磁传感器,磁编码器及透镜位置检测装置的制作方法

文档序号:26947307发布日期:2021-10-12 19:49阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种磁传感器,其特征在于:是检测含有与假想直线平行的第一方向的磁场分量的对象磁场的磁传感器,具有:第一电阻体至第四电阻体,被构成为各自的电阻值对应于所述磁场分量的强度而变化;被施加规定大小的电压的电源端口;与大地相连接的接地端口;第一输出端口;以及第二输出端口,所述第一电阻体和所述的第二电阻体被配置于第一区域内,且通过与所述第一输出端口相连接的第一连接点串联,所述第三电阻体和所述的第四电阻体被配置于第二区域内,且通过与所述第二输出端口相连接的第二连接点串联,在所述第一方向上所述第二区域的至少一部分位于与所述第一区域不同的位置,所述第一电阻体的与所述第一连接点的相反侧的端部,和所述第三电阻体的与所述第二连接点的相反侧的端部,与所述电源端口相连接,所述第二电阻体的与所述第一连接点的相反侧的端部,和所述第四电阻体的与所述第二连接点的相反侧的端部,与所述接地端口相连接,所述第一电阻体及所述第二电阻体,在与所述第一方向正交的第二方向上,配置于所述第三电阻体和所述第四电阻体之间。2.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于:从与所述第一方向及所述第二方向正交的第三方向观察到的所述第一电阻体的重心,和从所述第三方向观察到的所述第二电阻体的重心,位于以所述假想直线为中心的对称的位置,从所述第三方向观察到的所述第三电阻体的重心,和从所述第三方向观察到的所述第四电阻体的重心,位于以所述假想直线为中心的对称的位置。3.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于:从与所述第一方向及所述第二方向正交的第三方向观察到的所述第一电阻体及所述第三电阻体的组的重心,和从所述第三方向观察到的所述第二电阻体及所述第四电阻体的组的重心,位于以所述假想直线为中心的对称的位置。4.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于:所述第一电阻体至所述第四电阻体各自含有多个磁阻效应元件,所述多个磁阻效应元件各自含有:磁化固定层,其具有方向固定的磁化;自由层,其具有方向对应于所述磁场分量的方向及所述磁场分量的强度而能够变化的磁化;间隙层,其被配置于所述磁化固定层和所述自由层之间。5.根据权利要求4所述的磁传感器,其特征在于:所述第一电阻体及所述第三电阻体中含有的所述多个磁阻效应元件的各自的所述磁化固定层的磁化的方向,为第一磁化方向,所述第二电阻体及所述第四电阻体中含有的所述多个磁阻效应元件的各自的所述磁
化固定层的磁化的方向,为与第一磁化方向相反的第二磁化方向。6.根据权利要求4所述的磁传感器,其特征在于:所述第一电阻体的所述多个磁阻效应元件和所述第二电阻体的所述多个磁阻效应元件,配置于以所述假想直线为中心的对称的位置上,所述第三电阻体的所述多个磁阻效应元件和所述第四电阻体的所述多个磁阻效应元件,配置于以所述假想直线为中心的对称的位置上。7.根据权利要求4所述的磁传感器,其特征在于:所述多个磁阻效应元件各自还包含偏置磁场发生器,该偏置磁场发生器产生对所述自由层施加的、与所述第一方向相交的方向的偏置磁场。8.根据权利要求4所述的磁传感器,其特征在于:所述自由层具有易磁化轴方向面向与所述第一方向相交的方向的形状磁各向异性。9.根据权利要求4所述的磁传感器,其特征在于:所述间隙层为隧道势垒层。10.一种磁编码器,其特征在于:具有:权利要求1所述的磁传感器;以及产生所述对象磁场的磁场发生器,所述磁传感器和所述磁场发生器被构成为,所述磁场发生器相对于所述磁传感器的相对位置发生变化时,所述磁场分量的强度发生变化。11.根据权利要求10所述的磁编码器,其特征在于:还具有检测值生成电路,所述磁传感器,生成与所述第一输出端口的电位具有对应关系的第一检测信号,并且生成与所述第二输出端口的电位具有对应关系的第二检测信号,所述检测值生成电路基于所述第一检测信号与所述第二检测信号,生成与所述磁场发生器相对于所述磁传感器的相对位置具有对应关系的检测值。12.根据权利要求11所述的磁编码器,其特征在于:所述磁场发生器为,多组n极和s极按规定方向交替排列的磁刻度尺,所述第一检测信号和所述第二检测信号各自含有:以描绘出理想的正弦曲线的方式周期性变化的理想成分、和相当于所述理想成分的高次谐波的误差成分,所述第一电阻体至所述第四电阻体被构成为,所述第一检测信号的所述理想成分的相位和所述第二检测信号的所述理想成分的相位互相不同,且所述误差成分减小。13.一种透镜位置检测装置,其特征在于:是用于检测位置可变的透镜的位置的透镜位置检测装置,具备:权利要求1所述的磁传感器;以及和产生所述对象磁场的磁场发生器,所述透镜被构成为在所述第一方向上能够移动,所述磁传感器和所述磁场发生器被构成为,当所述透镜的位置变化时,所述磁场分量的强度也发生变化。14.根据权利要求13所述的透镜位置检测装置,其特征在于:
还具有检测值生成电路,所述磁传感器,生成与所述第一输出端口的电位具有对应关系的第一检测信号,并且生成与所述第二输出端口的电位具有对应关系的第二检测信号,所述检测值生成电路基于所述第一检测信号与所述第二检测信号,生成与所述透镜的位置具有对应关系的检测值。15.根据权利要求14所述的透镜位置检测装置,其特征在于:所述磁场发生器为多组n极和s极按规定方向交替排列的磁刻度尺,所述第一检测信号和所述第二检测信号各自含有:以描绘出理想的正弦曲线的方式周期性变化的理想成分、和相当于所述理想成分的高次谐波的误差成分,所述第一电阻体至所述第四电阻体被构成为,所述第一检测信号的所述理想成分的相位和所述第二检测信号的所述理想成分的相位互相不同,且所述误差成分减小。

技术总结
本发明的磁传感器具有第一至第四电阻体、电源端口、接地端口、第一输出端口和第二输出端口。第一电阻体和第二电阻体被配置于第一区域内,且通过与第一输出端口相连的第一连接点串联。第三电阻体和第四电阻体在与X方向平行的方向上,至少一部分被配置于与第一区域不同的第二区域内,且通过与第二输出端口相连的第二连接点串联。第一及第二电阻体在与Y方向平行的方向上,被配置于第三电阻体和第四电阻体之间。之间。之间。


技术研发人员:蔡永福 平林启 梅原刚
受保护的技术使用者:TDK株式会社
技术研发日:2021.04.08
技术公布日:2021/10/11
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