晶舟倾斜定点自动感应装置的制作方法

本实用新型涉及半导体设备制作领域，尤其涉及一种晶舟倾斜定点自动感应装置。

背景技术：

在半导体制作领域中，晶舟用于承载晶片，晶片在制程的过程中最好是保持水平。现有技术大部分是在晶舟外设置传感器来判断晶舟是否发生倾斜，其中电容式接近传感器只有单独感应是否有晶舟，接触式传感器无法判定晶舟是否倾斜，专利201310506775.1的晶舟倾斜自动感应装置无法感应同一水平的倾斜。

技术实现要素：

为此，需要提供一种晶舟倾斜定点自动感应装置，解决无法同时判断晶舟多个方位的倾斜。

为实现上述目的，发明人提供了一种晶舟倾斜定点自动感应装置，包括载台、传感器和镜面反射点，所述载台用于承载所述晶舟，所述传感器可拆卸设置在所述载台上，所述传感器包括光源发射端和光源接收端，所述光源接收端用于接收所述光源发射端发出的光，所述镜面反射点包括第一镜面反射点，所述晶舟设置有所述第一镜面反射点，所述第一镜面反射点用于反射所述光源发射端发出的光，所述晶舟正确放置在载台时所述第一镜面反射点反射光到光源接收端。

进一步地，所述传感器可拆卸设置在所述载台的内部，所述载台上设置有供所述光源发射端发出的光通过的槽。

进一步地，所述镜面反射点还包括第二镜面反射点，所述第二镜面反射点设置在所述载台的内部，所述第二镜面反射点用于在所述晶舟正确放置在载台时反射第一镜面反射点的光到光源接收端。

进一步地，所述镜面反射点的大小与所述光源发射端发出光的大小相等。

进一步地，所述第一镜面反射点粘贴在晶舟上。

进一步地，所述第一镜面反射点设置在晶舟底部。

区别于现有技术，上述技术方案通过在晶舟的侧面上设置镜面反射点，再配合传感器的感应功能，晶舟只有在晶舟正确放置在载台时，所形成的反射光路才能使传感器的光源接收端感应到，从而确定晶舟没有发生特定方位的倾斜。整个结构灵活巧妙，可以根据不同要求调整传感器的角度；镜面反光点可拆卸设置在晶舟上，适用于任何机台使用的晶舟。

附图说明

图1为本实施例所述晶舟倾斜定点自动感应装置的结构正视图；

图2为本实施例一所述晶舟倾斜定点自动感应装置的结构侧视图；

图3为另一个实施例所述晶舟倾斜定点自动感应装置的结构示意图一；

图4为另一个实施例所述晶舟倾斜定点自动感应装置的结构示意图二；

图5为本实施例所述晶舟处于正确放置状态的结构示意图；

图6为本实施例所述晶舟处于左右倾斜状态的结构示意图；

图7为本实施例所述晶舟处于前后倾斜状态的结构示意图；

图8为本实施例所述晶舟处于上下倾斜状态的结构示意图；

附图标记说明：

1、载台；

2、传感器；

3、光源发射端；

4、光源接收端；

5、镜面反射点；

51、第一镜面反射点；

52、第二镜面反射点；

6、晶舟；

h、晶舟底面；

u、晶舟正面。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1至图8，本实施例提供了一种晶舟倾斜定点自动感应装置，包括载台1、传感器2和镜面反射点5，所述载台1用于承载所述晶舟6，所述传感器2可拆卸设置在所述载台1上，一组所述传感器2包括所述光源发射端3和所述光源接收端4，所述光源接收端4用于接收所述光源发射端3发出的光，所述镜面反射点5根据设置的位置不同，命名为所述第一镜面反射点51和所述第二镜面反射点51，所述晶舟6的侧面上可拆卸设置有所述第一镜面反射点51，所述镜面反射点5用于反射所述光源发射端3发出的光，并形成特定光路。所述镜面发射点通过粘性物粘合在所述晶舟上即可，无需特意定做专用的晶舟，适用于任何机台使用的所述晶舟6。

请参阅图5、图6和图7，在本实施例中，所述传感器2可拆卸设置在所述载台1的内部或表面上，如所述传感器2设置在所述载台1的内部时，所述载台1上设置有供所述光源发射端3发出的光通过的槽；如所述传感器2直接放置在所述载台1的表面，只要所述晶舟6和所述载台1之间存有空间，以便所述载台1表面的所述传感器2进行光路反射的工作即可。所述载台1的侧壁具有一定的高度，在所述晶舟6放置在所述载台1上时，放置在所述载台1的侧壁上的所述传感器2可以进行光路的形成工作。所述传感器2的光源发射端3和光源接收端4可以设置在一起，也可以相互分开设置。所述晶舟底面上设置有一个所述第一镜面反射点51，所述传感器2与所述晶舟底面上的第一镜面反射点51相配合。

利用光学的反射原理，所述晶舟6上的所述第一镜面反射点51只有在固定的水平面角度，并且和与所述载台1保持一定距离的条件下，形成的反射光路才能使所述传感器2感应到。所述传感器2根据所述光源接收端4是否接收到所述光源发射端3发出的光，来判断所述晶舟6是否发生倾斜。如所述光源接收端4接收到特定光路，表示所述晶舟正确放置在载台上，如所述光源接收端4没接收到特定光路，则表示所述晶舟6发生某个角度的倾斜。

请参阅图3和图4，在某些实施例中，所述载台1的内部还包括有一个或多个所述第二镜面反射点52，多个所述第二镜面反射点52用于多次反射所述光源发射端3发出的光，再调整所述传感器的角度，可以形成更加多变的特定光路。具体的光路可以为：一个所述第一镜面反射点51反射所述传感器2中所述光源发射端3发出的光，再经过一个或多个所述第二镜面反射点52的反射，使光到所述光源接收端4处，形成一个特定的光路，至于所述第一镜面反射点51与所述第二镜面反射点52反射光的先、后、顺序可以进行随意调整。这样可以使得光源发射端和光源接收端处在同一位置，便于传感器的设置。

所述感应装置还包括有所述控制系统和报警器(如信号灯)，所述控制系统用于判断所述光源接收端4是否接收到所述光源发射端3发出的光。如果所述光源接收端4没有接收到光，即所述晶舟发生倾斜，所述控制系统判断所述传感器2的状态不正常，进而控制所述信号灯发出提醒信息来提醒工作人员。如果所述光源接收端4接收到光，所述控制系统判断所述传感器2的状态正常，即所述晶舟为正确放置。

优选的，所述镜面反射点5的大小与所述光源发射端3发出光的大小相等，即缩减所述镜面反射点5的面积，使其与所述光的大小相同，增大光路反射的难度，提高所述传感器2判断所述晶舟6倾斜的精确度。

优选地，可以在晶舟底部设置第一镜面反射点，这样可以完成晶舟的不同方位倾斜后都可以被检测到。在某些实施例中，还可以在同所述晶舟6上同时设置多个所述第一镜面反射点51，再在所述载台1上设置多个与之相匹配的所述传感器2，可以提高辨别所述晶舟6状态的准确度。

本实用新型判断所述晶舟发生不同的倾斜状态的过程为：

1、所述晶舟6处于正确放置状态：请参阅图5，图1至图8中的虚线均为光路图，所述传感器2的光源发射端3发出光，经过所述晶舟底面上的第一镜面反射点51反射后，所述传感器2接收到经过所述晶舟底面上的第一镜面反射点51反射过来的光，能形成特定光路，即表示所述晶舟6处于正确状态。

2、所述晶舟6发生左右倾斜：请参阅图6，图6其中的虚线为光路图，所述传感器2的光源发射端3发出光，经过所述晶舟底面上的第一镜面反射点51反射后，所述传感器2接不能收到经过所述晶舟底面上的第一镜面反射点51反射过来的光，即表示所述晶舟6处于左右倾斜的状态。

3、所述晶舟6处于前后倾斜的状态：请参阅图7，图7其中的虚线为光路图，所述传感器2的光源发射端3发出光，经过所述晶舟底面上的第一镜面反射点51反射后，所述传感器2不能接收到经过所述晶舟底面上的第一镜面反射点51反射过来的光，即表示所述晶舟6处于前后倾斜的状态。

4、所述晶舟6处于上下倾斜的状态：请参阅图8，图8其中的虚线为光路图，所述传感器2的光源发射端3发出光，经过所述晶舟底面上的第一镜面反射点51反射后，所述传感器2能接收到经过所述晶舟底面上的第一镜面反射点51反射过来的光，即表示所述晶舟6处于上下倾斜的状态。

通过在晶舟的侧面上设置可拆卸的镜面反射点，再配合传感器的感应功能，晶舟只有在晶舟正确放置在载台时，所形成的反射光路才能使传感器感应到，从而判断晶舟没有发生特定方位的倾斜。整个结构灵活巧妙，可以根据不同要求调整传感器的角度；镜面反光点可拆卸设置在晶舟上，适用于任何机台使用的晶舟。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。