一种多晶硅还原炉设备的视镜耐压试验辅助装置的制作方法

文档序号:26546457发布日期:2021-09-07 23:34阅读:115来源:国知局
一种多晶硅还原炉设备的视镜耐压试验辅助装置的制作方法

1.本发明涉及一种多晶硅还原炉附属部件的耐压试验辅助装置,具体地说是一种多晶硅还原炉设备的视镜压力试验用辅助装置。


背景技术:

2.在国家节能减排环保理念的号召下,光伏发电、半导体等新能源行业迅速崛起,而光伏发电的太阳能电池、半导体分离元件、集成电路元器件都是以多晶硅为原材料制成的,目前多晶硅合成工艺主要是在还原炉内通过三氯氢硅和氢气在1050~1150℃时发生氢还原反应来生产多晶硅产品。
3.多晶硅高温等复杂的氢还原合成环境决定了还原炉本体及其零部件的制造要有绝对可靠的质量保证,视镜作为还原炉钟罩的一个关键部件,其结构复杂、制造工序严格,尤其是0.5mm厚度的双层波纹管与法兰连接前外焊缝1ˊ,与外壳体凸缘的连接后外焊缝2ˊ,及法兰与视镜内筒体的连接内前焊缝3ˊ、内后焊缝4ˊ的质量除常规的渗透pt/ 磁粉mt无损检测合格外,在与内筒体、外壳体组装之前尚需进行耐压试验来验证焊缝及波纹管段本体的强度。
4.常规的耐压试验工装是焊接结构,每做一次视镜波纹段耐压试验就要进行一次试压工装环的焊接;即每一个视镜波纹段的耐压试验,都需要焊接一个带有增/泄压接头的试压环板;现有的这种结构,一方面工装环不可重复利用增加了产品制造成本;另外一方面工装环焊接过程、拆除过程都需要消耗较多的人工成本,严重降低了工作效率,延长了设备的整体制造周期,影响设备制造整体进度,间接增加了产品制造成本;还有一方面,工装环与视镜波纹段采用角焊缝焊接连接,试验压力较大时有非意识性焊接不牢固致使焊缝崩裂伤人或其它危险;再一方面,试压结束工装环通常采用砂轮片切割去除,焊接工装的切割去除过程,稍有不慎易划伤外壳体凸缘及视镜内筒体端部,造成视镜本体的损伤,影响视镜外观质量。


技术实现要素:

5.本发明解决的技术问题是提供一种安装拆卸方便、可重复利用、安全系数高、工装制造成本低、工作效率高的多晶硅还原炉设备的视镜压力试验用辅助装置。
6.为了解决上述技术问题,本发明的多晶硅还原炉设备的视镜压力试验用辅助装置,包括用于定位安装在法兰前端面上的前盲板以及用于定位安装在内筒体后端面和外壳体后端面上的后盲板,外壳体设置为形成有台阶的凸缘结构,后盲板的内端面上安装有能够卡扣在台阶处的钩圈,前盲板和后盲板之间通过连接件拉紧固定,从而使法兰、波纹管以及内筒体之间形成一个独立的承压腔体;后盲板的外侧端面上安装有用于与压力源连接的增压接头和泄压接头。
7.所述后盲板与外壳体的后端面之间以及后盲板与内筒体的后端面之间均安置有密封件。
8.所述钩圈由套装在外壳体外的筒套以及在筒套一端进行内翻边形成的限位凸缘构成,所述钩圈的限位凸缘能够卡扣在外壳体的台阶处。
9.所述前盲板上设置有用于与法兰进行连接的前螺纹孔,后盲板上设置有用于与钩圈进行连接的后螺纹孔。
10.所述后盲板的内侧端面中心设置有能够定位在内筒体后端面中心孔内的凸台。
11.所述密封件为丁晴橡胶平垫片。
12.本发明的优点在于:由于设置的通过连接件连接的前盲板、后盲板以及后盲板上安装的钩圈,由此可快速方便地与视镜进行组装使法兰、波纹管以及内筒体之间形成一个独立的承压腔体,不但大大减少了操作人员的劳动强度,提高了工作效率,而且其部件都可采用标准件,可以多次重复使用,降低了生产制造成本,另外,更重要的是该工装使用全过程不需要焊接作业,降低了因焊接质量问题引起的安全风险;不需要采用切割片等机械方式去除试压工装,更有利于视镜本体及外观的保护。
附图说明
13.图1为本发明多晶硅还原炉设备的视镜压力试验用辅助装置的剖面结构示意图;
14.图2为本发明中钩圈的剖面结构示意图。
具体实施方式
15.下面结合附图和具体实施方式,对本发明的多晶硅还原炉设备的视镜压力试验用辅助装置作进一步详细说明。
16.对于要试验的还原炉视镜来说,通常包括内筒体3、安装在内筒体 3前端的法兰1以及安装在内筒体3后端的外壳体4,在内筒体3外还套有位于法兰1和外壳体4之间的双层波纹管,双层波纹管与法兰连接处具有前外焊缝1ˊ,与外壳体凸缘的连接后外焊缝2ˊ,及法兰与视镜内筒体的连接处具有内前焊缝3ˊ、内后焊缝4ˊ,本实用新型就是需要对这样的还原炉视镜进行耐压试验来验证焊缝及波纹管段本体的强度,如图所示,本发明的多晶硅还原炉视镜压力试验用辅助装置,包括用于定位安装在法兰1前端面上的前盲板2以及用于定位安装在内筒体 3后端面和外壳体4后端面上的后盲板5,具体地说后盲板5设置有与内筒体3后端面和外壳体4后端面配合的密封面,后盲板5的密封面与外壳体4的后端面之间以及后盲板5与内筒体3的后端面之间均安置有密封件10,外壳体4设置为形成有台阶的凸缘结构,后盲板5的内端面上安装有能够卡扣在台阶处的钩圈6,由图可见,钩圈6由套装在外壳体4外的筒套11以及在筒套一端进行内翻边形成的限位凸缘12构成,钩圈6的限位凸缘12能够卡扣在外壳体的台阶处,前盲板2上设置有用于与法兰进行连接的前螺纹孔使前盲板2与法兰1贴紧后用连接螺栓拧紧固定,后盲板5上设置有用于与钩圈进行连接的后螺纹孔,同时在前盲板2和后盲板5上设置有相互对应的能够串接连接件的串接孔,前盲板2和后盲板5之间通过连接件穿过串接孔后拉紧固定,从而使法兰、波纹管以及内筒体之间形成一个独立的承压腔体7;后盲板5的外侧端面上安装有用于与压力源连接的增压接头8和泄压接头9。
17.进一步地,所说的后盲板5的内侧端面中心设置有能够定位在内筒体后端面中心孔内的凸台13,凸台13在完成后盲板5的组装后深入内筒体内起限位作用,安装时,外部的
密封垫圈(件)粘贴在后盲板5对应位置的密封面上、内部的密封垫圈(件)粘贴在后盲板5的凸台13 处的密封面上后将后盲板5与波纹管段组装,通过后盲板5上的凸台13 嵌入内筒体内来调心定位,确保内部的密封垫圈、外部的密封垫圈分别能与内筒体及外壳体凸缘充分接触,所说的密封件优选为丁晴橡胶平垫片。
18.安装时,通过连接螺栓将前盲板2与法兰1连接固定为一体;利用经精加工过的外壳体后端面、内筒体后端面作为密封面,与后盲板5精加工过的密封面配合,外壳体后端面、内筒体后端面与后盲板5的密封面之间分别放置密封垫圈;用拉紧螺栓将前盲板2、后盲板5连接成一个整体,通过拧紧拉紧螺栓上的螺母来压紧密封垫圈实现内筒体与后盲板5连接处的密封;钩圈扣在外壳体凸缘(台阶处)上,用安装螺栓将钩圈与后盲板5连为一体,具体地说将钩圈从外壳体凸缘处扣在外壳体上,使钩圈凹槽面(限位凸缘12)与外壳体凸缘端面充分接触后将安装螺栓依次穿过钩圈螺栓孔、后盲板的后螺纹孔,通过拧紧安装螺栓使后盲板、外壳体后端面、密封垫圈紧密贴合在一起形成一道密封;将拉紧螺栓依次穿过前盲板2、后盲板5的串接孔,通过拧紧拉紧螺栓两端的螺母将内部的密封垫圈、后盲板5、内筒体紧密贴合在一起形成一道密封;后盲板5上焊接有增压接头8和泄压接头9,增压接头8和泄压接头9为能够正常与压力源连接的连接头,通过增/泄压接头连接管路即可实现还原炉视镜波纹段本体的耐压试验,其中,安装螺栓和连接螺栓为标准六角头螺栓,拉紧螺栓为标准双头螺柱,综上法兰与波纹管和内筒体连接处的两处焊缝、两道密封便形成了一个独立的承压腔体;增/ 泄压接头连接加压泵后即可实现对还原炉视镜波纹段本体的试压来验证焊缝强度及波纹段本体的强度是否满足质量要求。
19.当然,上述说明并非是对本发明的限制,本发明也并不仅限于上述举例,本技术领域的技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换,也应属于本发明的保护范围。
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