双模态传感器及其数据处理方法

1.本公开涉及柔性器件领域，尤其涉及一种双模态传感器及其数据处理方法。


背景技术：

2.触觉一直是人类或者仿生机械获取外界信息的重要渠道。触觉传感器赋予仿生机械获取接触物材质信息的能力，协助其完成抓取、鉴别等功能。为了获取更加准确的信息，触觉传感器也从最初的单一传感逐步发展为多维传感，以期得到更加丰富的信息，协助仿生机械获取更加准确的信息。
3.在相关技术中，双模乃至多模传感器大多通过多个传感器拼凑集成实现，亦或者通过一个器件多个信号通道实现。这些处理一方面不是单个传感单元实现多模探测，另一方面电压和电流两种信号的采集运放电路机理不同，致使后端电路重复模块增加。此外，随着柔性电子科技的发展，使用人工电子皮肤赋予皮肤损伤病人触觉的可能性也显著提高。目前，感知接触物形变的传感器需要依托精密的力学控制，需要知道器件在宏观空间中相对位移。对于人或者特定机械来说，毫米级别的力学控制和自我认知是极难实现的。
4.目前柔性感知器件探测硬度时对于力学控制的要求较高，存在不适用于电子皮肤的局限性，因而，亟须一种对于空间位置依赖不高的，可实现单个元件同时探测两种信号的，用以材质识别的多模态触觉传感器。


技术实现要素：

5.(一)要解决的技术问题
6.有鉴于此，本公开的主要目的在于提供一种双模态传感器及其数据处理方法，以期至少部分地解决上述提及的技术问题中的至少之一。
7.(二)技术方案
8.鉴于上述问题，本公开提供了一种双模态传感器及一种双模态传感器的数据处理方法。
9.根据本公开的第一个方面，提供了一种双模态传感器，包括：活性层，设置于柔性衬底上；第一传感元件和第二传感元件，设置于上述活性层上；上述第二传感元件对称设置于上述第一传感元件两侧；上述第一传感元件和上述第二传感元件被配置为共用一个工作电极；填充层，设置于上述第一传感元件上，上述填充层的高度配置为上述第一传感元件和上述第二传感元件之间的高度差。
10.根据本公开的实施例，上述的双模态传感器，其中：上述第一传感元件包括：第一对电极，沿第一轴线设置于上述活性层上；上述第一对电极与上述工作电极通过上述活性层电性相连；上述第二传感元件包括：第二对电极，沿第一轴线设置于上述活性层上，且上述第二对电极对称设置于上述第一对电极两侧；上述第二对电极与上述工作电极通过上述活性层电性相连；上述工作电极沿第二轴线设置于上述活性层上，上述第一轴线与上述第二轴线相互平行。
11.根据本公开的实施例，上述的双模态传感器，其中：相邻上述第一对电极和上述第二对电极之间的距离大于上述第一对电极或上述第二对电极与上述工作电极之间的距离；或者相邻上述第二对电极之间的距离大于上述第一对电极或上述第二对电极与上述工作电极之间的距离。
12.根据本公开的实施例，上述的双模态传感器，其中：上述第一对电极和上述第二对电极的尺寸相同。
13.根据本公开的实施例，上述的双模态传感器，其中：相邻上述第一对电极和上述第二对电极之间的间距相等；或者，相邻上述第二对电极之间的间距相等。
14.据本公开的实施例，上述的双模态传感器，其中：上述第一传感元件的个数为一个，上述第二传感元件的个数为两个。
15.根据本公开的实施例，上述的双模态传感器，其中：上述柔性衬底的材料为聚乙酰亚胺；上述活性层材料为碲纳米线薄膜。
16.根据本公开的第二方面，提供了一种双模态传感器的数据处理方法，包括：以第一电压作用于第一传感元件，在第一时间点采集得到第一电流；以第二电压作用于第一传感元件，在第二时间点采集得到第二电流；其中，上述第一电压大于上述第二电压；当上述第一电压和上述第二电压之间的转换时间间隔小于上述双模态传感器的响应时间时，上述第一时间点和上述第二时间点对应的器件开路电压值和器件内部电阻值恒定，根据上述第一电压、上述第一电流、上述第二电压和上述第二电流，得到：
[0017][0018][0019]
其中：r为器件内部电阻值；v
therm
为热电电势；vh为第一电压；v
l
为第二电压；ih为第一电流；i
l
为第二电流。
[0020]
根据本公开的实施例，上述的数据处理方法，其中：当在第一时间点和第二时间点的信号采集时间间隔小于上述双模态传感器的响应时间时，相邻两个采样时间点对应的器件开路电压值和器件内部电阻值恒定。
[0021]
根据本公开的实施例，上述的数据处理方法，其中：还包括：使用上述双模态传感器触碰接触物体，在第一电压状态下，第一传感元件的输出电流为i1，第二传感元件的输出电流为i1’
、i2’…in’，获得参考数据：
[0022][0023]
其中：上述参考数据配置为上述接触物体的硬度信息。
[0024]
(三)有益效果
[0025]
基于上述技术方案，本公开相较于现有技术至少具有以下有益效果的其中之一或其中一部分：
[0026]
(1)本公开中在第一传感元件上添加填充层，形成第一传感元件和第二传感元件之间的高度差。当使用惯用力触碰物体时，会得到具有差异的数据集。
[0027]
(2)本公开在高电压状态下，通过采集电流信号，可达到判断物体硬度的目的，本公开不涉及空间位置信息，降低了对空间信息的要求，更加适用于电子皮肤。
[0028]
(3)本公开中通过采集电流信号，实现了通过单个第一传感元件同时输出热电电势和压阻两种信号。
[0029]
(4)本公开所用信号输出均为电流信号，可采用同一运放电路完成，简化了需分别处理电压信号和电流信号的采集运放电路机理。
[0030]
(5)本公开通过结构设计，设计第二对电极对称设置于第一对电极两侧，使得第二传感元件所受外部压力均值约等于对称中心所受压力，消除触碰物体时传感器小角度倾斜引起的误差，实现了相对于非对称单侧设置对电极的精度提高。
附图说明
[0031]
图1为本公开实施例中双模态触觉传感器的右视图；
[0032]
图2为本公开实施例中双模态触觉传感器的俯视图；
[0033]
图3a为本公开实施例中第一对电极一个，第二对电极n个的双模态触觉传感器的俯视图；
[0034]
图3b为本公开实施例中第一对电极m个，对电极2m个的双模态触觉传感器的俯视图；
[0035]
图3c为本公开实施例中第一对电极q个，对电极q+1个的双模态触觉传感器的俯视图；
[0036]
图4a为本公开实施例中第一传感元件的温差响应的iv曲线；
[0037]
图4b为本公开实施例中第一传感元件的压阻响应的iv曲线；
[0038]
图5为本公开实施例中数据采集设计中相邻高低电压下第一传感元件的iv响应曲线。
[0039]
图6为本公开实施例提供的双模态传感器第一传感元件和第二传感元件在接触不同硬度物体时，输出电流和压缩位移对应的曲线。
[0040]
【附图标记说明】
[0041]
100：柔性衬底
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
60q：第一对电极
[0042]
200：活性层
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
701：第二对电极
[0043]
301：第一传感元件
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
702：第二对电极
[0044]
401：第二传感元件
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
703：第二对电极
[0045]
402：第二传感元件
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
704：第二对电极
[0046]
501：填充层
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
70n-1：第二对电极
[0047]
502：填充层
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
70n：第二对电极
[0048]
50m：填充层
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
702m：第二对电极
[0049]
50q：填充层
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
70q+1：第二对电极
[0050]
601：第一对电极
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
800：工作电极
[0051]
602：第一对电极
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
9：第一轴线位置
[0052]
60m：第一对电极
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
10：二轴线位置
具体实施方式
[0053]
为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。
[0054]
本公开某些实施例于后方将参照所附附图做更全面性地描述，其中一些但并非全部的实施例将被示出。实际上，本公开的各种实施例可以许多不同形式实现，而不应被解释为限于此数所阐述的实施例；相对地，提供这些实施例使得本公开满足适用的法律要求。
[0055]
作为本公开的一个方面，提供了一种双模态传感器，其中，该双模态传感器包括活性层、柔性衬底、填充层、第一传感元件和第二传感元件。
[0056]
活性层，设置于柔性衬底上；
[0057]
第一传感元件和第二传感元件，设置于活性层上；第二传感元件对称设置于第一传感元件两侧；第一传感元件和第二传感元件被配置为共用一个工作电极；
[0058]
填充层，设置于第一传感元件上，填充层的高度配置为第一传感元件和第二传感元件之间的高度差。
[0059]
下面结合附图对本公开实施例的双模态传感器具体部件和结构做详细的说明。
[0060]
在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本公开，但是本公开能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本公开内涵的情况下做类似推广。因此本公开不受下面公开的具体实施的限制。
[0061]
图1为本公开实施例提供的双模态传感器的右视图。
[0062]
参照图1，本公开提供了一种双模态传感器，包括柔性衬底100、活性层200、第一传感元件301、第二传感元件401、第二传感元件402、填充层501。
[0063]
其中，活性层200置于柔性衬底100上，第一传感元件301、第二传感元件401、第二传感元件402置于活性层200上，第二传感元件401与第二传感元件402对称设置于上述第一传感元件301两侧，填充层501置于第一传感元件301上。
[0064]
根据本公开的实施例，第一传感元件301、第二传感元件401和第二传感元件402被配置为共用一个工作电极(图未示，下文说明)。
[0065]
根据本公开的实施例，活性层200采用具有热电性质和压阻性能的活性层，且该活性层200材料具有较好的均一性，以达到传感元件的响应效果近似相同，活性层200材料可选取但不限于碲纳米线阵列薄膜。
[0066]
根据本公开的实施例，柔性衬底100可以为适合电路加工和材料生长的柔性衬底，可选取但不限于聚乙酰亚胺(pi)。
[0067]
根据本公开的实施例，填充层501可以为近似于元件厚度，百微米级别，导热相对较好的材质。例如但不限于聚乙酰亚胺。
[0068]
根据本公开的实施例，填充层501置于第一传感元件301上，形成与第二传感元件401、第二传感元件402的高度差异，即引入第一传感元件301与第二传感元件401、第二传感元件402的固定位移差，当用惯用力去触碰物体时，可以得到具有差异的三组输出电流。
[0069]
根据本公开的实施例，第一传感元件包括：第一对电极，沿第一轴线设置于活性层上；第一对电极与工作电极通过活性层电性相连；第二传感元件包括：两个第二对电极，沿第一轴线设置于活性层上，且第二对电极对称设置于第一对电极两侧；第二对电极与工作电极通过活性层电性相连；工作电极沿第二轴线设置于活性层上，第一轴线与第二轴线相
互平行。
[0070]
图2为本发明实施例提供的双模态传感器的俯视图。
[0071]
参照图2，第一传感元件301包括第一对电极601以及与第一对电极601通过活性层200电性相连的工作电极800；第二传感元件401包括第二对电极701以及与第二对电极701通过活性层200电性相连的工作电极800；第二传感元件402包括第二对电极702以及与第二对电极702通过活性层200电性相连的工作电极800。
[0072]
其中，第一对电极601、第二对电极701、第二对电极702均沿第一轴线位置9设置于活性层200上，且第二对电极701与第二对电极702对称设置于第一对电极601的两侧，以消除器件小角度倾斜引起的误差；工作电极800沿第二轴线位置10设置于活性层200上，第一轴线位置9与第二轴线位置10相互平行。
[0073]
根据本公开的实施例，相邻第一对电极601和第二对电极701、702之间的距离大于第一对电极601或第二对电极701、702与工作电极800之间的距离。
[0074]
根据本公开的实施例，第一对电极601和第二对电极701、702的尺寸相同。
[0075]
根据本公开的实施例，第一对电极601的长度和第二对电极701、702的长度相同，第一对电极601的宽度和第二对电极701、702的宽度相同，第一对电极601的厚度和第二对电极701、702的厚度相同，以保证传感元件的性能相近，具体尺寸数据本公开不做具体限制。
[0076]
根据本公开的实施例，第一对电极601、第二对电极701、702和共用工作电极800可采用铜胶带等厚度均一的固体导电材料，具体电极材料本公开不做具体限制，但应避免使用蒸镀等直接在活性层上制备电极。
[0077]
根据本公开的实施例，第一传感元件的个数可以为一个，第二传感元件的个数可以为两个。
[0078]
根据本公开的实施例，参照图3a，第一对电极601的个数可以为一个，对应的填充层501为一个，对应的第二对电极701、....、70n-1、70n的个数为n个，其中，n为大于等于2的偶数。其中，第一对电极601与第二对电极701、....、70n-1、70n均沿第一轴线位置9放置，第二对电极701、....、70n-1、70n成对称形式放置在第一对电极601两侧。设置为第一对电极601与相邻两个第二对电极701、....、70n-1、70n的距离为d，相邻两个第二对电极701、....、70n-1、70n的距离为d，第一对电极601与工作电极800之间的距离为c，第二对电极701、....、70n-1、70n与工作电极800之间的距离为c，设置为d大于c。
[0079]
为了达到简要说明的目的，如图2所示实施例中任何可作相同应用的技术特征叙述皆并于此，无需再重复相同叙述。
[0080]
根据本公开的实施例，参照图3b，第一对电极601、....、60m的个数也可以为m个，对应的填充层501、....、50m为m个，对应的第二对电极701、....、702m的个数为2m个，其中，m为大于等于1的整数。其中，第一对电极601、....、60m与第二对电极701、....、702m均沿第一轴线位置9放置，第二对电极701、....、702m成对称形式放置在第一对电极601、....、60m两侧。设置为第一对电极601、....、60m与相邻两个第二对电极701、....、702m的距离为d，相邻两个第二对电极701、....、702m的距离为d，第一对电极601、....、60m与工作电极800之间的距离为c，第二对电极701、....、702m与工作电极800之间的距离为c，设置为d大于c。
[0081]
为了达到简要说明的目的，如图2所示实施例中任何可作相同应用的技术特征叙
述皆并于此，无需再重复相同叙述。
[0082]
在本公开实施例提供了一种双模态传感器，参照图3c，第一对电极601、....、60q的个数也可以为q个，对应的填充层501、....、50q为q个，对应的第二对电极701、....、70q+1的个数为q+1个，其中，q为大于等于1的整数。其中，第一对电极601、....、60q与第二对电极701、....、70q+1均沿第一轴线位置9放置，第二对电极701、....、70q+1成对称形式放置在第一对电极601、....、60q两侧。设置为第一对电极601、....、60q与相邻两个第二对电极701、....、70q+1的距离为d，第一对电极601、....、60q与工作电极800之间的距离为c，第二对电极701、....、70q+1与工作电极008之间的距离为c，设置为d大于c，可减小第一对电极601、....、60q与第二对电极701、....、70q+1之间热电电势不同引起的小电流，可进一步减小硬度测量时的误差。
[0083]
为了达到简要说明的目的，如图2所示实施例中任何可作相同应用的技术特征叙述皆并于此，无需再重复相同叙述。
[0084]
作为本公开的另一个方面，还提供一种双模态传感器的制备方法。
[0085]
在以下描述以第一传感元件的个数为一个，第二传感元件的个数为两个的情况为例，在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本公开，但是本公开能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本公开内涵的情况下做类似推广。因此本公开不受下面公开的具体实施的限制。
[0086]
本公开提供了一种双模态传感器的制备方法，包括：
[0087]
在柔性衬底上生长一层均匀的活性层；
[0088]
在活性层的一侧引出工作电极，在另一侧引出第一对电极与第二对电极；
[0089]
在第一对电极以及其和工作电极的电性连接部分上层添加上层填充层。
[0090]
根据本公开的可选实施例提供了一种双模态传感器的制备方法，包括：
[0091]
在柔性衬底一侧上依次制备铬金属层、金金属层；
[0092]
在金金属层、柔性衬底上生长一层均匀的活性层；
[0093]
在生长好的活性层上旋涂一层su8，以起到支撑和绝缘作用；
[0094]
在底部具有金金属层的一侧引出工作电极，在另一侧引出第一对电极与第二对电极，第一对电极与第二对电极均放置在活性层上；
[0095]
在第一对电极以及其和工作电极的电性连接部分上层添加上层填充层。
[0096]
根据本公开的实施例，柔性衬底为适合电路加工和材料生长的柔性衬底，可选取但不限于聚乙酰亚胺(pi)。
[0097]
根据本公开的实施例，铬金属层和金金属层的长度均与工作电极的长度相同，铬金属层和金金属层的宽度均与工作电极的宽度相同。
[0098]
根据本公开的实施例，活性层采用具有热电性质和压阻性能的活性层，活性层材料可选取但不限于碲纳米线阵列薄膜。
[0099]
根据本公开的实施例，第二对电极成对称形式放置在第一对电极两侧，其中，第一对电极与相邻第二对电极的距离大于第一对电极与工作电极的距离；第一对电极与工作电极之间的距离和第二对电极与工作电极之间的距离相同。
[0100]
根据本公开的实施例，第一对电极与第二对电极的长、宽、高均相同。
[0101]
根据本公开的实施例，填充层为近似于元件厚度，百微米级别，导热相对较好的材
质。例如但不限于聚乙酰亚胺。
[0102]
作为本公开的另一个方面，还提供一种双模态传感器元件信号采集的数据处理方法，包括：
[0103]
以第一电压作用于第一传感元件，在第一时间点采集得到第一电流；
[0104]
以第二电压作用于第一传感元件，在第二时间点采集得到第二电流；其中，第一电压＞＞第二电压；
[0105]
当第一电压和第二电压之间的转换速度＞＞双模态传感器的响应速度时，第一时间点和第二时间点对应的器件开路电压值和器件内部电阻值恒定，根据第一电压、第一电流、第二电压和第二电流，得到：
[0106][0107][0108]
其中，r为器件内部电阻值；v
therm
为热电电势；vh为第一电压；v
l
为第二电压；ih为第一电流；i
l
为第二电流。
[0109]
下面结合附图对本公开实施例的双模态传感器结构做详细的说明。
[0110]
在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本公开，但是本公开能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本公开内涵的情况下做类似推广。因此本公开不受下面公开的具体实施的限制。
[0111]
图4a为本公开实施例中第一传感元件的温差响应的iv曲线；
[0112]
图4b本公开实施例中第一传感元件的压阻响应的iv曲线；
[0113]
图5为本公开实施例中数据采集设计中相邻高低电压下第一传感元件的iv响应曲线。
[0114]
根据本公开的实施例，采用具有热电和压阻性能的碲纳米线薄膜材料作为活性层，以表现出传感元件对不同温差的电势输出和不同压力下的电阻输出，如图4a、图4b所示。
[0115]
根据本公开的实施例，高电压与低电压之间的的转换时间间隔远小于器件对于温度的响应时间，例如但不限于高电压与低电压之间的转换时间间隔为20ms，器件对于温度的响应时间为2s。
[0116]
根据本公开的实施例，数据点的采集时间间隔远小于器件对于温度的响应时间，例如但不限于数据点的采集时间间隔为20ms，器件对于温度的响应时间为2s。假定相邻两个高低采样时间点对应的器件开路电压和内部电阻是恒定的，以第一电压vh作用于第一传感元件，在第一时间点采集得到第一电流ih，以第二电压v
l
作用于第一传感元件，在第二时间点采集得到第二电流i
l
，可得到该时间内器件的iv曲线，参照图5。
[0117]
根据本公开的实施例，第一电压与第二电压之间的差值作为第一差值；第一电流信号与第二电流信号之间的差值作为第二差值；第一电压与第一电流信号的乘积为第一乘积，第二电压与第二电流信号的乘积为第二乘积；第一乘积与第二乘积之间的差值为第三差值；第二电流信号与第一电流信号之间的差值为第四差值。第一差值与第二差值的比值
为元件输出的压阻信号，即电阻值r；第三差值与第四差值的比值为元件输出的第一传感元件内部电场强度即热电电势vtherm。
[0118]
根据本公开的实施例，参阅图5，曲线的斜率倒数为即电阻值r；曲线的截距为即热电电势vtherm。
[0119]
根据本公开的实施例，第一电压为高电压，第二电压为低电压，其中，高电压＞＞预期的热电电势＞低电压，高电压vh至少要比预期热电电势的最大值高一个数量级；低电压v
l
可取但不限于0v，最大可取预期热电电势同量级数值。
[0120]
作为本公开的再一个方面，还提供一种双模态传感器集成器件信号采集的数据处理方法，包括：
[0121]
使用双模态传感器触碰接触物体，在第一电压状态下，第一传感元件的输出电流为i1，第二传感元件的输出电流为i1’
、i2’
...i
n’，获得参考数据：
[0122][0123]
其中，参考数据配置为接触物体的硬度信息。
[0124]
下面结合附图对本公开实施例的双模态传感器的数据处理方法做详细的说明。
[0125]
在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本公开，但是本公开能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本公开内涵的情况下做类似推广。因此本公开不受下面公开的具体实施的限制。
[0126]
图6为本公开实施例提供的双模态传感器第一传感元件和第二传感元件在接触不同硬度物体时，输出电流和压缩位移对应的曲线。
[0127]
根据本公开的实施例，不同硬度的材料具有不同的应力应变曲线，通过本公开测量可以得到不同的电流和压缩位移的曲线，参照图6。
[0128]
根据本公开的实施例，在第一传感元件上添加填充层，形成第一传感元件和第二传感元件之间的高度差。当使用惯用力却触碰物体，会得到具有差异的数据集。
[0129]
在以下描述以第一传感元件的个数为一个，第二传感元件的个数为两个的情况为例，在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本公开，但是本公开能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本公开内涵的情况下做类似推广。因此本公开不受下面公开的具体实施的限制。
[0130]
在第一电压状态下，当使用本公开触碰接触物体时，由于在第一传感元件上添加填充层，形成第一传感元件和第二传感元件之间的高度差，会得到具有差异的三组数据集。第一传感元件的输出电流为i2，第二传感元件的输出电流为i1、i3，定义s为反映此时接触物硬度信息的参数。
[0131]
在以下描述以第一传感元件的个数为一个，第二传感元件的个数为n个的情况为例，在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本公开，但是本公开能够以多种不同于
在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本公开内涵的情况下做类似推广。因此本公开不受下面公开的具体实施的限制。
[0132]
在第一电压状态下，当使用惯用力去触碰接触物体时，由于在第一传感元件上添加填充层，形成第一传感元件和第二传感元件之间的高度差，会得到具有差异的数据集。第一传感元件的输出电流为i1，第二传感元件的输出电流为i1’
、i2’
...i
n’，定义s为反映此时接触物硬度信息的参数。
[0133]
根据本公开的实施例，将反映接触物硬度信息的参数s和第一传感元件的输出电流相关联处理，第一传感元件的输出电流为惯用力下产生的电流，通过机器迭代学习以得到更为准确的判定。
[0134]
根据本公开的实施例，结合i2反应传感器接触物硬度信息，不涉及空间位置信息。
[0135]
根据本公开的实施例，所需采集运放的信号均为电流值，可通过单个放大电路实现，无需电压信号的检测，以达到在电压和电流信号检测时，避免电路冲突和相互干扰的效果。
[0136]
至此，已经结合附图对本公开实施例进行了详细描述。需要说明的是，在附图或说明书正文中，未绘示或描述的实现方式，均为所属技术领域中普通技术人员所知的形式，并未进行详细说明。
[0137]
综上，本公开可用于没有精确力学的表面，借以实现接触物温度和压力的信息获取，区分物体，实现对外部信息的获取。
[0138]
还需要说明的是，实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，仅是参考附图的方向，并非用来限制本公开的保护范围。贯穿附图，相同的元素由相同或相近的附图标记来表示。在可能导致对本公开的理解造成混淆时，将省略常规结构或构造。
[0139]
并且图中各部件的形状和尺寸不反映真实大小和比例，而仅示意本公开实施例的内容。另外，在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。
[0140]
除非有所知名为相反之意，本说明书及所附权利要求中的数值参数是近似值，能够根据通过本公开的内容所得的所需特性改变。具体而言，所有使用于说明书及权利要求中表示组成的含量、反应条件等等的数字，应理解为在所有情况中是受到“约”的用语所修饰。一般情况下，其表达的含义是指包含由特定数量在一些实施例中
±
10％的变化、在一些实施例中
±
5％的变化、在一些实施例中
±
1％的变化、在一些实施例中
±
0.5％的变化。
[0141]
再者，单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。
[0142]
说明书与权利要求中所使用的序数例如“第一”、“第二”、“第三”等的用词，以修饰相应的元件，其本身并不意味着该元件有任何的序数，也不代表某一元件与另一元件的顺序、或是制造方法上的顺序，该些序数的使用仅用来使具有某命名的一元件得以和另一具有相同命名的元件能做出清楚区分。
[0143]
此外，除非特别描述或必须依序发生的步骤，上述步骤的顺序并无限制于以上所
列，且可根据所需设计而变化或重新安排。并且上述实施例可基于设计及可靠度的考虑，彼此混合搭配使用或与其他实施例混合搭配使用，即不同实施例中的技术特征可以自由组合形成更多的实施例。
[0144]
本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。并且，在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。
[0145]
类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个公开方面中的一个或多个，在上面对本公开的示例性实施例的描述中，本公开的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本公开要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如下面的权利要求书所反映的那样，公开方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本公开的单独实施例。
[0146]
以上的具体实施例，对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上仅为本公开的具体实施例而已，并不用于限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。