技术特征:1.一种拍摄装置,其特征在于,具有:
图像传感器,其检测工件的图像;
可变焦距透镜,其配置于从所述工件到所述图像传感器的光路上;
控制装置,其控制所述可变焦距透镜,并且处理所述图像传感器的检测图像。
2.一种图像测定装置,其具有权利要求1所述的拍摄装置、载置所述工件的载台、以及显示所述检测图像的显示装置。
3.一种非接触位移检测装置,其特征在于,具有:
图像传感器,其检测工件的图像;
可变焦距透镜,其配置于从所述工件到所述图像传感器的光路上;
控制装置,其控制所述可变焦距透镜,并且根据所述图像传感器的检测图像检测所述工件的表面位置。
4.一种非接触形状测定装置,其特征在于,
具有权利要求3所述的非接触位移检测装置、载置所述工件的载台、以及显示检测结果的显示装置,并且,
所述控制装置能够测定所述工件的表面形状。
技术总结一种图像测定装置(1)兼做非接触形状测定装置使用。作为拍摄装置,具有:图像传感器(14);可变焦距透镜(液体透镜单元(13)),其配置于从工件(9)到图像传感器(14)的光轴(Ai)上;控制装置(拍摄用透镜控制部(30)、图像测定处理部(51)),其控制可变焦距透镜,并且处理图像传感器(14)的检测图像。并且,作为非接触位移检测装置,具有:图像传感器(24);可变焦距透镜(液体透镜单元(23)),其配置于从工件(9)到图像传感器(24)的光轴(Ad)上;控制装置(位移检测用透镜控制部(40)、形状测定处理部(53)),其控制可变焦距透镜,并且处理图像传感器(24)的检测图像。
技术研发人员:吉田悟;长滨龙也;矶部仁志;山中雅史;老田直人;久保光司;宍户裕子;大庭信男;大竹贵久;松井大树;新井雅典;伊贺崎史朗;仓桥佑旗;酒井裕志;渡边裕
受保护的技术使用者:株式会社三丰
技术研发日:2019.12.27
技术公布日:2020.07.07