肋状纹的厚度检查装置以及方法与流程

本发明涉及肋状纹(ribmark)的厚度检查装置以及方法，更详细地，涉及自动地检测形成在切断面的肋状纹的形成与否和厚度的肋状纹的厚度检查装置以及方法。

背景技术：

作为用于将包括玻璃基板的各种脆性基板切断为所需的尺寸的工具，使用具备切断轮的划线器。该划线器在使切断轮压接于基板的表面的状态下一边施加载荷一边行进，使得通过滚动的切断轮在基板的表面形成刻划线。在形成了这样的刻划线后，以刻划线为中心，进行对基板施加弯曲力而切断的断开过程。

此时，在刻划线(断开用槽)中存在肋状纹。一般来说，在槽的正下方形成肋状纹，从肋状纹的前端延伸与脆性基板的厚度方向垂直的龟裂。

像这样，通过在刻划线形成肋状纹，从而能够以比较小的力将脆性基板断开。

近年来，寻求自动地检测这样的肋状纹的形成与否和厚度的方式。

技术实现要素：

发明要解决的课题

本发明是为了解决如前所述的要求而提出的，其目的在于，提供一种肋状纹的厚度检查装置以及方法，其中，在将通过刻划装置进行了刻划的脆性基板断开后，自动地检测成为对刻划的结果判断其优劣的指标的、形成在切断面的肋状纹的形成与否和厚度。

用于解决课题的技术方案

为了达到所述目的，本发明涉及的肋状纹的厚度检查装置包括：工作台(stage)，通过驱动部沿着引导件移动；一对脆性基板固定部，在所述工作台上位于隔开预先确定的间隔而隔离的位置；脆性基板，通过所述脆性基板固定部，以被竖立为刻划截面朝向上侧的状态被固定；以及摄像机，一边朝向所述脆性基板的截面由远而近地移动，一边对所述刻划截面进行拍摄。

进而，本发明涉及的肋状纹的厚度检查装置包括：工作台；脆性基板固定部，位于所述工作台上；脆性基板，位于所述脆性基板固定部上并以横卧的状态被固定；以及摄像机，一边以横卧的状态沿着所述脆性基板的截面移动，一边对刻划截面进行拍摄。

进而，为了达到所述目的，本发明涉及的肋状纹的厚度检查方法包括：第一阶段s100，通过摄像机获取对形成在脆性基板的刻划面的肋状纹的影像；第二阶段s200，在获取的对所述肋状纹的影像中，设定包括所述脆性基板的上表面或者下表面的边界线的第一关心区域(regionofinterest)；第三阶段s300，在选定的第一关心区域中，将线搜索(linesearching)方向向所述脆性基板的外部方向(刻划面的相反方向)推进并检测第一线；第四阶段s400，以检测到的所述第一线的垂直轴为基准，朝向所述脆性基板的内表面再次设定第二关心区域；第五阶段s500，以再次设定的所述第二关心区域为基准，将线搜索方向向所述脆性基板的内部方向(刻划面的方向)推进并检测第二线；以及第六阶段s600，测定所述第一线与所述第二线之间的宽度来测定所述肋状纹的厚度。

进而，本发明涉及的肋状纹的厚度检查方法在所述第四阶段s400中，关于再次设定的所述第二关心区域的大小计算，在与所述脆性基板的上表面或者下表面相距与预先确定的间隔相应的间隔的位置，用与所述第二关心区域的选定函数对应的结果来进行计算。

进而，在本发明涉及的肋状纹的厚度检查方法中，所述选定函数为下述的式。

：变量＝接触压力、轮角度

y＝厚度＊e^{4.7067＊压力}

在此，厚度是脆性基板的厚度，压力是刻划时的压力，r是在刻划中使用的刻划轮的角度，e是残余误差。若将厚度设为d，压力设为p，则上述式子可以简化为以下的式(1)。

y＝d＊e^4.7067＊p

发明效果

根据本发明，具有如下效果，即，在将通过刻划装置进行了刻划的脆性基板断开后，自动地检测成为对刻划的结果判断其优劣的指标的、形成在切断面的肋状纹的形成与否和厚度。

附图说明

图1是示出在本发明的一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查方法中对上表面进行了刻划的脆性基板的截面的照片。

图2是示出在本发明的一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查方法中肋状纹的厚度的检测结果的照片。

图3是示出本发明的一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查装置的图。

图4是示出本发明的另一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查装置的图。

附图标记说明

10：摄像机(机器视觉摄像机)，20：脆性基板固定部，30：工作台，40：驱动部，50：引导件，100：脆性基板，200：肋状纹，300：第一关心区域，310：第一线，400：第二关心区域，410：第二线。

具体实施方式

以下，参照相关附图对本发明的实施例进行详细说明。

图1是示出在本发明的一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查方法中进行了刻划的脆性基板的截面的照片。

参照图1，能够确认对上表面进行了刻划的脆性基板100的截面。在脆性基板100的刻划线(断开用槽)中形成肋状纹200。

在此，肋状纹200的形成位置生成在用刻划轮进行了刻划的截面。即，从进行了刻划的上表面向脆性基板100的内侧形成肋状纹200。

此时，肋状纹200的厚度根据在刻划中使用的刻划轮的角度、刻划时的压力、以及脆性基板100的材质而变化。

肋状纹200的预计厚度形成为脆性基板100的厚度的大约30％以内的程度。

图2是示出在本发明的一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查方法中肋状纹厚度的检测结果的照片。

参照图2，本发明的一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查方法通过如下的方法进行。

首先，在第一阶段s100中，通过摄像机10获取对形成在脆性基板100的刻划面的肋状纹200的影像。作为所述摄像机10，例如能够使用机器视觉摄像机。

此时，用图3以及图4对通过所述摄像机10获取对肋状纹200的影像的装置进行说明。

第二阶段s200中，在获取的对肋状纹200的影像中，设定包括脆性基板100的上表面或者下表面的边界线的第一关心区域(regionofinterest)300。

在第三阶段s300中，在选定的第一关心区域300中，将线搜索(linesearching)方向向脆性基板100的外部方向(刻划面的相反方向)推进并检测第一线310。

即，在选定的第一关心区域300中，将线搜索方向向脆性基板100的外部方向推进并检测作为脆性基板100的上表面线的第一线310。

接着，在第四阶段s400中，以检测到的第一线310的垂直轴(上下方向)为基准，朝向脆性基板100的内表面再次设定第二关心区域400。

在此，第二关心区域400能够通过脆性基板100的刻划时的刻划信息(刻划时的压力、脆性基板100的厚度、在刻划中使用的刻划轮的角度、脆性基板100的材质)进行计算。

更详细地说明为，关于在本发明涉及的肋状纹的厚度检查方法的第四阶段s400中再次设定的第二关心区域400的大小计算，在与脆性基板100的上表面或者下表面相距与预先确定的间隔对应的间隔的位置，用与第二关心区域400的选定函数对应的结果来计算大小。例如，关于所述第二关心区域400的大小计算，能够在与所述脆性基板100的上表面或者下表面相距大约20μm左右的位置，用与所述第二关心区域400的选定函数对应的结果来进行计算。

此时，选定函数如以下的式。

：变量＝接触压力、轮角度

y＝厚度＊e^{4.7067＊压力}

在此，厚度是脆性基板100的厚度，压力是刻划时的压力，r是在刻划中使用的刻划轮的角度，e是残余误差。若将厚度设为d，压力设为p，则上述式子可以简化为以下的式(1)。

y＝d＊e^4.7067＊p

像这样，能够根据刻划信息对能够推定判断肋状纹200的浸透位置的第二关心区域400的大小进行计算。

在第五阶段s500中，以再次设定的第二关心区域400为基准，将线搜索方向向脆性基板100的内部方向(刻划面的方向)推进并检测第二线410。

即，将线搜索方向向脆性基板100的内部方向推进并检测第二线410，即，肋状纹200的下部线。

最后，在第六阶段s600中，测定第一线310与第二线410之间的宽度来测定肋状纹200的厚度。

图3是示出本发明的一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查装置的图。

参照图3，本发明的一个实施例涉及的肋状纹的厚度检查装置包括工作台(stage)30、脆性基板固定部20、脆性基板100以及摄像机10。

在此，工作台30起到通过驱动部40沿着引导件50移动的引导部的作用。

脆性基板固定部20构成一对，在工作台30上位于隔开预先确定的间隔而隔离的位置。

通过这样的脆性基板固定部20，脆性基板100以被竖立为刻划截面朝向上侧的状态被固定。

此时，所述摄像机10一边朝向脆性基板100的截面由远而近地移动(即，向上下移动)，一边对刻划截面进行拍摄。

图4是示出本发明的另一个实施例涉及的肋状纹厚度的检查装置的图。

参照图4，本发明的另一个实施例涉及的肋状纹厚度的检查装置也包括工作台30、脆性基板固定部20、脆性基板100以及摄像机10。

但是，与在图3中说明的方式的不同点在于，脆性基板100以横卧的状态被固定于脆性基板固定部20这一点和工作台30被固定这一点。

即，工作台30被固定于地面。

脆性基板固定部20位于这样的工作台30上。

此外，脆性基板100位于脆性基板固定部20上并以横卧的状态被固定。

此时，摄像机10一边以从图3所图示的摄像机10向横向旋转大约90度左右的状态沿着脆性基板100的截面移动，一边对刻划截面进行拍摄。

以上的说明只不过是例示性地说明了本发明的技术思想，只要是本领域技术人员，就能够在不脱离本发明的本质性的特性的范围内进行各种各样的修正以及变形。因此，在本发明公开的实施例并非用于限定本发明的技术思想，而是用于进行说明，本发明的技术思想的范围并不被这些实施例所限定。本发明的保护范围应根据下述的权利要求书进行解释，属于与其等同的范围内的所有的技术思想应解释为包含于本发明的权利范围。