具讯号处理功能的自动化测试机及其信息处理方法与流程

文档序号:29515953发布日期:2022-04-06 21:13阅读:68来源:国知局
具讯号处理功能的自动化测试机及其信息处理方法与流程

1.本发明涉及一种测试机,特别涉及一种具讯号处理功能的自动化测试机及其信息处理方法。


背景技术:

2.请参考图1所示为一种自动化测试设备(automatic test system,ate)。所述自动化测试设备用于测试不同的被测器件(device under testing,duts),例如晶圆或ic。所述自动化测试设备包括承载部件a、测试机头b、缆线c及外部运算装置d。在使用上,将所述被测器件设置在所述承载部件a上,由所述测试机头b上的pin脚接触被测器件以进行测试,并且通过所述缆线c将所取得的讯号传送至所述外部运算装置d进行处理,以分析测试后的结果。
3.传统自动化测试设备由于所述测试机头b不具备讯号处理的能力,需要将讯号通过缆线c传输至所述外部运算装置d进行处理,不仅设备体积庞大,在讯号处理上也费时且不便。


技术实现要素:

4.鉴于上述现有技术所存在的问题,本发明的至少一个目的是提供一种具讯号处理功能的自动化测试机及其信息处理方法,通过在测试机头上直接设置具有讯号处理功能的模块,以直接对接收到的讯号实时进行处理、分析。由于不需要再通过缆线外接外部运算装置,而将讯号传送到所述外部运算装置进行分析,可有效提升讯号处理的效率,更能降低设备体积以及设备成本。
5.为了达成上述目的所采取的一技术手段,是令前述具讯号处理功能的自动化测试机,包括:测试机头,用于测试一个以上的被测器件,所述测试机头包括:测试处理装置,用于提供一个以上的电性测试讯号至所述被测器件,并接收所述被测器件回馈的一个以上的电性反馈讯号,进行讯号处理分析,以产生分析结果信息。
6.可选地,所述测试处理装置包括:整合型测试模块,用于产生一个以上的电性测试条件;测试耦合控制模块,耦接所述整合型测试模块,并且根据所述电性测试条件提供对应的电性测试讯号至所述整合型测试模块。
7.可选地,所述整合型测试模块包括:讯号存储模块,用于存储讯号;测试暨讯号搜集模块,耦接所述讯号存储模块,且用于传输所述电性测试讯号至所述被测器件,以及取得所述电性反馈讯号;讯号运算模块,通过所述讯号存储模块与所述测试暨讯号搜集模块耦接,且用于提供所述电性测试条件,以及对所述电性反馈讯号进行所述讯号处理分析。
8.可选地,所述讯号运算模块包括:记忆单元,存储多个指令;讯号运算单元,根据所述多个指令提供所述电性测试条件,以及对所述电性反馈讯号进行所述讯号处理分析。
9.可选地,所述测试机头还包括探针配适模块,与所述测试处理装置耦接;所述探针配适模块根据所述电性测试讯号对所述被测器件进行测试。
10.可选地,所述电性测试讯号包括多准位多相电源测试讯号、多种接地设计测试讯号、防噪声电路测试讯号、数字切换设计测试讯号或同步耦合控制测试讯号。
11.可选地,进一步通过网络与主控计算机连接,以将所述分析结果信息或所述电性反馈讯号传输至所述主控计算机,或者根据所述主控计算机传送的指令调整指令存储新增的指令或删除对应的指令。
12.为了达成上述目的所采取的另一技术手段,是令前述具讯号处理功能的自动化测试机的信息处理方法,用于测试一个以上的被测器件,并由所述自动化测试机的测试机头内的测试处理装置执行以下步骤:对所述被测器件提供一个以上的电性测试讯号;接收所述被测器件回馈的一个以上的电性反馈讯号;对所述电性反馈讯号进行讯号处理分析,产生分析结果信息。
13.可选地,所述测试机头根据一个以上的电性测试条件产生对应的电性测试讯号。
14.可选地,所提供的电性测试讯号包括多准位多相电源测试讯号、多种接地设计测试讯号、防噪声电路测试讯号、数字切换设计测试讯号或同步耦合控制测试讯号。
15.通过上述内容可知,借由在所述自动化测试机的测试机头内直接设置用于讯号处理的所述测试处理装置,以对所述被测器件进行测试所取得的讯号实时进行处理。由于不需要再通过缆线外接外部运算装置,而将讯号传送到所述外部运算装置进行分析,可有效提升讯号处理的效率,更能降低设备体积以及设备成本。借此达到缩小体积、提升讯号处理的效率、便利性兼具降低成本的目的。
16.为使能更进一步了解本发明的特征及技术内容,请参阅以下有关本发明的详细说明与附图,但是此说明与所附附图仅用来说明本发明,而非对本发明的权利范围作任何的限制。
附图说明
17.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1是公知的自动化测试设备的示意图;
19.图2是本发明的一实施例的自动化测试机的架构示意图;
20.图3是基于图2所示的实施例的测试机头的架构示意图;
21.图4是本发明的另一实施例的自动化测试机的另一架构示意图;
22.图5是本发明的一实施例的自动化测试机的信息处理方法的流程示意图。
23.附图标记
24.10 自动化测试机
25.11 测试机承载部件
26.12 测试机头
27.13 测试处理装置
28.131 测试耦合控制模块
29.132 整合型测试模块
30.1321 讯号运算模块
31.13211 讯号运算单元
32.13212 记忆单元
33.1322 测试暨讯号搜集模块
34.1323 讯号存储模块
35.14 探针配适模块
36.20 主控计算机
37.s31~s33 步骤
38.x 被测器件
39.a 承载部件
40.b 测试机头
41.c 缆线
42.d 外部运算装置
具体实施方式
43.关于本发明的一实施例,请参考图2所示,公开了具讯号处理功能的自动化测试机10。所述自动化测试机10用于设置被测器件x,并对所述被测器件x进行测试。
44.所述自动化测试机10包括测试机承载部件11及测试机头12。所述测试机头12内整合有测试处理装置13。所述测试机承载部件11用于设置所述测试机头12以及设置、承载、置放所述被测器件x。所述测试机头12用于对所述被测器件x进行检测,并对检测到的结果进行处理、分析。
45.在一实施例中,所述测试机承载部件11上可包括自动进件机械装置(图中未示)。所述自动进件机械用于自动装载被测器件x后,由所述测试机头12对所述被测器件x进行测试以及讯号分析,再由所述自动进件机械装置将测试完的所述被测器件x卸除于收纳盒内。
46.所述测试机头12内设有电路基板(图未示),于所述电路基板上设置具有讯号处理功能以及存储讯号功能的所述测试处理装置13,并且与所述电路基板上的多个电路(图未示)电性耦接,借此将所述测试处理装置13整合、设置在所述测试机头12内。所述测试处理装置13提供用于测试的讯号,并通过所述测试机头12传输至所述被测器件x上,以进行不同类型或需求的测试。所述测试处理装置13通过所述测试机头12取得所述被测器件x回馈的讯号进行处理、分析。关于所述测试处理装置13的具体架构将于后续内容进行说明。
47.此外,为了更有效且准确的对所述被测器件x进行测试,所述测试机头12还包括探针配适模块14。所述探针配适模块14与所述测试处理装置13耦接。所述探针配适模块14包括用于与被测器件x接触的探针卡(图未示),以及供准确安装、组装、结合被测器件x的配适模块(图未示)。其中,所述配适模块包括socket、pib(probe interface board)、pogo tower。
48.在一实施例中,请一并参考图3所示,所述测试机头12中的所述测试处理装置13包括测试耦合控制模块131、整合型测试模块132。所述整合型测试模块132耦接所述测试耦合控制模块131。
49.所述整合型测试模块132存储多个指令,并根据用户的需求或设定自动执行对应
的指令,以对应产生一个以上的电性测试条件,并根据从所述被测器件x取得的讯号进行处理、分析,以确认所述被测器件x是否合格。
50.所述测试耦合控制模块131根据所述整合型测试模块132所产生的电性测试条件,自动产生对应的一个以上电性测试讯号,并且提供给所述整合型测试模块132。
51.所述整合型测试模块132将所述电性测试讯号传送至给所述被测器件x进行测试,并且接收所述被测器件x回馈的一个以上的电性反馈讯号,并存储。所述整合型测试模块132对所述电性反馈讯号进行讯号处理分析,以产生分析结果信息,并存储以及提供给使用者参考。通过所述分析结果信息可确认所述被测器件x是否合格或不合格,以有效确认所述被测器件x的质量是否过关。
52.此外,所述测试处理装置13根据所述分析结果信息确认所述被测器件x为合格时,令所述测试机承载部件11上的自动进件机械装置,将所述被测器件x卸除于存放合格被测器件x的收纳盒中。反之,确认所述被测器件x为不合格时,令所述测试机承载部件11上的自动进件机械装置,将所述被测器件x卸除于存放不合格被测器件x的收纳盒中。借由自动化测试被测器件x以及根据分析的结果自动分类,以提升使用便利性及分类效率。
53.其中,所述电性测试讯号包括多准位多相电源测试讯号、多种接地设计测试讯号、防噪声电路测试讯号、数字切换设计测试讯号、同步耦合控制测试讯号以及各种待测ic的反馈信号。
54.在一实施例中,所述整合型测试模块132包括讯号运算模块1321、测试暨讯号搜集模块1322及讯号存储模块1323。所述讯号运算模块1321通过所述讯号存储模块1323与所述测试暨讯号搜集模块1322耦接。
55.其中,所述讯号运算模块1321包括讯号运算单元13211以及记忆单元13212。所述记忆单元13212存储上述所述多个指令以及所述讯号运算单元13211处理讯号所需要的讯号。所述讯号运算单元13211根据用户于所述自动化测试机10上的相关设定,从所述记忆单元13212读取对应的指令并执行,以产生对应的电性测试条件,并传输至所述测试耦合控制模块131,以交换取得对应的电性测试讯号。所述讯号运算模块1321可为cpu、gpu、fpga、特殊用途ic或特殊用途ip等。
56.所述测试暨讯号搜集模块1322将所述电性测试讯号传输至所述探针配适模块14,以对所述被测器件x进行测试。所述测试暨讯号搜集模块1322通过所述探针配适模块14搜集所述被测器件x回馈的电性反馈讯号,并且传送至所述讯号存储模块1323存储。通过直接将讯号存储在所述讯号存储模块1323,以降低讯号复制、传递的时间,以提升讯号处理的效率。
57.所述讯号运算模块1321的讯号运算单元13211从所述讯号存储模块1323直接取得所述电性反馈讯号,并进行所述讯号处理分析,以产生所述分析结果信息,并存储在所述讯号存储模块1323。
58.其中,所述讯号处理分析可为巨量数学算法、测试标准算法或类神经分析算法等。
59.根据上述内容,通过在所述测试机头12内直接整合、设置具有讯号处理功能以及存储讯号功能的所述测试处理装置13,以直接产生用于测试的讯号给所述被测器件x,并且根据所述被测器件x反馈的电性反馈讯号,实时存储以及进行处理、分析,以快速得到所述分析结果信息。由于不需要再通过缆线外接外部运算装置,而将讯号传送到所述外部运算
装置进行分析,可有效提升讯号处理的效率,更能降低设备体积也可降低设备成本。借此达到提升讯号处理的效率、便利性兼具降低成本的目的。
60.关于本发明的另一实施例,本实施例的内容与上述实施例的内容大致上相同。对本实施例来说,可以方便其它不在所述自动化测试机10所在的位置的用户,能取得所需要的讯号,以进行其它相关分析,借此提升对讯号处理的弹性及扩充性。也能方便使用者远程新增、删除、调整存储在所述测试处理装置13的指令。
61.请参考图4所示,所述自动化测试机10可通过网络与主控计算机20连接。所述主控计算机20可为桌面计算机、笔记本电脑、平板计算机或具有内建运算及记忆功能的装置等。
62.所述自动化测试机10的测试处理装置13接收所述主控计算机20传送的讯号需求指令,将所述分析结果信息或所述电性反馈讯号传送至所述主控计算机20。
63.此外,所述自动化测试机10的测试处理装置13接收所述主控计算机20传送的指令调整指令,则存储新增的指令,或者删除对应的指令。其中,所述测试处理装置13存储新增的指令时,可以另存指令或者取代对应旧有的指令进行存储。
64.根据上述内容,请参考图5所示,进一步归纳出应用于具讯号处理功能的自动化测试机的信息处理方法,用于测试一个以上的被测器件x,并由所述自动化测试机10的测试机头12内的测试处理装置13执行以下步骤:
65.对所述被测器件x提供一个以上的电性测试讯号(s31);
66.接收所述被测器件x回馈的一个以上的电性反馈讯号(s32);
67.对所述电性反馈讯号进行讯号处理分析,产生分析结果信息(s33)。
68.在一实施例中,所述测试处理装置13根据一个以上电性测试条件产生对应的电性测试讯号。
69.在一实施例中,所提供的电性测试讯号包括多准位多相电源测试讯号、多种接地设计测试讯号、防噪声电路测试讯号、数字切换设计测试讯号、同步耦合控制测试讯号。
70.在一实施例中,所述测试处理装置13于取得所述电性反馈讯号即存储。所述测试处理装置13于产生所述分析结果信息即存储。
71.在一实施例中,所述自动化测试机10可通过网络将所述分析结果信息、所述电性反馈讯号传送至主控计算机20供参考。
72.以上所述仅为本发明的实施例,其并非用以局限本发明的专利范围。
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