一种靶材检测设备的制作方法

本实用新型涉及一种靶材检测设备。

背景技术：

现有的饼状靶材在生产完成后，需要对靶材表面进行平面度检测，而现有技术中所采用平面度检测设备或仪器较为复杂，不便于用户快速进行操作。

技术实现要素：

本实用新型针对现有技术的上述缺陷，提供一种靶材检测设备。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种靶材检测设备，该检测设备包括底板、垂直固设于该底板第二侧的固定柱、可上下滑动套设于该固定柱上的滑套、可转动套设于该滑套上的轴承、以及与该轴承固定连接并指向该底板方向的千分表，该检测设备还包括固设于该底板顶面第一侧用于夹紧靶材的第一夹板、以及固设于该底板顶面第二侧用于夹紧靶材的第二夹板，该滑套顶端设有贯穿该滑套的至少一个限位螺纹孔、以及与该限位螺纹孔螺接并可与固定柱抵接的限位螺栓。

在本实用新型所述的靶材检测设备中，该固定柱表面设有高度刻度线。

在本实用新型所述的靶材检测设备中，该滑套底端设有用于挡止该轴承底端的固定盘。

在本实用新型所述的靶材检测设备中，该底板四周角位置处分别设有用于固定该底板的固定孔。

在本实用新型所述的靶材检测设备中，该第一夹板包括与底板垂直固定连接的第一竖直板、以及与该第一竖直板顶端固定连接并向第二夹板方向伸出的第一水平板，该第二夹板包括与底板垂直固定连接的第二竖直板、以及与该第二竖直板顶端固定连接并向第一夹板方向伸出的第二水平板，该第一水平板和第二水平板均与底板平行。

在本实用新型所述的靶材检测设备中，该第一竖直板上设有水平贯穿该第一竖直板的复数个第一锁紧螺纹孔，该第一锁紧螺纹孔内设有可与该第一锁紧螺纹孔螺接、并用于抵紧靶材第一侧壁的第一锁紧螺栓，该第二竖直板上设有水平贯穿该第二竖直板的复数个第二锁紧螺纹孔，该第二锁紧螺纹孔内设有可与该第二锁紧螺纹孔螺接、并用于抵紧靶材第二侧壁的第二锁紧螺栓。

在本实用新型所述的靶材检测设备中，该第一水平板上设有竖直贯穿该第一水平板的复数个第三锁紧螺纹孔，该第三锁紧螺纹孔内设有可与该第三锁紧螺纹孔螺接、并用于抵紧靶材顶面的第三锁紧螺栓，该第二水平板上设有竖直贯穿该第二水平板的复数个第四锁紧螺纹孔，该第四锁紧螺纹孔内设有可与该第四锁紧螺纹孔螺接、并用于抵紧靶材顶面的第四锁紧螺栓。

实施本实用新型的靶材检测设备，具有以下有益效果：使用本实用新型的靶材检测设备时，首先对底板进行固定，并通过向下滑动滑套带动千分表的探针与底板表面进行接触，对底板表面进行找平，如果底板表面不平，则通过调节底板固定的方式对底板进行找平，如对不平的边进行垫设纸张之后再固定，直至对底板表面找平完成。然后向上移动滑套带动千分表向上移动，将饼状靶材放置于第一夹板和第二夹板之间夹紧，使得饼状靶材的第一面朝上，然后向下移动滑套带动千分表探针与饼状靶材第一面接触，旋转限位螺栓将滑套锁紧于固定柱上，绕轴承转动千分表，探针在靶材表面进行移动，从而实现对靶材第一面平面度的检测。在检测过程中，还可以转动靶材，对靶材第一面不同位置进行平面度检测。在第一面平面度检测完成后，以相同的方式对第二面进行检测，从而最终实现对靶材表面的平面度检测。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型靶材检测设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

如图1所示，在本实用新型的靶材检测设备第一实施例中，该检测设备1包括底板2、垂直固设于该底板2第二侧的固定柱3、可上下滑动套设于该固定柱3上的滑套4、可转动套设于该滑套4上的轴承5、以及与该轴承5固定连接并指向该底板2方向的千分表6，该检测设备1还包括固设于该底板2顶面第一侧用于夹紧靶材的第一夹板7、以及固设于该底板2顶面第二侧用于夹紧靶材的第二夹板8，该滑套4顶端设有贯穿该滑套4的至少一个限位螺纹孔9、以及与该限位螺纹孔9螺接并可与固定柱3抵接的限位螺栓10。

使用本实用新型的靶材检测设备1时，首先对底板2进行固定，并通过向下滑动滑套4带动千分表6的探针与底板2表面进行接触，对底板2表面进行找平，如果底板2表面不平，则通过调节底板2固定的方式对底板2进行找平，如对不平的边进行垫设纸张之后再固定，直至对底板2表面找平完成。然后向上移动滑套4带动千分表6向上移动，将饼状靶材放置于第一夹板7和第二夹板8之间夹紧，使得饼状靶材的第一面朝上，然后向下移动滑套4带动千分表6探针与饼状靶材第一面接触，旋转限位螺栓10将滑套4锁紧于固定柱3上，绕轴承5转动千分表6，探针在靶材表面进行移动，从而实现对靶材第一面平面度的检测。在检测过程中，还可以转动靶材，对靶材第一面不同位置进行平面度检测。在第一面平面度检测完成后，以相同的方式对第二面进行检测，从而最终实现对靶材表面的平面度检测。

在本实施方式中，该千分表6端部与轴承5焊接固定连接。

进一步的，该固定柱3表面设有高度刻度线11。在找平底板2顶面时，记录此时滑套4顶端面对齐的高度刻度线h1，在对靶材表面进行平面度检测时，记录此时滑套4顶端面对齐的高度刻度线h2，即可测量出靶材的高度为h2-h1，实现对靶材厚度的测量。

进一步的，该滑套4底端设有用于挡止该轴承5底端的固定盘12。

为便于对底板2进行固定，该底板四周角位置处分别设有用于固定该底板2的固定孔13。

在本实施方式中，该第一夹板7包括与底板2垂直固定连接的第一竖直板14、以及与该第一竖直板14顶端固定连接并向第二夹板8方向伸出的第一水平板15，该第二夹板8包括与底板2垂直固定连接的第二竖直板16、以及与该第二竖直板16顶端固定连接并向第一夹板7方向伸出的第二水平板17，该第一水平板15和第二水平板17均与底板2平行。该第一竖直板14上设有水平贯穿该第一竖直板14的复数个第一锁紧螺纹孔18，该第一锁紧螺纹孔18内设有可与该第一锁紧螺纹孔18螺接、并用于抵紧靶材第一侧壁的第一锁紧螺栓22，该第二竖直板16上设有水平贯穿该第二竖直板16的复数个第二锁紧螺纹孔19，该第二锁紧螺纹孔19内设有可与该第二锁紧螺纹孔19螺接、并用于抵紧靶材第二侧壁的第二锁紧螺栓。该第一水平板15上设有竖直贯穿该第一水平板15的复数个第三锁紧螺纹孔20，该第三锁紧螺纹孔20内设有可与该第三锁紧螺纹孔20螺接、并用于抵紧靶材顶面的第三锁紧螺栓23，该第二水平板17上设有竖直贯穿该第二水平板17的复数个第四锁紧螺纹孔21，该第四锁紧螺纹孔21内设有可与该第四锁紧螺纹孔21螺接、并用于抵紧靶材顶面的第四锁紧螺栓。

在固定靶材时，可使用第一锁紧螺栓22、第二锁紧螺栓、第三锁紧螺栓23和/或第四锁紧螺栓对靶材侧面及顶面进行固定，然后对靶材进行平面度检测。优选的，为防止锁紧螺栓压伤靶材，在锁紧过程中，可在锁紧螺栓和靶材之间垫设有纸张、橡胶垫块等。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。