一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法与流程

1.本发明涉及半导体行业中so2浓度的检测的技术领域，特别涉及一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法。


背景技术：

2.在半导体行业和以低温多晶硅薄膜晶体管为代表的高性能平板显示行业，随着产品集成度的提高，线宽越来越细，空气中的悬浮气态分子污染物(airborne molecular contaminants,简称amc)对制程的潜在危害越来越受到人们的重视。在amc中so2的浓度大小或以so2和h2s等硫化物组成的全硫气氛的浓度大小对制程中产品良率的影响最为严重。so2或全硫浓度检测的精度一般要达到ppbv以下的精度量级，全硫浓度的检测目前是以so2浓度的检测为基础的，因此实现稳定的高精度的so2气氛的在线检测非常重要。


技术实现要素：

3.本发明公开了一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法，用于提高so2气氛的在线检测精度。
4.为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
5.一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法，包括：
6.收集待检测气体，将收集后的待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器依据预定的检测策略进行多次检测，以获取多个气体浓度检测值；
7.根据所述多个气体浓度检测值获取待检测气体浓度值。
8.这里通过将待检测气体收集至收集袋中，并通过四电极电化学二氧化硫传感器对待检测气体的浓度进行检测，四电极电化学二氧化硫传感器检测精度高，并且为了进一步提高检测精度，这里依据设定的检测策略对待检测气体进行多次检测，并将获取的待检测气体的检测值经过一系列的计算得到最终的待检测气体浓度值，通过上述方法实现了对二氧化硫气氛低成本高精度的检测。
9.可选地，所述根据所述多个气体浓度检测值获取待检测气体浓度值，具体包括：
10.将所述多个气体浓度检测值进行平均计算，得到所述待检测气体浓度值。
11.可选地，所述预定的检测策略具体包括：
12.将收集待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器分不同时间段进行多次检测。
13.可选地，所述预定的检测策略具体包括：
14.多次收集待检测气体，并将收集的不同批次待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器进行多批次检测。
15.可选地，所述四电极电化学二氧化硫传感器根据修正条件，在确定需要修订时对所述四电极电化学二氧化硫传感器进行零点修正。
16.可选地，所述四电极电化学二氧化硫传感器在满足下列条件中部分或全部时确定
进行零点修订：
17.条件一、所述四电极电化学二氧化硫传感器的使用时间大于第一阈值时；
18.条件二、所述四电极电化学二氧化硫传感器的使用次数大于第二阈值时。
19.可选地，获取所述四电极电化学二氧化硫传感器所处的环境条件，根据所述四电极电化学二氧化硫传感器在确定需要调节环境条件时，对所述四电极电化学二氧化硫传感器所处的环境条件进行调节。
20.可选地，所述获取所述四电极电化学二氧化硫传感器所处的环境条件通过以下方式中的部分或全部：
21.方式一、通过温度传感器获取温度值；
22.方式二、通过湿度传感器获取湿度值。
附图说明
23.图1为本发明实施例提供的一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法的流程图；
24.图2为本发明实施例提供的一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法判断流程图。
具体实施方式
25.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
26.如图1所示，本发明实施例提供了一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛的在线检测方法，包括：
27.s101：收集待检测气体，将收集后的待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器依据预定的检测策略进行多次检测，以获取多个气体浓度检测值；
28.s102：根据所述多个气体浓度检测值获取待检测气体浓度值。
29.需要说明的是，这里通过将待检测气体收集至收集袋中，并通过四电极电化学二氧化硫传感器对待检测气体的浓度进行检测，四电极电化学二氧化硫传感器检测精度高，并且为了进一步提高检测精度，这里依据设定的检测策略对待检测气体进行多次检测，并将获取的待检测气体的检测值经过一系列的计算得到最终的待检测气体浓度值，通过上述方法实现了对二氧化硫气氛低成本高精度的检测。
30.这里所述根据所述多个气体浓度检测值获取待检测气体浓度值，具体包括：
31.为了提高通过四电极电化学二氧化硫传感器测到的气体浓度值的准确性，这里可以将所述多个气体浓度检测值进行平均计算，得到所述待检测气体浓度值；又或是，可以将所述多个气体浓度检测值去掉最大值和最小值后进行平均计算，并且上述多个气体浓度检测值的检测数量可以为10个、11个或是12个，测量的数量越多，最终得到所述待检测气体浓度值越准确，但是检测数值也不易过多，这样将会增加工作量，因此这里测量数量以10个为最佳。
32.具体地，所述预定的检测策略具体包括：
33.将收集待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器分不同时间段进行多次检测。
34.为了保证多个气体浓度检测值的准确性，这里可以是将收集的待检测气体分不同的时间段进行检测，以消除因为不同时间段的待检测气体的浓度的不同。这里可以以5分钟作为一个时间间隔进行一次测量，具体的设定规则可以根据实际情况进行操作。
35.具体地，所述预定的检测策略具体包括：
36.多次收集待检测气体，并将收集的不同批次待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器进行多批次检测。
37.为了保证多个气体浓度检测值的准确性，这里可以是将待检测气体通过多次收集到收集袋中以分为不用批次，例如可以收集5个批次，即5个收集袋，具体地分成多少个收集袋以实际情况为主。
38.可选地，所述四电极电化学二氧化硫传感器根据修正条件，在确定需要修订时对所述四电极电化学二氧化硫传感器进行零点修正。
39.这里将四电极电化学二氧化硫传感器进行零点修正，可以提高测量待检测气体浓度的准确性。
40.具体地，所述四电极电化学二氧化硫传感器在满足下列条件中部分或全部时确定进行零点修订：
41.条件一、所述四电极电化学二氧化硫传感器的使用时间大于第一阈值时；
42.如果将第一阈值设定为2小时，则四电极电化学二氧化硫传感器使用时间超过2小时后，将对四电极电化学二氧化硫传感器进行零点修正，进而提高了四电极电化学二氧化硫传感器测量待检测气体浓度的准确性。
43.条件二、所述四电极电化学二氧化硫传感器的使用次数大于第二阈值时。
44.如果将第二阈值设定为15次，这里只要使用四电极电化学二氧化硫传感器的使用次数超过15次，则重新对四电极电化学二氧化硫传感器进行一次零点修正。
45.可选地，获取所述四电极电化学二氧化硫传感器所处的环境条件，根据所述四电极电化学二氧化硫传感器在确定需要调节环境条件时，对所述四电极电化学二氧化硫传感器所处的环境条件进行调节。
46.由于四电极电化学二氧化硫传感器所处环境对其测量结果具有一定影响，因此在多次试验中，所述获取所述四电极电化学二氧化硫传感器所处的环境条件通过以下方式中的部分或全部：
47.方式一、通过温度传感器获取温度值；例如多次试验中，已知这里的四电极电化学二氧化硫传感器所处的温度为25℃使用效果最好，因此温度传感器获取的温度值高于或低于25℃时，则对四电极电化学二氧化硫传感器所处的环境温度进行调节。
48.方式二、通过湿度传感器获取湿度值。
49.例如多次试验中，已知这里的四电极电化学二氧化硫传感器所处的湿度环境为相对湿度20％使用效果最好，因此湿度传感器获取的相对湿度值高于或低于29％时，则对四电极电化学二氧化硫传感器所处的环境湿度进行调节。
50.如图2所示，下面对本发明实施例提供的一种用于检测半导体工厂二氧化硫气氛
的在线检测方法判断流程进行说明：
51.s201：收集待检测气体；
52.s202：将收集后的待检测气体通过四电极电化学二氧化硫传感器依据预定的检测策略进行检测；根据所述多个气体浓度检测值获取待检测气体浓度值；
53.s203：判断所述四电极电化学二氧化硫传感器是否需要进行零点修正；如果需要修订，则执行s204；否则，执行s202；
54.s204：对四电极电化学二氧化硫传感器进行零点修正；
55.s205：判断四电极电化学二氧化硫传感器所处环境条件是否需要调节；如果需要调节，则执行s206；否则，执行s202；
56.s206：依据温度传感器和湿度传感器的采集值对四电极电化学二氧化硫传感器所处环境条件进行调节。
57.显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。