一种非晶贵金属RuO

技术特征：
1.一种非晶贵金属ruo
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/zno mems氢气传感器的制备方法，其特征在于包括有以下步骤：s1：将制备好的复合气敏材料和乙醇在玛瑙研钵中混合，研磨成糊状；s2：将所述糊状物涂在pt叉指电极上，在室温下自然干燥后得到电阻型传感器mems传感器；s3：将所述电阻型传感器mems传感器放置在带有加热电极和测试电极的底座上，随后将传感器的加热电压设置为1.5v，持续24小时；所述复合气敏材料的制备方法包括以下步骤：s10：在电磁搅拌下，将250mg～300mg rucl3·
xh2o水合物溶解在5毫升去离子水中，然后加入4～5g lioh
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h2o后形成溶液；s20：将所述溶液在搅拌下加热至85～90℃以蒸发水，并将蒸发后所得固体产物在静态空气中在350～410℃下煅烧2小时；s30：所述固体产物用去离子水和乙醇彻底洗涤并在60℃下干燥过夜后获得催化剂并标记为ruo
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；s40：将8～15mmolzn(ch3coo)2·
2h2o、5～12mmol六甲基四胺(hmt)和5mmol十二烷基硫酸钠(sds)溶解在20ml蒸馏水中，剧烈搅拌30分钟后，将溶液转移到50ml高压釜中，并在160～200℃下保持9～12小时；s50：所述高压釜冷却至室温后，将白色沉淀物离心，用乙醇和蒸馏水洗涤数次，60℃干燥过夜；s60：将所述沉淀物在空气气氛中以2℃/min的加热速率在500℃下煅烧2小时，得到zno纳米片；s70：将所述s30获得的ruo
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(0.5～2mg)分散到20ml乙醇中并与所述zno(100mg)混合后形成混合物；s80：将所述混合物用超声波处理1小时，然后在60～80℃下干燥8小时，最终得到ruo
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修饰的zno。

技术总结
本发明涉及氢气传感器技术领域，具体地说是一种非晶贵金属RuO


技术研发人员：徐甲强 罗娜
受保护的技术使用者：上海大学
技术研发日：2021.11.23
技术公布日：2022/3/11