一种通用型半导体探针测试治具的制作方法

文档序号:25970847发布日期:2021-07-23 14:18阅读:58来源:国知局
一种通用型半导体探针测试治具的制作方法

本实用新型涉及测试治具领域,特别涉及一种通用型半导体探针测试治具领域。



背景技术:

有许多治具之所以产生是因为商业的需要,因为有许多类型的治具是客制化的,某些是为了提高生产力、重复特定动作、或使工作更加精确,因为治具的设计基本上是建立于逻辑,类似的治具可能会因为使用于不同的时间和地点而分别产生,测试治具属于治具下面的一个类别,专门对产品的功能、功率校准、寿命、性能等进行测试、试验的一种治具。因其主要在生产线上用于产品的各项指标的测试,所以叫测试治具,例如需要对半导体探针进行测试,这时就需要一种通用型半导体探针测试治具。

如今的通用型半导体探针测试治具存在一些问题,现有的通用型半导体探针测试治具对半导体探针进行测试时无法对半导体探针进行有效的固定,这样探针易在测试时发生晃动导致测试不准确,同时现有的通用型半导体探针测试治具无法快速对多个探针的多项特性进行同时检测,鉴于此,我们提出一种通用型半导体探针测试治具。



技术实现要素:

本实用新型的主要目的在于提供一种通用型半导体探针测试治具,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

一种通用型半导体探针测试治具,包括底板,所述底板的背侧固定安装有固定板,所述底板的上表面开设有一号滑槽,所述固定板的正面开设有二号滑槽和三号滑槽,所述二号滑槽的内部固定安装有一号导轨,所述二号滑槽和三号滑槽的外延均设置有连接架,位于左侧的所述连接架的下方固定安装有尺寸测量头,位于右侧的所述连接架的下方固定安装有承载力测量头,所述固定板的背侧固定安装有驱动电机,所述驱动电机的输出端传动连接有齿轮,位于右侧的所述连接架的背侧固定安装有滑板,所述滑板的右侧固定安装有齿条,所述齿条与齿轮啮合传动,所述滑板的左侧固定安装有连接杆,所述连接杆的中部固定安装有一号套环,所述一号套环的内表面与一号导轨活动套接,这样将一号套环与滑板通过连接杆连接,一号套环在一号导轨的外表面滑动,在驱动电机的驱动下齿轮转动,空腔内部的齿轮与齿条啮合传动从而带动尺寸测量头和承载力测量头同时升降,可对不同工位的探针进行同时测量,大大减少了测量的时间,具有较好的通用性和较高的工作效率。

本实用新型进一步的改进在于,所述固定板的内部开设有空腔,所述空腔的内部且位于一号导轨的左侧固定安装有二号导轨,所述连接杆的左端固定安装有二号套环,所述二号套环的内表面与二号导轨活动套接。

本实用新型进一步的改进在于,所述固定板的正面固定安装有控制屏,所述控制屏的输出端与驱动电机电性连接。

本实用新型进一步的改进在于,所述底板的上表面设置有滑动支座,所述滑动支座的底部固定安装有滑动块,所述滑动块的外表面与一号滑槽滑动连接。

本实用新型进一步的改进在于,所述一号滑槽的内部固定安装有液压伸缩杆,所述液压伸缩杆的输出端与滑动块固定连接。

本实用新型进一步的改进在于,所述滑动支座的中部固定安装有多个中部限位套,所述中部限位套的内部固定安装有防滑套,所述滑动支座的尾部固定安装有多个尾套,所述尾套的内部固定安装有尾部固定垫,这样通过在滑动支座的上表面固定安装有中部限位套和尾套,而尾套的内表面固定安装有尾部固定垫,可对探针的尾部进行固定,中部限位套的内表面固定安装有防滑套,可对探针的中部进行固定,这样对多个探针进行稳固固定,防止在探测过程中探针脱落,同时具有较高的检测效率。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:

1、将一号套环与滑板通过连接杆连接,一号套环在一号导轨的外表面滑动,在驱动电机的驱动下齿轮转动,空腔内部的齿轮与齿条啮合传动从而带动尺寸测量头和承载力测量头同时升降,可对不同工位的探针进行同时测量,大大减少了测量的时间,具有较好的通用性和较高的工作效率。

2、通过在滑动支座的上表面固定安装有中部限位套和尾套,而尾套的内表面固定安装有尾部固定垫,可对探针的尾部进行固定,中部限位套的内表面固定安装有防滑套,可对探针的中部进行固定,这样对多个探针进行稳固固定,防止在探测过程中探针脱落,同时具有较高的检测效率。

附图说明

图1为本实用新型一种通用型半导体探针测试治具的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种通用型半导体探针测试治具的滑动支座整体示意图。

图3为本实用新型一种通用型半导体探针测试治具的固定板内部示意图。

图4为本实用新型一种通用型半导体探针测试治具的连接架结构示意图。

图中:1、底板;2、固定板;3、一号滑槽;4、液压伸缩杆;5、滑动支座;6、二号滑槽;7、三号滑槽;8、一号导轨;9、连接架;10、尺寸测量头;11、承载力测量头;12、控制屏;13、驱动电机;14、滑动块;15、尾套;16、尾部固定垫;17、中部限位套;18、防滑套;19、空腔;20、齿轮;21、齿条;22、滑板;23、连接杆;25、一号套环;26、二号导轨;27、二号套环。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“一号”、“二号”、“三号”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

实施例1

如图1-4所示,一种通用型半导体探针测试治具,包括底板1,底板1的背侧固定安装有固定板2,底板1的上表面开设有一号滑槽3,固定板2的正面开设有二号滑槽6和三号滑槽7,二号滑槽6的内部固定安装有一号导轨8,二号滑槽6和三号滑槽7的外延均设置有连接架9,位于左侧的连接架9的下方固定安装有尺寸测量头10,位于右侧的连接架9的下方固定安装有承载力测量头11,固定板2的背侧固定安装有驱动电机13,驱动电机13的输出端传动连接有齿轮20,位于右侧的连接架9的背侧固定安装有滑板22,滑板22的右侧固定安装有齿条21,齿条21与齿轮20啮合传动,滑板22的左侧固定安装有连接杆23,连接杆23的中部固定安装有一号套环25,一号套环25的内表面与一号导轨8活动套接。

在本实施例中,固定板2的内部开设有空腔19,空腔19的内部且位于一号导轨8的左侧固定安装有二号导轨26,连接杆23的左端固定安装有二号套环27,二号套环27的内表面与二号导轨26活动套接。

在本实施例中,固定板2的正面固定安装有控制屏12,控制屏12的输出端与驱动电机13电性连接。

通过本实施例可实现:将一号套环25与滑板22通过连接杆23连接,一号套环25在一号导轨8的外表面滑动,在驱动电机13的驱动下齿轮20转动,空腔19内部的齿轮20与齿条21啮合传动从而带动尺寸测量头10和承载力测量头11同时升降,可对不同工位的探针进行同时测量,大大减少了测量的时间,具有较好的通用性和较高的工作效率。

实施例2

如图1-4所示,一种通用型半导体探针测试治具,一种通用型半导体探针测试治具,包括底板1,底板1的背侧固定安装有固定板2,底板1的上表面开设有一号滑槽3,固定板2的正面开设有二号滑槽6和三号滑槽7,二号滑槽6的内部固定安装有一号导轨8,二号滑槽6和三号滑槽7的外延均设置有连接架9,位于左侧的连接架9的下方固定安装有尺寸测量头10,位于右侧的连接架9的下方固定安装有承载力测量头11,固定板2的背侧固定安装有驱动电机13,驱动电机13的输出端传动连接有齿轮20,位于右侧的连接架9的背侧固定安装有滑板22,滑板22的右侧固定安装有齿条21,齿条21与齿轮20啮合传动,滑板22的左侧固定安装有连接杆23,连接杆23的中部固定安装有一号套环25,一号套环25的内表面与一号导轨8活动套接。

在本实施例中,底板1的上表面设置有滑动支座5,滑动支座5的底部固定安装有滑动块14,滑动块14的外表面与一号滑槽3滑动连接。

在本实施例中,一号滑槽3的内部固定安装有液压伸缩杆4,液压伸缩杆4的输出端与滑动块14固定连接。

在本实施例中,滑动支座5的中部固定安装有多个中部限位套17,中部限位套17的内部固定安装有防滑套18,滑动支座5的尾部固定安装有多个尾套15,尾套15的内部固定安装有尾部固定垫16。

通过本实施例可实现:通过在滑动支座5的上表面固定安装有中部限位套17和尾套15,而尾套15的内表面固定安装有尾部固定垫16,可对探针的尾部进行固定,中部限位套17的内表面固定安装有防滑套18,可对探针的中部进行固定,这样对多个探针进行稳固固定,防止在探测过程中探针脱落,同时具有较高的检测效率。

需要说明的是,本实用新型为一种通用型半导体探针测试治具,在使用时,将控制屏12与外部电源连接,滑动支座5的上表面固定安装有中部限位套17和尾套15,而尾套15的内表面固定安装有尾部固定垫16,可对探针的尾部进行固定,中部限位套17的内表面固定安装有防滑套18,可对探针的中部进行固定,这样对多个探针进行稳固固定,然后液压伸缩杆4推动滑动块14在一号滑槽3内部滑动,将一号套环25与滑板22通过连接杆23连接,一号套环25在一号导轨8的外表面滑动,在驱动电机13的驱动下齿轮20转动,空腔19内部的齿轮20与齿条21啮合传动从而带动尺寸测量头10和承载力测量头11同时升降,尺寸测量头10对探针的尺寸进行测量,而承载力测量头11对探针的承载力进行测量,可对不同工位的探针进行同时测量,大大减少了测量的时间。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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