一种不同设备间样品的原位观察及测试方法与流程

本技术属于材料测试技术领域，特别涉及不同设备间样品的原位观察及测试方法。

背景技术：

材料综合性能的表征是材料测试技术领域持续关注的热点问题。同一个样品往往需要在一台设备上完成测试后，再到其它设备继续针对某些特征区域进行后续测试。然而，由于设备厂家的独立性和不同设备样品台的不兼容性问题，因此，不同设备间很难实现同一样品的原位观察及测试。现有的解决方法是在一台设备中配置多种测试附件，这样能实现不需要更换样品即可对特征区域进行原位观察及测试，例如，在扫描电镜中加装能谱仪等，可同时实现样品的原位形貌观察和成分检测。但这一方法也存在着较大的设备空间局限性，无法将各种类型的测试设备集成到一台设备中，而且配置多附件的设备价格昂贵，兼容性和便利性也无法保证。

技术实现要素：

本发明目的在于提供一种不同设备间样品的原位观察及测试方法，适用于所有可读取位置信息的设备，能实现不同设备间样品的原位观察及测试。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本技术实施例公开了一种不同设备间样品的原位观察及测试方法，依次包括如下步骤：

依次包括如下步骤：

s1待测样品做标记点，在不影响检测位置的所述待测样品边缘，分别作一个点、二个点和三个点的压痕作为标记处，以每个所述标记处靠近所述待测样品中心的点作为标记点；

s2将所述待测样品放入设备a中，找到所述标记点并记录坐标，同时记录下特征测试点坐标；

s3将所述待测样品放入设备b中，找到所述标记点并记录坐标；

s4通过计算得出在所述特征测试点在设备b的坐标；

s5输入所述特征测试点在设备b的坐标，找到所述特征测试点进行原位观察及测试。

优选地，在上述不同设备间样品的原位观察及测试方法中，所述标记点采用硬度计压痕法，三个所述标记点不共线。

优选地，在上述不同设备间样品的原位观察及测试方法中，步骤s4中，通过设备a中获得的三个所述标记点坐标和所述特征测试点坐标，计算出设备a中所述特征测试点到三个所述标记点的距离，再通过设备b中三个所述标记点坐标，计算得出所述特征测试点在设备b中的坐标。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：实现了同一样品在不同设备间的原位观察及测试，无需额外增加任何设备或样品台；操作简单，对设备无特殊要求，不产生额外费用，且定位精度高，重复性好。

附图说明

为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本发明具体实施例中标记点及特征测试点示意图；

图2所示为本发明具体实施例中标记点在样品上实际分布图；

图3所示为本发明具体实施例中测试结果图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

结合图1-3所示，本实施例以钢铁材料的热镶嵌样为例，实现特征测试点在扫描电镜和纳米压痕仪间的原位观察及测试；

(1)用常规金相制样方法制备镶嵌样，在不影响检测位置的样品边缘(三个顶角)，用维氏硬度计(压头选取hv1)，分别作一个点、两个点和三个点的压痕作为标记处，以每个标记处靠近样品中心的点作为标记点，确保三个标记点不在同一直线上，如图1-2所示；

(3)将作好标记点的镶嵌样放入扫描电镜(设备a)中，找到三个标记点，将标记点对应的压痕中心移到视场中心后读取并记录坐标值，再将特征测试点中心移到视场中心后读取并记录坐标值；

(4)将镶嵌样放入纳米压痕仪(设备b)中，找到三个标记点并记录坐标；

(5)通过设备a中获得的三个标记点坐标和特征测试点坐标，计算出设备a中特征测试点到三个标记点距离d4-1，d4-2，d4-3，距离公式为：

再通过设备b中三个标记点坐标和带入距离公式，求解方程组，就可以计算出特征测试点在设备b中的对应坐标，如下表所示；

在设备b中直接输入上述得到的特征测试点坐标，找到特征测试点，即可进行原位压痕测试，测试结果如图3所示。

实现了同一样品在不同设备间的原位观察及测试，无需额外增加任何设备或样品台；操作简单，对设备无特殊要求，不产生额外费用，且定位精度高，重复性好。

上述实施例仅为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本申请公开了一种不同设备间样品的原位观察及测试方法，依次包括如下步骤：S1待测样品做标记点，在不影响检测位置的所述待测样品边缘，分别作一个点、二个点和三个点的压痕作为标记处，以每个所述标记处靠近所述待测样品中心的点作为标记点；S2将所述待测样品放入设备A中，找到所述标记点并记录坐标，同时记录下特征测试点坐标；S3将所述待测样品放入设备B中，找到所述标记点并记录坐标；S4通过计算得出在所述特征测试点在设备B的坐标；S5输入所述特征测试点在设备B的坐标，找到所述特征测试点进行原位观察及测试。本发明的优点在于实现了同一样品在不同设备间的原位观察及测试。

技术研发人员：金传伟;张珂;吴园园
受保护的技术使用者：江苏省沙钢钢铁研究院有限公司;江苏沙钢集团有限公司
技术研发日：2019.07.29
技术公布日：2019.10.18