探针卡的制作方法

本发明涉及探针卡，更详细地，涉及2个以上的探针被引导板支承的探针卡的改良。

背景技术：

1、探针卡是用在形成于半导体晶片的半导体器件的电特性的检查中的检查装置，在布线基板设有与半导体器件上的电极焊盘分别接触的大量探针。在将进行测试信号的输入输出的测试仪装置与探针卡连接的基础上，使半导体晶片靠近探针卡来使探针的前端与半导体器件上的电极焊盘接触，经由探针以及布线基板使测试仪装置和半导体器件导通，从而来进行半导体器件的特性检查。

2、图17是表示现有的探针卡的一例的图(例如专利文献1)。在该探针卡中，具有卡止部31的探针300被引导板14支承。探针卡在布线基板10、11的下方设有引导板14、15，探针300在两引导板14、15的引导孔14h、15h插通，上端与形成于布线基板11的下表面的探针用电极11t接触，下端与形成于半导体晶片的上表面的电极焊盘接触。

3、探针300在比上侧的引导板14更上方具有使侧面突出的一对卡止部31。一对卡止部31使探针的对置的侧面分别突出来形成，探针300被支承，以使得不会从第1引导板14脱落。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：jp特开2018-44912号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、通过近年的微细加工技术的进步，半导体器件的电极焊盘窄间距化，与此相伴，对探针也要求窄间距化。若要使探针配置窄间距化，就需要缩短探针宽度或探针间隔。但若考虑对探针要求的电特性、机械强度，探针的截面积的减小中存在极限。因此，为了实现进一步的窄间距化，需要缩短探针间隔，与此相伴，也需要使卡止部31的突出量变短。

3、通过这样的窄间距化的进展，卡止部31的突出量不断靠近探针300与引导孔14h的间隙，若使突出量进一步缩短，卡止部31就有可能从引导孔14h脱落。

4、本发明鉴于上述的事情而提出，目的在于，提供一种探针卡，能将在引导板的引导孔插通的探针卡止在引导板以使得不会脱落，并且能以更窄间距配置。

5、用于解决课题的手段

6、本发明的第1实施方式的探针卡具备：2个以上的探针；第1引导板，其具有分别插通所述探针的2个以上的第1引导孔，所述探针相对于所述第1引导板倾斜配置，具有：卡止部，其使作为比所述第1引导板更上方的侧面的相对于所述第1引导板的角度成为锐角的第1方向侧的侧面突出，作为比所述探针的所述第1引导板更上方的侧面的相对于所述第1引导板的角度成为钝角的第2方向侧的侧面与所述卡止部的突出面相比，距所述探针的中心轴的距离更短。

7、通过使在第1引导孔插通的探针相对于第1引导板倾斜，使作为比第1引导板更上方的侧面的相对于第1引导板的角度成为锐角的第1方向侧的侧面突出来形成卡止部，由此，卡止部与第1引导孔周边的第1引导板的上表面对置，探针卡止在第1引导板。因此，不管探针宽度与第1引导孔的间隙的大小如何，都能减小卡止部的突出量，能以窄间距配置探针。进而，由于与第1方向侧相反侧、即作为比第1引导板更上方的侧面的相对于第1引导板的角度成为钝角的第2方向侧的侧面处于比卡止部的突出面更接近中心轴的距离，因此，能进一步以窄间距配置探针。

8、本发明的第2实施方式的探针卡在上述结构的基础上，所述探针还具有：偏移部，其使所述第2方向侧的侧面向所述卡止部侧偏移，相邻的2个所述探针配置成一方的所述卡止部与另一方的所述偏移部对置。

9、通过采用这样的结构，通过将2个以上的探针相邻配置，以使得一方的卡止部与另一方的偏移部对置，来使卡止部的突出方向和偏移部的偏移方向一致，能进一步以窄间距配置探针。此外，通过在第2方向侧的侧面形成偏移部，不管探针宽度与第1引导孔的间隙的大小如何，都能加大偏移量，能进一步以窄间距配置探针。

10、本发明的第3实施方式的探针卡在上述结构的基础上，所述偏移部的下表面形成于在所述探针的中心轴上比所述卡止部的下表面更下方。

11、通过采用这样的结构，抑制了卡止部的下端与比偏移部更下方的侧面接触，能以窄间距配置探针。

12、本发明的第4实施方式的探针卡在上述结构的基础上，所述偏移部的下表面的最外缘配置在比所述第1引导板的上表面更下方。

13、通过采用这样的结构，防止了卡止部的下端与比偏移部更下方的侧面接触，能以窄间距配置探针。

14、本发明的第5实施方式的探针卡在上述结构的基础上，所述偏移部的下表面构成为相对于所述探针的中心轴倾斜成越前往下方则偏移量越减少。

15、通过采用这样的结构，能抑制卡止部与比偏移部更下侧的侧面接触。此外，能抑制通过设置偏移部而给探针的电特性、机械强度带来的影响。

16、本发明的第6实施方式的探针卡在上述结构的基础上，还具备：布线基板，其配置于所述第1引导板的上方，具有所述探针的上端分别进行抵接的2个以上的探针用电极，所述偏移部是形成于与所述卡止部对置的侧面的凹部。

17、通过采用这样的结构，能拓宽探针的上端的宽度，能拓宽能使探针的上端与探针用电极接触的探针的倾斜角的范围，能使探针和探针用电极更可靠地导通。

18、本发明的第7实施方式的探针卡在上述结构的基础上构成为，所述偏移部的上表面的最外缘构成为形成于在所述探针的中心轴上比所述卡止部的上表面的最外缘更上方。

19、通过采用这样的结构，抑制了卡止部的上端与比偏移部更上方的侧面接触，能以窄间距配置探针。

20、本发明的第8实施方式的探针卡在上述结构的基础上构成为，所述偏移部的上表面相对于所述探针的中心轴倾斜成越前往上方则偏移量越减少。

21、通过采用这样的结构，能抑制卡止部与比偏移部更上侧的侧面接触。此外，能抑制通过设置偏移部而给探针的电特性、机械强度带来的影响。

22、本发明的第9实施方式的探针卡在上述结构的基础上构成为，还具备：第2引导板，其配置于所述第1引导板的下方，具有分别插通所述探针的2个以上的第2引导孔，所述第1引导孔以及所述第2引导孔配置于在所述探针所倾斜的方向上相对偏移的位置。

23、通过采用这样的结构，能使在第1引导孔插通的探针相对于第1引导板倾斜。

24、发明的效果

25、根据本发明，能提供一种探针卡，将在引导板的引导孔插通的探针卡止在引导板，以使得不会脱落，能以更窄间距配置。

技术特征：

1.一种探针卡，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，

6.根据权利要求2～5中任一项所述的探针卡，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，

8.根据权利要求6或7所述的探针卡，其特征在于，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的探针卡，其特征在于，

技术总结
本发明的目的在于，提供一种探针卡，将在引导板的引导孔插通的探针卡止在引导板以使得不会脱落，并且能以更窄间距配置。探针卡具备：2个以上的探针(200)；和具有分别插通探针(200)的2个以上的第1引导孔(14h)的第1引导板(14)，探针(200)相对于第1引导板(14)倾斜配置，具有：卡止部(21)，其使作为比第1引导板(14)更上方的侧面的相对于第1引导板(14)的角度成为锐角的第1方向(d1)侧的侧面(210)突出；和偏移部(22)，其使作为比第1引导板(14)更上方的侧面的相对于第1引导板(14)的角度成为钝角的第2方向(d2)侧的侧面(220)向卡止部侧(21)偏移，相邻的2个探针(220)配置成一方的卡止部(21)与另一方的偏移部(22)对置。

技术研发人员：森亲臣
受保护的技术使用者：日本电子材料株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12