苏玛罐自动进样系统的制作方法

1.本技术涉及半导体集成电路制造设置，尤其涉及一种苏玛罐自动进样系统。


背景技术：

2.在半导体集成电路制造中，苏玛罐自动进样系统是常用设备，其是洁净室氛围气中总挥发性有机物的采集分析样品的关键机台，清罐仪是其附属机台，主要用于清洗苏玛罐，并且将清洁好的苏玛罐抽至负压状态。清罐仪通常通过管路连接苏玛罐，因此连接清罐仪与苏玛罐的管路是否可靠工作(如不漏气)对于玛罐自动进样系统能否正常工作至关重要。


技术实现要素：

3.本技术在于提供一种苏玛罐自动进样系统，包括：苏玛罐，用于存储采集分析样品；清罐仪，清罐仪用于清洗苏玛罐，并且将清洁好的苏玛罐抽至负压状态，清罐仪包括一侧壁；第一管路部分，第一管路部分包括多个第一管路，且多个第一管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，用于将清罐仪内的物质引出；第一阀门部分，第一阀门部分包括多个第一阀门，且多个第一阀门与多个第一管路的第二端一一对应连接；第二管路部分，第二管路部分包括多个第二管路，且多个第二管路的第一端与多个第一阀门一一对应连接，多个第二管路的第二端用于连接苏玛罐，其中多个第二管路的材质为pfa。
4.更进一步的，pfa为塑料。
5.更进一步的，pfa为全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物。
6.更进一步的，多个第一管路为不锈钢管路。
7.更进一步的，第一管路部分包括4个第一管路，第一阀门部分包括4个第一阀门，第二管路部分包括4个第二管路，4个第一管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，4个第一阀门与4个第一管路的第二端一一对应连接，4个第二管路的第一端与4个第一阀门一一对应连接。
8.更进一步的，多个第一阀门为常开状态，当第一阀门连接的第一管路和第二管路构成的子输送通道出现遗漏现象时，对应的第一阀门关闭。
9.更进一步的，还包括第二输送通道，第二输送通道包括：第三管路部分，第三管路部分包括多个第三管路，且多个第三管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，用于将清罐仪内的物质引出；第二阀门部分，第二阀门部分包括多个第二阀门，且多个第二阀门与多个第三管路的第二端一一对应连接；第四管路部分，第四管路部分包括多个第四管路，且多个第四管路的第一端与多个第二阀门一一对应连接，多个第四管路的第二端用于连接苏玛罐，其中多个第四管路的材质为pfa。
10.更进一步的，多个第三管路为不锈钢管路。
11.更进一步的，第二管路部分包括4个第三管路，第二阀门部分包括4个第二阀门，第四管路部分包括4个第四管路，4个第三管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，4个第二阀门与4个第三管路的第二端一一对应连接，4个第四管路的第一端与4个第二阀门一一对应连接。
12.更进一步的，多个第二阀门为常开状态，当与第二阀门连接的第三管路和第四管路构成的子输送通道出现遗漏现象时，对应的第二阀门关闭。
附图说明
13.图1为本技术一实施例的苏玛罐自动进样系统结构示意图。
具体实施方式
14.下面将结合附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
15.应当理解，本技术能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本技术的范围完全地传递给本领域技术人员。在附图中，为了清楚，层和区的尺寸以及相对尺寸可能被夸大，自始至终相同附图标记表示相同的元件。应当明白，当元件或层被称为“在
…
上”、“与
…
相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在
…
上”、“与
…
直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本技术教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。
16.空间关系术语例如“在
…
下”、“在
…
下面”、“下面的”、“在
…
之下”、“在
…
之上”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在
…
下面”和“在
…
下”可包括上和下两个取向。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。
17.在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本技术的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。
18.本技术一实施例中，在于提供一种，本技术一实施例的苏玛罐自动进样系统。具体的，请参阅图1，图1为本技术一实施例的苏玛罐自动进样系统结构示意图，如图1所示，本技术一实施例的苏玛罐自动进样系统包括：
19.苏玛罐110，用于存储采集分析样品；
20.清罐仪120，清罐仪120用于清洗苏玛罐110，并且将清洁好的苏玛罐110抽至负压状态，清罐仪120包括一侧壁121；
21.第一管路部分130，第一管路部分130包括多个第一管路131，且多个第一管路131的第一端均连接清罐仪120的侧壁121，用于将清罐仪120内的物质引出；
22.第一阀门部分140，第一阀门部分140包括多个第一阀门141，且多个第一阀门141与多个第一管路131的第二端一一对应连接；
23.第二管路部分150，第二管路部分150包括多个第二管路151，且多个第二管路151的第一端与多个第一阀门141一一对应连接，多个第二管路151的第二端用于连接苏玛罐110，其中多个第二管路151的材质为pfa。
24.更进一步的，pfa为一种塑料。更具体的，pfa为全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物。
25.在一实施例中，多个第一管路131为不锈钢管路。
26.在一实施例中，第一管路部分130包括4个第一管路131，第一阀门部分140包括4个第一阀门141，第二管路部分150包括4个第二管路151，4个第一管路131的第一端均连接清罐仪120的侧壁121，4个第一阀门141与4个第一管路131的第二端一一对应连接，4个第二管路151的第一端与4个第一阀门141一一对应连接。
27.在一实施例中，多个第一阀门141为常开状态，当第一阀门连接的第一管路和第二管路构成的子输送通道出现遗漏(如漏气)现象时，对应的第一阀门141关闭。
28.如图1所示，四条气体管路从清罐仪侧壁伸出，四条气体管路互不连通，并分别连接一条pfa管，pfa管一头连接苏玛罐，另一头通过阀门与四条气体管路相连接。阀门正常情况下处于常开状态，一旦发生漏气则把该支路的阀门关掉，不影响其他三条管路使用。
29.如上所述，第一管路部分130、第一阀门部分140和第二管路部分150构成第一输送通道，多个第一管路131、多个第一阀门141与多个第二管路151一一对应连接而形成多个第一子输送通道，第一管路部分130与第二管路部分150之间设置有第一阀门部分140，并多个第一管路131的第一端均连接清罐仪120的侧壁121，也即多个第一管路131并行设置，如此在任意第一子输送通道出现遗漏(如漏气)现象时，均可将该第一子输送通道的阀门关闭，而不会影响其它子输送通道正常工作，另多个第二管路151的材质为pfa，其不易在重复连接苏玛罐清洗时拉扯损坏，使苏玛罐自动进样系统可靠性更高，且pfa管价格便宜，一根pfa管的价格为150美元，使用寿命为2年。如此，通过该方法可减少清罐仪气体管路的损耗且避免了某一个分支漏气导致整层漏气，机台无法使用的情况出现。应对紧急情况，提高苏玛罐的清洗效果，提高其循环利用率。实现机台uptime的提升，提升产能
30.更进一步的，在本技术一实施例中，苏玛罐自动进样系统还包括第二输送通道(图中未示出)，第二输送通道包括：第三管路部分，第三管路部分包括多个第三管路，且多个第三管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，用于将清罐仪内的物质引出；第二阀门部分，第二阀门部分包括多个第二阀门，且多个第二阀门与多个第三管路的第二端一一对应连接；第四管路部分，第四管路部分包括多个第四管路，且多个第四管路的第一端与多个第二阀门一一对应连接，多个第四管路的第二端用于连接苏玛罐，其中多个第四管路的材质为pfa。
31.在一实施例中，多个第三管路为不锈钢管路。
32.在一实施例中，第二管路部分包括4个第三管路，第二阀门部分包括4个第二阀门，
第四管路部分包括4个第四管路，4个第三管路的第一端均连接清罐仪的侧壁，4个第二阀门与4个第三管路的第二端一一对应连接，4个第四管路的第一端与4个第二阀门一一对应连接。
33.在一实施例中，多个第二阀门为常开状态，当与第二阀门连接的第三管路和第四管路构成的子输送通道出现遗漏(如漏气)现象时，对应的第二阀门关闭。
34.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。