一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法及装置与流程

文档序号:26589871发布日期:2021-09-10 20:33阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法,应用于元件级电子器件裂纹的检测,其特征在于,包括以下步骤:获取待测元件表面的辐射场强度;基于所述辐射场强度,建立待测元件表面的不连续图像的成像;根据所述不连续图像的成像,确定待测元件表面的裂纹信息。2.根据权利要求1所述的基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法,其特征在于,所述获取待测元件表面的辐射场强度之前还包括步骤:以热流形式对待测元件表面进行加热,以使在待测元件表面产生热反应。3.根据权利要求1所述的基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法,其特征在于,所述基于所述辐射场强度,建立待测元件表面的不连续图像的成像的包括以下步骤:根据所述辐射场强度,获得连续的辐射模拟量;根据所述连续的辐射模拟量,获得离散的辐射数据值;基于所述离散的辐射数据值,建立垂直的不连续图像成像和水平的不连续图像成像,并叠加形成不连续图像的成像。4.根据权利要求3所述的基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法,其特征在于,所述基于所述离散的辐射数据值,建立垂直的不连续图像成像和水平的不连续图像成像,并叠加形成不连续图像的成像包括:对所述离散的辐射数据值进行降噪处理;根据处理后的离散的辐射数据值,建立垂直的不连续图像成像和水平的不连续图像成像;根据垂直的不连续图像成像和水平的不连续图像成像,叠加形成不连续图像的成像。5.根据权利要求1所述的基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法,其特征在于,所述确定待测元件表面的裂纹信息为:获取所述不连续图像的成像中热量集中区域,所述区域为裂纹所在位置。6.一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测装置,其特征在于,所述装置包括:辐射场强度获取模块,用于获取待测元件表面的辐射场强度;成像建立模块,用于基于所述辐射场强度,建立待测元件表面的不连续图像的成像;裂纹确定模块,用于根据所述不连续图像的成像,确定待测元件表面的裂纹信息。7.根据权利要求6所述的一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测装置,其特征在于,所述装置还包括:热反应模块,用于以热流形式对待测元件表面进行加热,以使在待测元件表面产生热反应。8.根据权利要求6所述的一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测装置,其特征在于,所述成像建立模块包括:辐射模拟量获取单元,用于根据所述辐射场强度,获得连续的辐射模拟量;辐射数据值获取单元,用于根据所述连续的辐射模拟量,获得离散的辐射数据值;成像建立单元,用于基于所述离散的辐射数据值,建立垂直的不连续图像成像和水平的不连续图像成像,并叠加形成不连续图像的成像。9.根据权利要求8所述的一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测装置,其特征在于,所
述成像建立单元包括:降噪子单元,用于对述离散的辐射数据值进行降噪处理;第一图像建立子单元,用于根据处理后的离散的辐射数据值,建立垂直的不连续图像成像和水平的不连续图像成像;第二图像建立子单元,用于根据垂直的不连续图像成像和水平的不连续图像成像,叠加形成不连续图像的成像。10.根据权利要求6所述的一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测装置,其特征在于,所述确定待测元件表面的裂纹信息为:获取所述不连续图像的成像中热量集中区域,所述区域为裂纹所在位置。

技术总结
本发明公开了一种基于热扩散梯度的元件级裂纹检测方法及装置,应用于元件级电子器件裂纹的检测,所述方法包括以下步骤:获取待测元件表面的辐射场强度;基于所述辐射场强度,建立待测元件表面的不连续图像的成像;根据所述不连续图像的成像,确定待测元件表面的裂纹信息,本发明还提供用于实施上述方法的装置,通过对元件表面裂纹进行间接性的检测识别,避免了静电、化学、物理等因素对元件的二次损伤,同时通过热反应原理对元件表面裂纹进行检测,提高了检测的准确性和安全性。提高了检测的准确性和安全性。提高了检测的准确性和安全性。


技术研发人员:马宏
受保护的技术使用者:觉芯电子(无锡)有限公司
技术研发日:2020.03.10
技术公布日:2021/9/9
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