一种半导体芯片微调测试装置的制作方法

本实用新型涉及半导体芯片测试领域，具体为一种半导体芯片微调测试装置。

背景技术：

目前半导体芯片测试中，测试机需要将芯片压入pcb测试板上的插座的凹槽内，使芯片上的触点与插座的针脚相连，插座上的针脚与pcb电路板的触点相连，此时形成通路，然后在pcb测试板上输入一定电压查看输出的情况，不同的电压会产生不同的通路进而有不同的输出，输出与需要的参数相符合即为良品。

测试机通过吸嘴抓住芯片，将其放入插座中，测试机只能将芯片放在特定位置，因此我们需要改变插座的位置来保证芯片能顺利放入插座中。插座2又与pcb测试板是固定连接的，相对静止，pcb测试板又与测试支架是固定连接的，相对静止，所以我们只需要调节支架，改变支架顶部的位置就能保证芯片能够准确的压入插座内。

现有的测试支架已经可以实现上下和左右调节的功能，但是现有的调节方式往往是手动进行，利用拧动螺丝的方式进行支架顶部的位置调节，但是在实际的测试中调节范围需要控制在±1mm的精度内，微调时距离更小，以m3螺丝为例，其螺距为0,5mm，微调时可能只需要转动一圈不到，这样就造成在微调时缺乏有效的参照，因此仅靠人手部的控制很难确保调节的精度，需要加以改进。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种通过双向微调结构改变传统转动螺丝式的调节方式，使得微调可以通过电气控制来实现来确保调节的高精度，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体芯片微调测试装置，包含底板、侧板、控制箱及检测组件，所述底板的一侧固定安装有侧板，且底板远离侧板的一侧设有检测组件，所述底板的上表面上固定安装有控制箱，所述底板与侧板间设有具有双向微调结构的调节组件；

所述调节组件包括竖直微调组件、水平微调组件、第一球头、连接杆、第二球头、第三球头、限位板及平衡组件，所述底板与侧板间分别设有竖直微调组件和水平微调组件，所述连接杆穿插在竖直微调组件及水平微调组件中，且连接杆靠近竖直微调组件及水平微调组件的输入端一侧固定安装有第一球头，所述连接杆的中心处固定安装有第二球头，所述底板上表面中心处固定安装有限位板，且第二球头转动连接在限位板的中心处，所述连接杆远离第一球头的一端固定安装有第三球头，所述底板上表面靠近第三球头一侧固定安装有平衡组件，利用转动与滑动结构的结合，可以通过竖直微调组件控制检测组件的上下移动，通过水平微调组件控制检测组件的前后移动，两个方向的微调均可独立完成，且采用的是电气结构驱动，可以确保具有足够的调节精度。

优选的，所述竖直微调组件包括第一电动推杆、第一夹头、第一滑轨、第一滑块及第一通槽，所述侧板的内侧转动连接有第一电动推杆，且第一电动推杆的输出端上固定安装有第一夹头，所述第一电动推杆与控制箱电性连接，所述底板靠近限位板的一侧固定安装有第一滑轨，且第一滑轨中滑动连接有第一滑块，所述第一滑轨远离第一滑块的一侧开设有第一通槽，且连接杆穿插经过第一通槽，保持第二电动推杆不动，利用第一电动推杆的伸缩会推动连接杆发生摆动，连接杆的摆动会驱使第二球头在竖直方向上发生转动，此时第三球头受到挤压保持静止，这样就会驱使第一滑块与其相连部位相对第一滑轨在竖直方向上滑动，即完成对检测组件竖直方向上的微调。

优选的，所述水平微调组件包括第二电动推杆、第二夹头、第二滑轨、第二滑块、第二通槽及连接柱，所述侧板的内侧转动连接有第二电动推杆，且第二电动推杆的输出端上固定安装有第二夹头，所述第二电动推杆与控制箱电性连接，所述第二夹头通过第一球头与第一夹头转动连接，所述第一滑块远离第一滑轨的一侧固定连接有第二滑轨，且第二滑轨中滑动连接有第二滑块，所述第二滑轨远离第二滑块的一侧开设有第二通槽，且连接杆穿插经过第二通槽，所述第二滑块远离第二滑轨一侧的四角处均固定安装有连接柱，且连接柱远离第二滑块的一端与检测组件的安装部位固定连接，所述第二滑块中心处与第三球头转动连接，保持第一电动推杆不动，利用第二电动推杆的伸缩会推动连接杆发生摆动，连接杆的摆动会驱使第三球头在水平方向上发生转动，此时第二球头受到挤压保持静止，这样就会驱使第二滑块与其相连部位相对第二滑轨在水平方向上滑动，即完成对检测组件水平方向上的微调。

优选的，所述平衡组件包括第三滑轨、第三滑块、底座、连接板、滑柱及弹簧，所述底板上表面远离侧板的一侧固定安装有第三滑轨，且第三滑轨中滑动连接有第三滑块，所述第三滑块上表面对称地固定安装有底座，所述底座的上表面上固定安装有滑柱，所述检测组件的安装部位远离连接柱的一侧固定安装有连接板，所述滑柱与连接板滑动穿插，所述连接板的下表面与底座间固定安装有弹簧，如图2所示，检测组件的主要作用部位位于其上半部分，因此在进行对其位置的微调时就需要对检测组件的下半部分作出平衡，第三滑块在第三滑轨上的滑动可以平衡水平方向上的微调，而滑柱相对连接板的滑动则可以平衡竖直方向上的微调，弹簧可以确保平衡组件内竖直方向具有伸缩性，完善平衡组件的平衡性能。

优选的，所述第一夹头与第二夹头间对称地配合有紧固螺栓，从而可以保证第一夹头与第二夹头的连接紧固，避免第一球头转动使其连接松动。

优选的，所述检测组件包括安装架、pcb测试板、电压接头、插座、针脚及垫头，所述连接柱远离第二滑块的一端固定安装有安装架，所述安装架的上表面固定安装有pcb测试板，且pcb测试板上表面的两侧对称地固定安装有插座，所述插座内固定安装有针脚，所述pcb测试板上插座间等距固定安装有垫头，且pcb测试板一侧对称地固定安装有电压接头，所述电压接头与针脚相连通，对好位置后测试时，测试机需要将芯片压入pcb测试板上的插座的凹槽内，使芯片上的触点与插座的针脚相连，插座上的针脚与pcb电路板的触点相连，此时形成通路，然后在pcb测试板上输入一定电压查看输出的情况，不同的电压会产生不同的通路进而有不同的输出，输出与需要的参数相符合即为良品。

优选的，所述pcb测试板上表面垫头的两侧均开设有圆角矩形状的结构槽，提高pcb测试板的结构强度，保证其可以稳定接收测试机将芯片的压入。

优选的，所述电压接头的内壁中固定安装有十字紧固条，提高电压输入线与电压接头连接的紧固程度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在确保测试支架仍可以实现上下和左右调节的功能前提下，对其驱动方式和传动结构做出了改进，利用电气控制高精度的特点，在传动结构中结合转动与滑动结构，通过竖直微调组件控制检测组件的上下移动，通过水平微调组件控制检测组件的前后移动，两个方向的微调均可独立完成，用电动推杆代替人手驱动，大大提高了调节精度，满足微调控制在±1mm的调节范围。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型调节组件结构示意图；

图3为本实用新型检测组件结构示意图；

图4为图3中a处结构放大示意图。

图中：1、底板；2、侧板；3、控制箱；4、调节组件；41、竖直微调组件；411、第一电动推杆；412、第一夹头；413、第一滑轨；414、第一滑块；415、第一通槽；42、水平微调组件；421、第二电动推杆；422、第二夹头；423、第二滑轨；424、第二滑块；425、第二通槽；426、连接柱；43、第一球头；44、连接杆；45、第二球头；46、第三球头；47、限位板；48、平衡组件；481、第三滑轨；482、第三滑块；483、底座；484、连接板；485、滑柱；486、弹簧；5、检测组件；51、安装架；52、pcb测试板；53、电压接头；54、插座；55、针脚；56、垫头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，图示中的一种半导体芯片微调测试装置，包含底板1、侧板2、控制箱3及检测组件5，所述底板1的一侧固定安装有侧板2，且底板1远离侧板2的一侧设有检测组件5，所述底板1的上表面上固定安装有控制箱3，所述底板1与侧板2间设有具有双向微调结构的调节组件4。

请参阅图2，所述调节组件4包括竖直微调组件41、水平微调组件42、第一球头43、连接杆44、第二球头45、第三球头46、限位板47及平衡组件48，所述底板1与侧板2间分别设有竖直微调组件41和水平微调组件42，所述连接杆44穿插在竖直微调组件41及水平微调组件42中，且连接杆44靠近竖直微调组件41及水平微调组件42的输入端一侧固定安装有第一球头43，所述连接杆44的中心处固定安装有第二球头45，所述底板1上表面中心处固定安装有限位板47，且第二球头45转动连接在限位板47的中心处，所述连接杆44远离第一球头43的一端固定安装有第三球头46，所述底板1上表面靠近第三球头46一侧固定安装有平衡组件48，利用转动与滑动结构的结合，可以通过竖直微调组件41控制检测组件5的上下移动，通过水平微调组件42控制检测组件5的前后移动，两个方向的微调均可独立完成，且采用的是电气结构驱动，可以确保具有足够的调节精度。

请参阅图2，所述竖直微调组件41包括第一电动推杆411、第一夹头412、第一滑轨413、第一滑块414及第一通槽415，所述侧板2的内侧转动连接有第一电动推杆411，且第一电动推杆411的输出端上固定安装有第一夹头412，所述第一电动推杆411与控制箱3电性连接，所述底板1靠近限位板47的一侧固定安装有第一滑轨413，且第一滑轨413中滑动连接有第一滑块414，所述第一滑轨413远离第一滑块414的一侧开设有第一通槽415，且连接杆44穿插经过第一通槽415，保持第二电动推杆421不动，利用第一电动推杆411的伸缩会推动连接杆44发生摆动，连接杆44的摆动会驱使第二球头45在竖直方向上发生转动，此时第三球头46受到挤压保持静止，这样就会驱使第一滑块414与其相连部位相对第一滑轨413在竖直方向上滑动，即完成对检测组件5竖直方向上的微调。

请参阅图2，所述水平微调组件42包括第二电动推杆421、第二夹头422、第二滑轨423、第二滑块424、第二通槽425及连接柱426，所述侧板2的内侧转动连接有第二电动推杆421，且第二电动推杆421的输出端上固定安装有第二夹头422，所述第二电动推杆421与控制箱3电性连接，所述第二夹头422通过第一球头43与第一夹头412转动连接，所述第一滑块414远离第一滑轨413的一侧固定连接有第二滑轨423，且第二滑轨423中滑动连接有第二滑块424，所述第二滑轨423远离第二滑块424的一侧开设有第二通槽425，且连接杆44穿插经过第二通槽425，所述第二滑块424远离第二滑轨423一侧的四角处均固定安装有连接柱426，且连接柱426远离第二滑块424的一端与检测组件5的安装部位固定连接，所述第二滑块424中心处与第三球头46转动连接，保持第一电动推杆411不动，利用第二电动推杆421的伸缩会推动连接杆44发生摆动，连接杆44的摆动会驱使第三球头46在水平方向上发生转动，此时第二球头45受到挤压保持静止，这样就会驱使第二滑块424与其相连部位相对第二滑轨423在水平方向上滑动，即完成对检测组件5水平方向上的微调。

请参阅图2，所述平衡组件48包括第三滑轨481、第三滑块482、底座483、连接板484、滑柱485及弹簧486，所述底板1上表面远离侧板2的一侧固定安装有第三滑轨481，且第三滑轨481中滑动连接有第三滑块482，所述第三滑块482上表面对称地固定安装有底座483，所述底座483的上表面上固定安装有滑柱485，所述检测组件5的安装部位远离连接柱426的一侧固定安装有连接板484，所述滑柱485与连接板484滑动穿插，所述连接板484的下表面与底座483间固定安装有弹簧486，如图2所示，检测组件5的主要作用部位位于其上半部分，因此在进行对其位置的微调时就需要对检测组件5的下半部分作出平衡，第三滑块482在第三滑轨481上的滑动可以平衡水平方向上的微调，而滑柱485相对连接板484的滑动则可以平衡竖直方向上的微调，弹簧486可以确保平衡组件48内竖直方向具有伸缩性，完善平衡组件48的平衡性能。

请参阅图2，所述第一夹头412与第二夹头422间对称地配合有紧固螺栓，从而可以保证第一夹头412与第二夹头422的连接紧固，避免第一球头43转动使其连接松动。

请参阅图3，所述检测组件5包括安装架51、pcb测试板52、电压接头53、插座54、针脚55及垫头56，所述连接柱426远离第二滑块424的一端固定安装有安装架51，所述安装架51的上表面固定安装有pcb测试板52，且pcb测试板52上表面的两侧对称地固定安装有插座54，所述插座54内固定安装有针脚55，所述pcb测试板52上插座54间等距固定安装有垫头56，且pcb测试板52一侧对称地固定安装有电压接头53，所述电压接头53与针脚55相连通，对好位置后测试时，测试机需要将芯片压入pcb测试板52上的插座54的凹槽内，使芯片上的触点与插座54的针脚55相连，插座54上的针脚55与pcb电路板的触点相连，此时形成通路，然后在pcb测试板52上输入一定电压查看输出的情况，不同的电压会产生不同的通路进而有不同的输出，输出与需要的参数相符合即为良品。

请参阅图3，所述pcb测试板52上表面垫头56的两侧均开设有圆角矩形状的结构槽，提高pcb测试板52的结构强度，保证其可以稳定接收测试机将芯片的压入。

请参阅图4，所述电压接头53的内壁中固定安装有十字紧固条，提高电压输入线与电压接头53连接的紧固程度。

本方案中，一种半导体芯片微调测试装置的使用原理如下；首先利用转动与滑动结构的结合对检测组件5进行微调，在竖直微调中，保持第二电动推杆421不动，利用第一电动推杆411的伸缩会推动连接杆44发生摆动，连接杆44的摆动会驱使第二球头45在竖直方向上发生转动，此时第三球头46受到挤压保持静止，这样就会驱使第一滑块414与其相连部位相对第一滑轨413在竖直方向上滑动，即完成对检测组件5竖直方向上的微调，而在水平微调中，保持第一电动推杆411不动，利用第二电动推杆421的伸缩会推动连接杆44发生摆动，连接杆44的摆动会驱使第三球头46在水平方向上发生转动，此时第二球头45受到挤压保持静止，这样就会驱使第二滑块424与其相连部位相对第二滑轨423在水平方向上滑动，即完成对检测组件5水平方向上的微调，两个方向上的微调均可独立完成，第一电动推杆411及第二电动推杆421的进给量通过控制箱3控制，控制箱3类似现有的变频控制柜，另外，如图2所示，检测组件5的主要作用部位位于其上半部分，因此在进行对其位置的微调时就需要对检测组件5的下半部分作出平衡，第三滑块482在第三滑轨481上的滑动可以平衡水平方向上的微调，而滑柱485相对连接板484的滑动则可以平衡竖直方向上的微调，弹簧486可以确保平衡组件48内竖直方向具有伸缩性，完善平衡组件48的平衡性能，完成微调后进行测试，测试机需要将芯片压入pcb测试板52上的插座54的凹槽内，使芯片上的触点与插座54的针脚55相连，插座54上的针脚55与pcb电路板的触点相连，此时形成通路，然后在pcb测试板52上输入一定电压查看输出的情况，不同的电压会产生不同的通路进而有不同的输出，输出与需要的参数相符合即为良品。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包含”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包含一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包含那些要素，而且还包含没有明确列出的其他要素，或者是还包含为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。