一种真空反应室的温度侦测结构的制作方法

本实用新型属于仪器仪表相关技术领域，具体涉及一种真空反应室的温度侦测结构。

背景技术：

热电偶是温度测量仪表中常用的测温元件，它直接测量温度，并把温度信号转换成热电动势信号，通过电气仪表转换成被测介质的温度。各种热电偶的外形常因需要而极不相同，但是它们的基本结构却大致相同，通常由热电极、绝缘套保护管和接线盒等主要部分组成，通常和显示仪表、记录仪表及电子调节器配套使用。

现有的温度侦测结构技术存在以下问题：现有的温度侦测结构在安装时很容易将温度侦测结构过多插入或插歪，导致加热板被顶歪，机台生产的芯片直接放在加热板上，若加热板歪斜，将导致芯片的均匀度不佳，甚至影响传送。另外，若是温度侦测结构没有完全插入，将导致温度侦测结构与加热板接触不够，侦测温度不准，如此影响芯片的蚀刻率更为严重。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空反应室的温度侦测结构，以解决上述背景技术中提出的现有的温度侦测结构在进行安装的可能会导致插入过多或过少导致加热板接触不良或者把加热板顶歪的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空反应室的温度侦测结构，包括连接柱与插头，所述插头的左端的上下两侧各设置有一个连接柱，所述连接柱通过套接连接在插头的左端的上下两侧，所述连接柱与插头通过套接连接，所述插头的右端的上侧设置有刻度尺，所述刻度尺与插头通过插接连接，所述插头的右端的轴心处设置有弹簧，所述弹簧与插头通过套接连接，所述弹簧的右端设置有直杆，所述直杆与弹簧通过整体热熔固定连接，所述弹簧的组成包括有第一支杆、本体和第二支杆，所述第一支杆的右端设置有本体，所述本体的右端设置有第二支杆，所述弹簧通过第一支杆与插头通过插接连接。

优选的，所述插头的组成包括有主体、第一连接孔和第二连接孔，所述主体的右端的表侧的左端设置有第一连接孔，所述主体的右端的表侧的右端设置有第二连接孔，所述插头通过第一连接孔与弹簧通过插接连接。

优选的，所述刻度尺的组成包括有连接端、刻度线、计数表和尺体，所述连接端的右端设置有尺体，所述尺体的前端的表侧的上端设置有刻度线，所述刻度线的下端设置有计数表，所述刻度尺通过连接端与插头通过插接连接。

优选的，所述连接柱共设置有两个，两个所述连接柱分别呈对称设置在插头的左端的上下两侧，两个所述连接柱均为圆柱体结构。

优选的，所述刻度尺为扁平状的矩形体结构，所述刻度尺的长度为五厘米，所述刻度尺的宽度为一点二厘米，所述刻度尺的厚度为零点五厘米。

优选的，所述第一连接孔和第二连接孔均设置在主体的右端的表侧，所述第一连接孔和第二连接孔分别呈对称布置，所述第一连接孔和第二连接孔的形状尺寸均不相同。

优选的，所述弹簧为卷曲状结构，所述弹簧的本身具备一定的弹性，所述弹簧的宽度为两点五厘米，所述弹簧的长度为五厘米。

优选的，所述直杆为圆柱体结构，所述直杆的长度为十二厘米，所述直杆的外侧的表端设置有陶瓷套筒。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空反应室的温度侦测结构，具备以下有益效果：

(1)、本实用新型中通过在该温度侦测结构的直杆的一侧设置有弹簧，这样可以使得在进行插接的时候，使得在弹簧的作用下可以使得插接的时候更加的稳定与精确，不会发生插接之后将加热板顶歪的现象；

(2)、本实用新型将该温度侦测结构底部做成弹簧式结构，旁边加上刻度尺，通过刻度尺可以计算出弹簧压缩长度，更精准的检测反应室温度，从而解决了现有的温度侦测结构在进行安装的可能会导致插入过多或过少导致加热板接触不良或者把加热板顶歪的问题。

附图说明

图1为本实用新型的温度侦测结构示意图；

图2为本实用新型的插头结构示意图；

图3为本实用新型的刻度尺结构示意图；

图4为本实用新型的弹簧结构示意图；

图中：1、连接柱；2、插头；21、主体；22、第一连接孔；23、第二连接孔；3、刻度尺；31、连接端；32、刻度线；33、计数表；34、尺体；4、弹簧；41、第一支杆；42、本体；43、第二支杆；5、直杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种真空反应室的温度侦测结构，包括连接柱1与插头2，连接柱1共设置有两个，通过连接柱1的设置，这样可以使得更好的进行连接，两个连接柱1分别呈对称设置在插头2的左端的上下两侧，两个连接柱1均为圆柱体结构，插头2的左端的上下两侧各设置有一个连接柱1，连接柱1通过套接连接在插头2的左端的上下两侧，插头2的组成包括有主体21、第一连接孔22和第二连接孔23，主体21的右端的表侧的左端设置有第一连接孔22，第一连接孔22和第二连接孔23均设置在主体21的右端的表侧，第一连接孔22和第二连接孔23分别呈对称布置，通过对称布置，从而可以使得更好的进行插接的作用，第一连接孔22和第二连接孔23的形状尺寸均不相同，主体21的右端的表侧的右端设置有第二连接孔23，插头2通过第一连接孔22与弹簧4通过插接连接，连接柱1与插头2通过套接连接，插头2的右端的上侧设置有刻度尺3，刻度尺3的组成包括有连接端31、刻度线32、计数表33和尺体34，连接端31的右端设置有尺体34，尺体34的前端的表侧的上端设置有刻度线32，刻度线32的下端设置有计数表33，通过刻度线32的设置，这样可以使得更好的进行计量，刻度尺3通过连接端31与插头2通过插接连接，刻度尺3与插头2通过插接连接，刻度尺3为扁平状的矩形体结构，通过刻度尺3的设置，这样可以使得更好的观察插入的深度，刻度尺3的长度为五厘米，刻度尺3的宽度为一点二厘米，刻度尺3的厚度为零点五厘米，插头2的右端的轴心处设置有弹簧4，弹簧4为卷曲状结构，弹簧4的本身具备一定的弹性，通过具备一定的弹性，这样可以使得更好的进行缓冲的作用，通过弹簧4的设置，这样可以使得更好的进行缓冲的作用，弹簧4的宽度为两点五厘米，弹簧4的长度为五厘米，弹簧4与插头2通过套接连接，弹簧4的右端设置有直杆5，直杆5为圆柱体结构，通过直杆5的设置，这样可以使得更好的进行插接，直杆5的长度为十二厘米，直杆5的外侧的表端设置有陶瓷套筒，直杆5与弹簧4通过整体热熔固定连接，弹簧4的组成包括有第一支杆41、本体42和第二支杆43，第一支杆41的右端设置有本体42，本体42的右端设置有第二支杆43，弹簧4通过第一支杆41与插头2通过插接连接。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，当要进行该设备的使用的时候，这时首先取出该温度侦测结构，之后使用者用手握住插头2，使得直杆5对准待要安装的孔洞，然后将直杆5推入到孔洞的内部，之后手握插头2往上推，直到发现弹簧4变形后缓慢上推，待接近刻度值的固定值的时候停止上推，然后固定该温度侦测结构，并且千万不可超过固定的数值的刻度值，这样可以使得防止温度侦测结构插入过多或过少，保证温度侦测结构正好接触加热板又不会把加热板顶歪，如此可以使温度侦测结构接触加热板又不会将加热板顶起，而且在温度侦测结构与加热板之间有一颗陶瓷套筒，其陶瓷套筒的作用为绝缘、导热，从而可以使得更精准的检测反应室温度，这样就可以使得更好的进行工作了。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。