复合式质谱检漏仪的制作方法

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其是涉及一种复合式质谱检漏仪。

背景技术：

氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

如公开号为CN107024325A的中国专利公开的一种 质谱检漏仪结构，包括检漏仪本体、抽真空系统、抽真空管、平台和密封盒，所述平台设有通孔，所述密封盒无盖，所述密封盒盖合于所述通孔，所述抽真空管对准所述通孔，所述密封盒和抽真空管分别设于平台的两侧，所述密封盒的内部容置空间与半导体器件的外部轮廓相配合，所述密封盒内设有密封圈，所述密封圈设有支出部，所述支出部支出密封盒的盖合口。由于采用了上述技术方案，本发明具有结构合理的优点，所述密封盒的内部容置空间与半导体器件的外部轮廓相配合，尽可能缩短抽取真空的时间，提高氦质谱检漏仪的工作效率。

但是，上述技术存在以下缺陷：在对试件进行检测时，由于其检测方法的单一性，只能对一类的试件进行检测，并且存在缺陷，使其适应性较低，并且检测质量不高。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种复合式质谱检漏仪，能够根据试件的种类选择不同的检测方法对其进行检测，并且可以同时采用多种检测方式，从而提升其适应性及检测质量。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：一种复合式质谱检漏仪，其特征在于：包括工作台、在所述工作台上装设的检测箱体，在所述检测箱体中均装设有固定装置，在工作台上位于所述检测箱体中开设有抽气孔、第一充气孔及检验孔，在所述检验孔上连接有检验管，所述检验管远离检验孔的一端连接有与试件配合的插接头，在工作台上位于所述检测箱体一侧开设有第二充气孔，所述第二充气孔连接有充气管，所述充气管远离充气孔的一端装设有与试件配合的插接头，在所述工作台中设有抽真空装置、充氦气装置及氦气分析仪，所述抽真空装置与抽气孔连接，所述充氦气装置与所述第一充气孔及第二充气孔连接，并且在所述工作台上设有检测吸枪。

实施上述技术方案，在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体中，并且使用固定装置将容器固定于工作台上，将检测管通过插接头与容器连接，再通过抽真空装置通过抽气孔将检测箱体变为真空环境，之后通过第一充气孔向检测箱体中充入氦气，使用氦气分析仪对容器内部进行检测，当需要使用正压法进行检测时，将容器放置于工作台上位于检测箱体外侧，再将充气管与容器连接，通过充氦气装置向容器内通入一个大气压力的氦气，再使用检测吸枪对容器的外部进行检测，从而提升其适应性及检测质量。

本实用新型进一步设置为：所述抽真空装置包括在所述工作台内设置的真空泵及抽气管，所述抽气管与所述抽气孔连接并且在所述抽气管中装设有电磁阀。

实施上述技术方案，在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体中，并且使用固定装置将容器固定于工作台上，将检测管通过插接头与容器连接，再打开真空泵，通过抽气管从抽气孔中将检测箱体中的空气抽离，得以将检测箱体变为真空环境，之后通过第一充气孔向检测箱体中充入氦气，使用氦气分析仪对容器内部进行检测，工作人员可以通过对电磁阀的控制实现，从而提升其便捷性。

本实用新型进一步设置为：所述充所述充氦气装置包括在所述工作台内设置的氦气罐及气泵，所述气泵与第一充气孔及第二充气孔连接。

实施上述技术方案，在需要使用充氦气装置向检测箱体或者容器内充氦气时，通过开启气泵，将氦气罐中储存的氦气从第一充气孔或第二充气孔中排出，从而提升其便捷性。

本实用新型进一步设置为：所述氦气分析仪与检验孔连接，并且在所述工作台上靠近所述第二充气孔的位置装设有用于放置检测吸枪的放置架，所述放置架包括支撑杆及在所述支撑杆顶部装设的水平板。

实施上述技术方案，在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体中，并且使用固定装置将容器固定于工作台上，将检测管通过插接头与容器连接，再通过抽真空装置通过抽气孔将检测箱体变为真空环境，之后通过第一充气孔向检测箱体中充入氦气，当被检测容器表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检容器内部，再通过检测管通入氦气分析仪中，实现对容器的检漏，从而提升其便捷性。

本实用新型进一步设置为：所述固定装置包括在所述工作台上设置的滑移装置及在所述滑移装置上装设的两个顶紧件，所述滑移装置包括在所述工作台上装设的滑槽及在所述滑槽的两端装设的气缸，所述顶紧件安装于滑槽上并且其相背离的两侧与气缸连接，其相对的两侧设有锁紧装置。

实施上述技术方案，在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体中，并且将容器防止于滑槽中央位置，控制器滑移柜上安装的顶紧件将容器夹紧于中央位置，再使用锁紧装置将其位置固定，再将检测管通过插接头与容器连接，再通过抽真空装置通过抽气孔将检测箱体变为真空环境，之后通过第一充气孔向检测箱体中充入氦气，使用氦气分析仪对容器内部进行检测，从而提升其安全性。

本实用新型进一步设置为：所述所述锁紧装置包括在两个所述顶紧件相对的侧壁装设的弹性件、在一个所述顶紧件顶壁装设的弹性紧固绳及在另一个所述顶紧件顶壁装设的与弹性紧固绳配合设置的紧固栓。

实施上述技术方案，在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体中，并且将容器防止于滑槽中央位置，控制其滑槽上安装的顶紧件将容器夹紧于中央位置，使得两个弹性件与容器抵接，再将弹性紧固绳从容器的顶部拉向另一个顶紧件上，并且与紧固栓连接，将容器的位置固定，再将检测管通过插接头与容器连接，再通过抽真空装置通过抽气孔将检测箱体变为真空环境，之后通过第一充气孔向检测箱体中充入氦气，使用氦气分析仪对容器内部进行检测，从而提升其安全性。

本实用新型进一步设置为：在所述工作台的侧壁设有显示器，所述显示器与所述氦气分析仪及检测吸枪连接。

实施上述技术方案，通过在工作台的侧壁装设的与氦气分析仪及检测吸枪连接的显示器，工作人员的能够对检测数据实时进行观测，方便工作人员的记录，从而提升其便捷性。

本实用新型进一步设置为：在所述工作台的侧壁装设有控制器，所述控制器与抽真空装置及充氦气装置连接。

实施上述技术方案，通过在工作台的侧壁装设的与抽真空装置及充氦气装置连接的控制器，工作人员能够直接使用控制器对抽真空装置及充氦气装置的工作状态进行操作，方便工作人员的操作，从而提升其便捷性。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体中，并且使用固定装置将容器固定于工作台上，将检测管通过插接头与容器连接，再通过抽真空装置通过抽气孔将检测箱体变为真空环境，之后通过第一充气孔向检测箱体中充入氦气，使用氦气分析仪对容器内部进行检测，当需要使用正压法进行检测时，将容器放置于工作台上位于检测箱体外侧，再将充气管与容器连接，通过充氦气装置向容器内通入一个大气压力的氦气，再使用检测吸枪对容器的外部进行检测，从而提升其适应性及检测质量；

2.当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体中，并且将容器防止于滑槽中央位置，控制器滑移柜上安装的顶紧件将容器夹紧于中央位置，再将两个弹性件从容器的顶部拉向另一个顶紧件上，并且与紧固栓连接，将容器的位置固定，再将检测管通过插接头与容器连接，再通过抽真空装置通过抽气孔将检测箱体变为真空环境，之后通过第一充气孔向检测箱体中充入氦气，使用氦气分析仪对容器内部进行检测，从而提升其安全性；

3.通过在工作台的侧壁装设的与氦气分析仪及检测吸枪连接的显示器，工作人员的能够对检测数据实时进行观测，方便工作人员的记录，从而提升其便捷性。

附图说明

图1是本实用新型提供的复合式质谱检漏仪的整体结构示意图。

图2是图1沿A-A方向的剖视图。

图3是实用新型提供的复合式质谱检漏仪中固定装置的整体结构示意图。

图中：1、工作台；11、抽气孔；12、第一充气孔；13、检验孔；131、检验管；132、插接头；14、第二充气孔；141、充气管；15、检测吸枪；16、放置架；161、支撑杆；162、水平板；2、检测箱体；3、固定装置；31、滑移装置；311、滑槽；312、气缸；32、顶紧件；33、锁紧装置；331、弹性件；332、弹性紧固绳；333、紧固栓；4、抽真空装置；41、真空泵；42、抽气管；421、电磁阀；5、充氦气装置；51、氦气罐；52、气泵；6、氦气分析仪；7、显示器；8、控制器。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1、图2，为本实用新型公开的一种复合式质谱检漏仪，包括工作台1、在工作台1上装设的检测箱体2，在检测箱体2中均装设有固定装置3，在工作台1上位于检测箱体2中开设有抽气孔11、第一充气孔12及检验孔13，在检验孔13上连接有检验管131，检验管131远离检验孔13的一端连接有与试件配合的插接头132，在工作台1上位于检测箱体2一侧开设有第二充气孔14，充气孔连接有充气管141，充气管141远离充气孔的一端装设有与试件配合的插接头132，在工作台1中装设有抽真空装置4、充氦气装置5及氦气分析仪6，抽真空装置4与抽气孔11连接，充氦气装置5与第一充气孔12及第二充气孔14连接，并且在工作台1上安装有检测吸枪15，抽真空装置4包括在工作台1内设置的真空泵41及抽气管42，抽气管42与抽气孔11连接并且在抽气孔11中装设有电磁阀421，充氦气装置5包括在工作台1内设置的氦气罐51及气泵52，气泵52与第一充气孔12及第二充气孔14连接，氦气分析仪6与检验孔13连接，并且在工作台1上靠近第二充气孔14的位置装设有用于放置检测吸枪15的放置架16，放置架16包括支撑杆161及在支撑杆161顶部装设的水平板162，在工作台1的侧壁安装有显示器7，显示器7与氦气分析仪6及检测吸枪15连接，在工作台1的侧壁装设的控制器8，控制器8与抽真空装置4及充氦气装置5连接；在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体2中，并且使用固定装置3将容器固定于工作台1上，将检测管通过插接头132与容器连接，打开真空泵41，通过抽气管42从抽气孔11中将检测箱体2中的空气抽离，得以将检测箱体2变为真空环境，之后开启气泵52，将氦气罐51中储存的氦气通过第一充气孔12向检测箱体2中充入氦气，当被检测容器表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检容器内部，再通过检测管通入氦气分析仪6中，实现对容器的检漏，当需要使用正压法进行检测时，将容器放置于工作台1上位于检测箱体2外侧，再将充气管141与容器连接，开启气泵52，将氦气罐51中储存的氦气通过第二充气孔14中向容器内通入一个大气压力的氦气，再使用检测吸枪15对容器的外部进行检测，工作人员能够直接使用控制器8对抽真空装置4及充氦气装置5的工作状态进行操作，方便工作人员的操作，并且工作人员的能够对检测数据实时进行观测，方便工作人员的记录。

由于容器放置于检测箱体中时，易发生晃动，因此，如图3所示，固定装置3包括在工作台1上设置滑移装置31及在滑移装置31上装设的两个顶紧件32，滑移装置31包括在工作台1上装设的滑槽311及在滑槽311的两端装设的气缸312，顶紧件32安装于滑槽311上并且其相背离的两侧与气缸312连接，其相对的两侧装设有锁紧装置33，锁紧装置33包括在两个顶紧件32相对的侧壁装设的弹性件331、在一个顶紧件32顶壁装设的弹性紧固绳332及在另一个顶紧件32顶壁装设的与弹性紧固绳332配合设置的紧固栓333；在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体2中，并且将容器防止于滑槽311中央位置，控制器8滑移柜上安装的顶紧件32将容器夹紧于中央位置，使得两个弹性件331与容器抵接，将弹性紧固绳332从容器的顶部拉向另一个顶紧件32上，并且与紧固栓333连接，将容器的位置固定，再将检测管通过插接头132与容器连接，再通过抽真空装置4通过抽气孔11将检测箱体2变为真空环境，之后通过第一充气孔12向检测箱体2中充入氦气，使用氦气分析仪6对容器内部进行检测。

工作过程（原理）：在需要对容器进行检漏时，首先对容器的种类及需要采用的检测方法进行判断，当需要使用真空法进行检测时，将容器放置于检测箱体2中，将容器放置于检测箱体2中，并且将容器防止于滑槽311中央位置，控制器8滑移柜上安装的顶紧件32将容器夹紧于中央位置，使得两个弹性件331与容器抵接，再将弹性紧固绳332从容器的顶部拉向另一个顶紧件32上，并且与紧固栓333连接，将容器的位置固定，再将检测管通过插接头132与容器连接，打开真空泵41，通过抽气管42从抽气孔11中将检测箱体2中的空气抽离，得以将检测箱体2变为真空环境，之后开启气泵52，将氦气罐51中储存的氦气通过第一充气孔12向检测箱体2中充入氦气，当被检测容器表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检容器内部，再通过检测管通入氦气分析仪6中，实现对容器的检漏，当需要使用正压法进行检测时，将容器放置于工作台1上位于检测箱体2外侧，再将充气管141与容器连接，开启气泵52，将氦气罐51中储存的氦气通过第二充气孔14中向容器内通入一个大气压力的氦气，再使用检测吸枪15对容器的外部进行检测，工作人员能够直接使用控制器8对抽真空装置4及充氦气装置5的工作状态进行操作，方便工作人员的操作，并且工作人员的能够对检测数据实时进行观测，方便工作人员的记录。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。