用于MEMS陀螺仪的防温漂装置的制作方法

用于mems陀螺仪的防温漂装置
技术领域
1.本实用新型涉及传感器领域，特别指一种用于mems陀螺仪的防温漂装置。


背景技术：

2.mems陀螺仪即微机电系统(microelectro mechanical systems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。具有尺寸小、能耗低、质量轻、价格低等优点，应用广泛，它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
3.但是，也正是因为mems陀螺仪的微型化、高精密的特点，其对环境的要求较高，陀螺仪结构尺寸、材料性质及检测电路中电子器件均会受温度影响。基于此，如何提高mems陀螺仪对环境的适应能力，成为了业内普遍研究的重点问题。例如公开号为cn109737944a所公开的中国发明专利公开说明书中提到一种具有嵌入式磁源的mems陀螺仪，包括质量块、驱动单元和检测单元，所述驱动单元位于质量块的x方向，所述检测单元包括蓄热器、导线和磁传感器，所述质量块位于衬底上方，所述蓄热器安装在质量块上且位于质量块底部，所述导线安装在蓄热器内，所述磁传感器安装在衬底上且位于衬底上端，通过磁传感器检测质量块在y方向的位移，测量准确，提高了角速度的精确性；蓄热器隔绝了通电导线产生的焦耳热，避免了质量块的形变、温漂及噪声。
4.上述方案一定程度上可以解决现有技术中mems陀螺仪对环境温度要求较高的问题，但是针对已经封装在pcb板上的陀螺仪就不适用，无法针对pcb板上已经封装的陀螺仪进行解决温漂的问题。


技术实现要素：

5.实用新型目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种能够可以根据pcb板上已经封装的mems陀螺仪进行温漂问题解决的防温漂装置。
6.技术方案：用于mems陀螺仪的防温漂装置，包括：
7.用以涂覆mems陀螺仪的隔热膜；
8.隔热罩，所述隔热罩的顶端与四周封闭并构成空腔，底端设有开口，所述开口包围mems陀螺仪设置，所述隔热罩内填充有气凝胶毡；
9.所述隔热膜至少部分地覆盖所述开口。
10.进一步地，所述隔热罩被设置为矩形壳体。
11.进一步地，所述隔热罩被设置为顶部为圆弧或半球形的壳体。
12.进一步地，所述隔热膜被设置为具备一定弹性并覆盖所述开口，在隔热罩被安装在所述mems陀螺仪上时，所述隔热膜发生弹性形变并完全覆盖所述mems陀螺仪。
13.进一步地，所述隔热罩为含有玻璃纤维的防静电树脂材料制成的。
14.进一步地，所述隔热罩用以被粘接或通过螺丝固定连接于pcb板上。
15.有益效果：本实用新型用于mems陀螺仪的防温漂装置，通过在隔热罩内填充气凝
胶毡，构成预制的蓄热容器，可以通过开口随时对pcb板上封装的mems陀螺仪进行加装配置，且通过隔热膜的设置形成双重隔热效果，且结构简单、成本低廉、易于制造。
附图说明
16.附图1为本实用新型用于mems陀螺仪的防温漂装置的一个实施例的剖视结构示意图；
17.附图2为图1所示防温漂装置的隔热罩部分立体结构示意图。
具体实施方式
18.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.需要说明的是，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
20.参见图1至图2所示的本实用新型清洁设备的一个实施例，包括:隔热膜5和隔热罩3。
21.隔热膜5优选地采用液态隔热膜，用以涂覆mems陀螺仪2的表面。所述隔热罩3的顶端与四周封闭并构成空腔，底端设有开口，所述开口包围mems陀螺仪2设置，所述隔热罩3内填充有气凝胶毡4。
22.所述隔热膜5至少部分地覆盖所述开口。本实用新型用于mems陀螺仪的防温漂装置，通过在隔热罩3内填充气凝胶毡4，构成预制的蓄热容器，可以通过开口随时对pcb板1上封装的mems陀螺仪2进行加装配置，且通过隔热膜5的设置形成双重隔热效果，且结构简单、成本低廉、易于制造。
23.在本实施例中，所述隔热罩3被设置为矩形壳体，结构较为简单，更加方便制造，降低生产成本。在其他实施例中，所述隔热罩3被设置为顶部为圆弧或半球形的壳体。形成沿mems陀螺仪2向隔热罩3各方向的距离相等，形成均匀的温度空间，防止出现单点或者个别区域的温度不同导致陀螺仪出现温漂问题。
24.作为对本实施例进一步地优化，所述隔热膜5被设置为具备一定弹性并覆盖所述开口，在隔热罩3被安装在所述mems陀螺仪2上时，所述隔热膜5发生弹性形变并完全覆盖所述mems陀螺仪2。如此，则形成了防温漂装置的模块化设置，在需要对mems陀螺仪2进行防温漂作业时，仅需将防温漂装置安装固定在mems陀螺仪2上即可。
25.在本实施例中，所述隔热罩3为含有玻璃纤维的防静电树脂材料制成的，不但提供较好的温度防护功能，也可以提供较大机械强度防止碰撞破损现象发生。优选地，所述隔热罩3用以被粘接或通过螺丝固定连接于pcb1板上。
26.需要注意的是，在本实施例中，隔热膜5四周分别与开口内侧固定连接。在其他实施例中，也可以采用先在mems陀螺仪2表面涂覆隔热膜5，再将装配有气凝胶毡4的隔热罩3固定在mems陀螺仪2上的方式，本实用新型不对装配方式和工艺做限制。
27.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.用于mems陀螺仪的防温漂装置，其特征在于，包括：用以涂覆mems陀螺仪的隔热膜；隔热罩，所述隔热罩的顶端与四周封闭并构成空腔，底端设有开口，所述开口包围mems陀螺仪设置，所述隔热罩内填充有气凝胶毡；所述隔热膜至少部分地覆盖所述开口。2.根据权利要求1所述的用于mems陀螺仪的防温漂装置，其特征在于：所述隔热罩被设置为矩形壳体。3.根据权利要求1所述的用于mems陀螺仪的防温漂装置，其特征在于：所述隔热罩被设置为顶部为圆弧或半球形的壳体。4.根据权利要求1所述的用于mems陀螺仪的防温漂装置，其特征在于：所述隔热膜被设置为具备一定弹性并覆盖所述开口，在隔热罩被安装在所述mems陀螺仪上时，所述隔热膜发生弹性形变并完全覆盖所述mems陀螺仪。5.根据权利要求1所述的用于mems陀螺仪的防温漂装置，其特征在于：所述隔热罩为含有玻璃纤维的防静电树脂材料制成的。6.根据权利要求5所述的用于mems陀螺仪的防温漂装置，其特征在于：所述隔热罩用以被粘接或通过螺丝固定连接于pcb板上。

技术总结
本实用新型公开了用于MEMS陀螺仪的防温漂装置，包括：用以涂覆MEMS陀螺仪的隔热膜；隔热罩，所述隔热罩的顶端与四周封闭并构成空腔，底端设有开口，所述开口包围MEMS陀螺仪设置，所述隔热罩内填充有气凝胶毡；所述隔热膜至少部分地覆盖所述开口。通过在隔热罩内填充气凝胶毡，构成预制的蓄热容器，可以通过开口随时对PCB板上封装的MEMS陀螺仪进行加装配置，且通过隔热膜的设置形成双重隔热效果，且结构简单、成本低廉、易于制造。易于制造。易于制造。


技术研发人员：王成均
受保护的技术使用者：深圳市云鼠科技开发有限公司
技术研发日：2021.04.19
技术公布日：2022/3/8