供液装置的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种供液装置。

背景技术：

示例性的六甲基二硅胺供液装置设有用于检测液体暂存装置的液位的液位传感器。但如果液位传感器的检测不准确，就会导致液体暂存装置内的液体补液到位的信号未及时发出，出现补液过量的问题。当六甲基二硅胺补液过量时不仅会出现液体暂存装置内的液体溢出的风险，而且六甲基二硅胺补液过量时无法使用发泡功能，六甲基二硅胺是一种有毒物质，处理溢出的六甲基二硅胺较为复杂。

技术实现要素：

基于此，有必要提供一种液位检测准确的供液装置。

一种供液装置,包括：浮子液位传感器、第二液位传感器、控制装置、供液开关、液体暂存装置；所述浮子液位传感器位于液体暂存装置内部，所述浮子液位传感器用于在检测到液体暂存装置内的液体到达第一液面时向控制装置发送第一信号；所述第二液位传感器用于在检测到液体暂存装置内的液体到达第二液面时向控制装置发送第二信号；所述控制装置用于向供液开关发送控制信号，所述控制装置在接收到所述第一信号和所述第二信号中的任一信号时向供液开关发送关闭信号，控制供液开关关闭，液体提供装置停止向液体暂存装置供液；其中，第二液位传感器和浮子液位传感器检测液位的方式不同。

在其中一个实施例中，所述第一液面和第二液面为相同的液面。

在其中一个实施例中，所述液体暂存装置为起泡式液体罐。

在其中一个实施例中，所述供液开关包括阀门，所述阀门靠近液体暂存装置，所述阀门用于根据所述控制信号进行打开和关闭。

在其中一个实施例中，供液装置还包括设于供液开关和液体提供装置之间的过滤器，所述过滤器用于过滤所述液体提供装置提供的液体。

在其中一个实施例中，当控制装置在接收到所述第一信号或第二信号时，供液开关在关闭信号的控制下关闭，液体提供装置停止向液体暂存装置供液；当控制装置在未接收到所述第一信号且未接收到所述第二信号时，供液开关在控制装置发送的打开信号的控制下打开，液体提供装置开始向液体暂存装置供液。

在其中一个实施例中，所述浮子液位传感器和所述第二液位传感器均为高电平输出传感器，所述第一信号和所述第二信号均为高电平信号。

在其中一个实施例中，所述第二液位传感器紧贴所述液体暂存装置的外侧壁设置，所述第二液位传感器是光电液位传感器，所述液体暂存装置是透明容器。

在其中一个实施例中，供液装置用于供应六甲基二硅胺。

在其中一个实施例中，所述第二液位传感器是光电液位传感器或超声液位传感器。

在其中一个实施例中，所述控制装置至少向一个供液开关发送控制信号。

上述供液装置，包括浮子液位传感器、第二液位传感器、控制装置、供液开关、液体暂存装置；所述浮子液位传感器位于所述液体暂存装置内部，所述浮子液位传感器用于在检测到所述液体暂存装置内的液体到达第一液面时向所述控制装置发送第一信号；所述第二液位传感器用于在检测到所述液体暂存装置内的液体到达第二液面时向所述控制装置发送第二信号；所述控制装置用于向所述供液开关发送控制信号，所述控制装置在接收到所述第一信号和所述第二信号中的任一信号时向所述供液开关发送关闭信号，控制供液开关关闭，液体提供装置停止向所述液体暂存装置供液；其中，第二液位传感器和浮子液位传感器检测液位的方式不同。本申请通过浮子液位传感器和第二液位传感器一同检测液体暂存装置内的液位，实现了对液体暂存装置内的液体的液位的双重监测，控制装置在接收到第一信号或第二信号时都会控制供液开关关闭而停止向液体暂存装置供液，从而在浮子液位传感器和第二液位传感器任一项失效时仍能够准确检测液位，提高了向液体暂存装置内补充液体时对补液量的精度控制，避免了因补液过量而导致的液体溢出等问题的出现。

附图说明

图1为一实施例中供液装置的方框图；

图2为另一实施例中供液装置的方框图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的首选实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

应当明白，当元件或层被称为“在...上”、“与...相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在...上”、“与...直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本实用新型教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。

空间关系术语例如“在...下”、“在...下面”、“下面的”、“在...之下”、“在...之上”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在...下面”和“在...下”可包括上和下两个取向。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。

在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本实用新型的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

示例性的供液装置是通过位于液体暂存装置内部的2个浮子液位检测传感器来检测液体暂存装置内部的液体的液位，当检测到液位低于液位设定值时，浮子液位传感器向控制装置发送补液信号，通过液体提供装置向液体暂存装置内补液，当浮子液位传感器检测到液体暂存装置内部的液体达到液位设定值时，浮子液位传感器向控制装置发送停止补液信号，液体提供装置停止向液体暂存装置供液。当出现外界管路干涩等影响浮子随液体暂存装置内部的液体的液面正常升降的问题时，浮子液位传感器中的高位浮子不能准确的检测到液体暂存装置内的液体的液位，使得液体补液到位的信号不能及时发出，出现补液过量的问题。

如图1所示，在一实施例中，提供一种供液装置,包括：浮子液位传感器102、第二液位传感器104、控制装置106、供液开关108、液体暂存装置110。浮子液位传感器102位于液体暂存装置110的内部，浮子液位传感器102用于在检测到液体暂存装置110内的液体到达第一液面时向控制装置106发送第一信号；第二液位传感器104用于在检测到液体暂存装置110内的液体到达第二液面时向控制装置106发送第二信号；控制装置106用于向供液开关108发送控制信号，控制装置106在接收到所述第一信号和所述第二信号中的任一种信号时向供液开关108发送关闭信号，控制供液开关108进行关闭，液体提供装置112停止向液体暂存装置110供液；其中，第二液位传感器104和浮子液位传感器102检测液位的方式不同。

在一个实施例中，第二液位传感器是光电液位传感器或超声液位传感器。在其他实施例中，第二液位传感器可以根据实际需要选取和浮子液位传感器检测液位方式不同的其他类型的液位传感器。

在一个实施例中，供液开关108包括阀门，所述阀门靠近液体暂存装置110，所述阀门用于根据控制装置106发送的控制信号进行打开和关闭。

在一个实施例中，当控制装置106在接收到所述第一信号或第二信号时，供液开关108在控制装置106发送的关闭信号的控制下关闭，液体提供装置112停止向液体暂存装置110供液；当控制装置106在未接收到所述第一信号且未接收到所述第二信号时，供液开关108在控制装置106发送的打开信号的控制下打开，液体提供装置112开始向液体暂存装置110供液。即当液体暂存装置110内的液体到达第一液面或第二液面时，供液开关108在控制装置106发送的控制信号的控制下关闭，液体提供装置112停止向液体暂存装置110供液；当液体暂存装置110内的液体未到达第一液面且未到达第二液面时，供液开关108在控制装置106发送的控制信号的控制下打开，液体提供装置112开始向液体暂存装置110供液，直至供液开关108在控制信号的作用下关闭。

在一个实施例中，第二液位传感器104紧贴液体暂存装置110的侧壁，第二液位传感器104是光电液位传感器，液体暂存装置110是透明容器。

在一个实施例中，控制装置106至少向一个供液开关108发送控制信号，供液开关108在控制装置106的控制下打开或关闭，从而控制与所述供液开关108连接的液体暂存装置110内的液体的液位，例如供液开关108的数量可以为2,3,4等。

如图2所示，在一个实施例中，供液装置还包括设于供液开关108和液体提供装置112之间的过滤器114，过滤器114用于过滤液体提供装置112向与供液开关108连接的液体暂存装置110提供的液体。

在一个实施例中，液体暂存装置110为起泡式液体罐。

在一个实施例中，所述供液装置包括2个浮子液位传感器，其中一个为高位浮子液位传感器，另一个为低位浮子液位传感器。

在一个实施例中，所述第一液面和第二液面为相同的液面。在另一个实施例中，可以根据实际情况设置不相同的第一液面和第二液面。

在一个实施例中，浮子液位传感器102和第二液位传感器104均为高电平输出传感器。

在一个实施例中，所述第一信号和所述第二信号均为高电平信号。

在一个实施例中，第二液位传感器104与浮子液位传感器102的输出信号作用于控制装置上的同一个反馈点，从而保证了控制装置只要检测到第一信号和第二信号中的任意一个信号，就会向供液开关发送关闭信号，液体提供装置即刻停止向液体暂存装置供液。

在一个实施例中，供液装置用于供应六甲基二硅胺，在其他实施例中，供液装置用于供应使用者需要的不同液体。

上述供液装置，包括浮子液位传感器、第二液位传感器、控制装置、供液开关、液体暂存装置；所述浮子液位传感器位于所述液体暂存装置内部，所述浮子液位传感器用于在检测到所述液体暂存装置内的液体到达第一液面时向所述控制装置发送第一信号；所述第二液位传感器用于在检测到所述液体暂存装置内的液体到达第二液面时向所述控制装置发送第二信号；所述控制装置用于向所述供液开关发送控制信号，所述控制装置在接收到所述第一信号和所述第二信号中的任一信号时向所述供液开关发送关闭信号，控制供液开关关闭，液体提供装置停止向所述液体暂存装置供液；其中，第二液位传感器和浮子液位传感器检测液位的方式不同。本申请通过浮子液位传感器和第二液位传感器一同检测液体暂存装置内的液位，实现了对液体暂存装置内的液体的液位的双重监测，控制装置在接收到第一信号或第二信号时都会控制供液开关关闭而停止向液体暂存装置供液，从而在浮子液位传感器和第二液位传感器任一项失效时仍能够准确检测液位，提高了向液体暂存装置内补充液体时对补液量的精度控制，避免了因补液过量而导致的液体溢出等问题的出现。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。