在第一插入孔27所插入的测温体40的前端面415位于本体流路23侧，该前端面415被配置于比本体流路23的流路面23a更靠本体流路23的径向外侧的位置。

具有这种构成的涡流流量计1以测温体40向本体流路23内不突出的方式被安装于本体壳2，因为难影响涡流的产生及检测，所以即使将测温体40配置于本体流路23上，也可抑制对流量测量功能所给与的影响。再者，涡流流量计1借由以黏着剂将温度传感器42黏接于金属制的测温壳41，即使长期间使用，也在温度传感器42与测温壳41之间难产生间隙，因为测温体40高反应性地检测出被测量流体的温度，所以可提高测温功能的可靠性。

再者，在本实施方式的涡流流量计1，其特征为：在测温壳41，在测温壳41的轴线方向形成收容温度传感器42的收容孔418；在使温度传感器42与收容孔418的内壁418a接触的状态黏接温度传感器42与收容孔418的内壁418a。

这种涡流流量计1因为可将温度传感器42配置成尽量接近本体流路23，所以可高反应性地检测出被测量流体的温度。再者，因为以黏着剂黏接温度传感器42与收容孔418的内壁418a，所以可避免因测温体40的使用期间或涡流流量计1的安装姿势等而在温度传感器42与测温壳41之间产生间隙。

再者，本实施方式的涡流流量计1特征为：测温体40被配置于涡流产生体16的上游侧。若依据这种涡流流量计1，因为测温体40对卡门涡流k1、k2的产生或检测无影响，所以可得到与不具备测温体40的涡流流量计相同的流量测量精度。

因此，若依据本实施方式，可实现抑制对流量测量功能所给与的影响，同时提高测温功能的可靠性的涡流流量计。

再者，本实施方式的涡流流量计1包括：本体壳2，具备本体流路23；涡流产生体16，被配置于本体流路23；以及流量测量部30，被配设于涡流产生体16的下游侧，并借由检测出借涡流产生体16所产生的卡门涡流k1、k2，测量流量；该涡流流量计1的特征为：流量测量部30具有压电组件32与压电组件壳31；压电组件壳31具有：与本体壳2嵌合的嵌合部312；受压部314，从嵌合部312的位于本体流路23侧的前端面312a突出，并被配置于本体流路23内；空间部319，在嵌合部312沿着压电组件壳31的轴线方向所形成，并将嵌合部312与受压部314之间隔离；以及狭缝318，在受压部314的内部所形成，并收容压电组件32。

该构成的涡流流量计1在不改变受压部314从嵌合部312的前端面312a突出的量下，可借空间部319使受压部314的长度l1变长。借此，即使是被测量流体为低流量，而卡门涡流k1、k2的交变应力小的情况，亦受压部314承受借涡流产生体16所产生的卡门涡流k1、k2而易振动(弯曲变形)，而压电组件32可检测出卡门涡流k1、k2。依此方式，若依据本实施方式的涡流流量计1，因为只是将空间部319设置于压电组件壳31，而压电组件32的灵敏度提高，所以可一面抑制尺寸的大形化，一面提高流量测量精度。

再者，本实施方式的涡流流量计1特征为：本体壳2形成被插入流量测量部30的第二插入孔26；具有对本体壳2与流量测量部30之间(嵌合部312的外周面与第二插入孔26的内壁之间)进行密封的密封构件51；空间部319被设置于配置密封构件51的位置的径向内侧。

该构成的涡流流量计1因为密封构件51的应力被空间部319截断，而不会传至受压部314，所以流量测量部30可在不会受到密封构件51的应力的影响下，检测出卡门涡流k1、k2。

再者，在本实施方式的涡流流量计1，其特征为：压电组件壳31具有在空间部319所架设的一对肋313、313；一对肋313、313沿着本体流路23的轴线方向所设置。

该构成的涡流流量计1在受压部314承受卡门涡流k1、k2而振动的情况，因为一对肋313、313拉受压部314，而抑制受压部314的振动的振幅(变形量)，所以防止受压部314发生共振，而可提高流量测量精度。

此处，本发明者们对相当于本实施方式的涡流流量计1的实施例、与相当于以往的涡流流量计100的比较例，进行调查传感器特性的测试。

实施例除了压电组件壳31的形状以外，与比较例的构成相同。实施例的压电组件壳31在嵌合部312与受压部314之间具备空间部319，而比较例的压电组件壳在嵌合部与受压部之间未具备空间部。除了这一点以外，比较例的压电组件壳与实施例的压电组件壳31的构成相同。测试是由流量控制阀、流量传感器、涡流流量计以及控制装置所构成。而且，使用控制装置，将流量控制阀控制成使流量传感器的测量值与0.4l/min一致，并测量借实施例与比较例的传感器基板3所准备的电压信号(数字信号)。在图11表示使用实施例所测量的电压信号的电压波形，在图12表示使用比较例所测量的电压信号的电压波形。在图11及图12，纵轴表示电压，横轴表示时间。

例如，如图11及图12所示，实施例与比较例相比，输出电压的波形更均匀，每单位时间的输出电压的检测次数更多。即，如图11所示，实施例是每当卡门涡流k1、k2的交变应力作用于压电组件壳31的受压部314，因为从压电组件32所输出的模拟信号超过传感器基板3的临限值，换言之，因为模拟信号不超过临限值的事不会发生，所以借传感器基板3所准备的电压信号(数字信号)的电压波形变成周期性。相对地，如图12所示，比较例是即使卡门涡流k1、k2的交变应力作用于压电组件壳的受压部，亦发生从压电组件所输出的模拟信号不超过传感器基板的临限值的情况，而借传感器基板所准备的电压信号(数字信号)的电压波形变成不均匀。这些现象意指实施例与比较例相比，压电组件壳31的受压部314更承受卡门涡流k1、k2的交变应力而易产生变形，而压电组件32的反应佳。因此，得知借由将空间部319设置于压电组件壳31，涡流流量计1的灵敏度提高。

因此，若依据本实施方式，可实现抑制尺寸的大形化，同时提高流量测量精度的涡流流量计1。

此外，本发明不是被限定为该实施方式，可进行各种的应用。

(1)例如，在该实施方式，将涡流产生体16形成截面六角形形状，但是只要可产生卡门涡流k1、k2，例如也可将位于涡流产生体16的上游侧与下游侧的两端部作成圆弧形，或将涡流产生体16的截面作成其他的形状(例如截面五角形形状)。

(2)例如，也可压电组件壳31含有玻璃纤维。但，不含玻璃纤维的压电组件壳31比含有玻璃纤维的压电组件壳柔软而易弯曲。因此，不含玻璃纤维的压电组件壳31承受低流量的被测量流体所产生的卡门涡流k1、k2而易变形，有助于流量测量部30的灵敏度的上升。

(3)在该实施方式，检测出卡门涡流k1、k2的流量测量部30采用使用压电组件32的应变传感器，但是也可是借热传感器、光传感器、压力传感器、超音波传感器等检测出卡门涡流，测量流量。

(4)在该实施方式，对第一插入孔27插入成测温体40的前端面415位于比本体流路23的流路面23a更靠近本体流路23的径向外侧，但是也可对第一插入孔27插入成前端面415位于与本体流路23的流路面23a同一面的位置。在此情况，前端面415为了向本体流路23内不突出，而作成与流路面23a的形状配合的形状为佳。

(5)例如，也可不设置一对肋313、313。

附图标记说明

1涡流流量计

2本体壳

16涡流产生体

27第一插入孔

30流量测量部

40测温体

41测温壳

42温度传感器

52密封构件

418收容孔

418a内壁