一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备的制作方法

1.本实用新型属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备。


背景技术：

2.随着电子产品的快速发展，电子市场对于晶圆的需求量日益增大，对晶圆的产品质量、产品规格、制备工艺等提出了更高的要求。
3.在晶圆的生产过程中，晶圆的检测过程是必不可少的，其往往关系着晶圆后续使用的可靠性和准确性。目前，针对晶圆检测的设备种类繁多，可以在一定程度上满足晶圆产品的检测过程。但是，现有技术中的晶圆检测设备往往型号较为单一、固定，大多只能针对性地检测某种晶圆的缺陷或者单一地检测晶圆某种缺陷，导致晶圆的检测效率较低，无法充分满足晶圆生产过程中多种阶段的检测，制约了晶圆检测的效率和成本。


技术实现要素：

4.针对现有技术的以上缺陷或改进需求中的一种或者多种，本实用新型提供了一种晶圆外观检测模组及晶圆外观检测设备，能同时实现2d相机和3d相机在检测模组上的应用，无需频繁更换设备上的检测模组便能实现晶圆多种缺陷的检测，提升晶圆检测设备的功能性和兼容性。
5.为实现上述目的，本实用新型的一个方面，提供一种晶圆外观检测模组，其包括支架；
6.所述支架包括第一安装板，该第一安装板的一侧设置有至少一个用于安装2d相机的2d相机安装架，且所述第一安装板上设置有至少一个所述2d相机。
7.作为本实用新型的进一步改进，在所述第一安装板背离所述2d相机安装架的一侧还设置有第二安装板；
8.所述第二安装板与所述第一安装板间隔设置，两者之间通过若干连接板连接，并在两者之间形成有用于3d相机安装的安装空间。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述2d相机安装架为对称设置的两个，并分别设置有相同的2d相机。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述2d相机安装架包括第一旋转板；
11.所述第一旋转板的一侧与所述第一安装板铰接设置，使得该第一旋转板和连接于该第一旋转板上的2d相机可相对所述第一安装板的板面进行旋转。
12.作为本实用新型的进一步改进，所述2d相机安装架还包括安装支板和用于2d相机安装的第二旋转板；
13.所述安装支板的一侧固定在所述第一旋转板上，且所述第二旋转板以其一侧铰接在该安装支板背离所述第一旋转板的一侧，使得第二旋转板以及安装于该第二旋转板上的2d相机可相对所述安装支板的板面进行旋转。
14.作为本实用新型的进一步改进，所述安装支板的板面垂直于所述第一旋转板的板面。
15.作为本实用新型的进一步改进，对应所述第一旋转板背离铰接位置的一端设置有连接件，使得该第一旋转板的自由端可与第一安装板限位连接；
16.和/或
17.对应所述第二旋转板背离铰接位置的一端设置有连接件，使得该第二旋转板的自由端可与安装支板限位连接。
18.作为本实用新型的进一步改进，所述第一安装板的底部设置有至少一个氮气吹嘴，用于对待测晶圆表面进行吹扫除尘。
19.作为本实用新型的进一步改进，对应所述氮气吹嘴在所述第一安装板的底部设置有灰尘收集装置，用于收集该氮气吹嘴吹起的灰尘。
20.本实用新型的另一个方面，提供一种晶圆外观检测设备，包括检测工位，所述检测工位上设置有所述的晶圆外观检测模组。
21.上述改进技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
22.总体而言，通过本实用新型所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有的有益效果包括：
23.(1)本实用新型的晶圆外观检测模组，其通过支架结构的对应设置，利用支架上第一安装板、第二安装板、2d相机安装架等结构的对应匹配，可实现2d相机和3d相机在晶圆外观检测模组上的同时设置，使得晶圆外观检测模组可以同时进行待测晶圆不同缺陷的检测，简化了晶圆的检测工序，避免了晶圆检测过程中的多次移动定位和检测模组的频繁更换，降低了晶圆检测的成本，提升了晶圆检测的效率和质量。
24.(2)本实用新型的晶圆外观检测模组，其通过第一安装板上多个2d相机安装架的同时设置，以及在2d相机安装架上对应设置第一旋转板和第二旋转板，利用第一旋转板与第一安装板之间、第二旋转板与安装支板之间的旋转连接，有效实现了2d相机在前后、左右方向上的旋转调整，提升了2d相机检测的调整范围，使得检测模组可以满足不同检测环境、不同检测对象下的晶圆检测，提升了检测模组的调节灵活性和兼容性，降低了晶圆检测设备的应用成本。
25.(3)本实用新型的晶圆外观检测模组，其通过支架上氮气吹嘴、灰尘收集装置等部件的对应设置，可准确实现晶圆检测时待测晶圆表面灰尘、杂质的清除，保证晶圆检测的准确性，并且进一步提升设备的集成化程度，减少额外设置工位的设计，优化晶圆检测设备内部工作空间的利用。
26.(4)本实用新型的晶圆外观检测模组，其结构简单，设置简便，能实现2d相机和3d相机的同时设置，满足待测晶圆的不同检测需求，避免了晶圆外观检测设备中检测模组的频繁更换和待测晶圆的多次移动定位，简化了晶圆外观检测的工序，提升了晶圆外观检测的效率和质量，降低了晶圆的生产和应用成本，具有较好的应用前景和推广价值。
附图说明
27.图1是本实用新型实施例中晶圆外观检测模组的支架结构示意图；
28.图2是本实用新型实施例中晶圆外观检测模组的整体结构示意图；
29.在所有附图中，同样的附图标记表示相同的技术特征，具体为：
30.1、第一安装板；2、2d相机安装架；3、第二安装板；4、连接板；5、氮气吹嘴；6、光源固定板；7、灰尘收集装置；8、2d相机；9、3d相机；
31.201、第一旋转板；202、安装支板；203、第二旋转板。
具体实施方式
32.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
33.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
34.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
35.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
37.实施例：
38.请参阅图1和图2，本实用新型优选实施例中的晶圆外观检测模组包括支架结构和设置在支架结构上的检测单元，再通过将晶圆外观检测模组安装在对应的位移模组或者安装支架上，便可实现其在晶圆检测设备中的应用。
39.具体而言，在优选实施例中，晶圆外观检测模组的支架包括呈板状结构的第一安装板1，该第一安装板的1的一侧形成有用于2d相机8的安装区域，另一侧形成有用于3d相机9的安装区域。
40.更详细地，第一安装板1的一侧设置有多个2d相机安装架2，其包括第一旋转板201、安装支板202和第二旋转板203。其中，第一旋转板201的一侧与第一安装板1铰接设置，
两者优选通过转动轴连接，使得第一旋转板201可相对其一侧进行旋转，即改变第一旋转板201与第一安装板1之间的夹角，进而改变设置于该2d相机安装架2上的2d相机8的位置。
41.同时，优选实施例中的安装支板202以其一侧固定连接在第一旋转板201的板面上，并优选连接在靠近第一旋转板201转动轴的一端。优选地，安装支板202与第一旋转板201的板面垂直设置，如图1中所示。
42.其次，优选实施例中的第二旋转板203以其一端铰接在该安装支板202背离第一旋转板201的一侧，使得第二旋转板203可相对安装支板202进行旋转，使得第二旋转板203可从与安装支板202端面正对的位置旋转至与其端面平行或者重合的位置。相应地，第二旋转板203上间隔开设有多个连接孔，用于2d相机8的连接安装。
43.通过2d相机安装架2在第一安装板1一侧的对应设置，可以实现2d相机在支架上的快速设置，而第一旋转板201与第一安装板1之间的转动设置，使得2d相机8可进行第一安装板1延伸方向上的位置调整，即左右调整，记其为x方向上的位置调整；而第二旋转板203与安装支板202之间的转动设置，使得2d相机8可进行垂直于第一安装板1板面方向上的位置调整，即前后调整，记其为y方向上的位置调整。显然，通过2d相机安装架2的上述设置，不仅可以实现2d相机的安装，还可实现2d相机8设置后的位置调整。
44.优选地，为了实现2d相机8设置后的稳定性，优选实施例中对应第一旋转板201和/或第二旋转板203背离铰接端的一侧设置有连接件，使得第一旋转板201的活动端可对应连接在第一安装板1上，和/或第二旋转板203的活动端可对应连接在安装支板202上，保证2d相机8设置的稳定性和可靠性。
45.进一步地，在优选实施例中，第一安装板1一侧的2d相机安装架2为对应设置的多个，例如图1中所示的两个，可用于两个或者多个2d相机8在第一安装板1上的同时安装，满足待检晶圆的检测需求和复检需求。同时，多个2d相机安装架2上的2d相机8的结构形式可以相同，也可以不同，这可根据实际情况进行优选，在一个具体实施例中，第一安装板1上的2d相机安装架2为对称设置的两个，且两个2d相机安装架2上安装的2d相机8结构相同。
46.相应地，在第一安装板1上对应部分或者全部2d相机安装架2设置有光源固定板6，用于进行光源的安装，如图1中所示。同时，在第一安装板1的底部优选设置有氮气吹嘴5和灰尘收集装置7，前者用于对待测晶圆的表面进行吹气，后者用于对待测晶圆表面的灰尘进行收集处理。在优选实施例中，氮气吹嘴5与灰尘收集装置7相对设置，使得由氮气吹嘴5吹走的灰尘可刚好由灰尘收集装置7进行收集。
47.进一步地，优选实施例中第一安装板1背离2d相机安装架2一侧还设置有第二安装板3，用于3d相机9的安装。第二安装板3优选与第一安装板1平行间隔设置，两者之间以若干连接板4对应连接，并在两安装板之间形成3d相机9的固定空间，如图1中所示。
48.在优选实施例中，3d相机9可对应嵌设在两安装板之间，并对应连接在第二安装板3上，如图2中所示。
49.通过上述支架的对应设置，可以同时实现2d相机8、3d相机9在检测模组上的同时设置，满足待测晶圆不同缺陷的同时检测，避免了检测模组的频繁更换。而且，利用2d相机安装架2上对应旋转板的旋转设置，有效实现了2d相机8在前后、左右(即xy轴)方向上的对应调节，满足了检测模组不同的检测需求，使得检测模组的使用灵活性更强，兼容性更好。
50.在另一个具体实施例中，提供一种晶圆外观检测设备，其检测工位上设置有上述
晶圆外观检测模组，该模组可对应设置在x轴、y轴和/或z轴位移组件上，可对应实现x方向、y方向和/或z方向上的位移调整，即通过对应相机的运动来实现与待测晶圆的对位。当然，晶圆外观检测模组也可固定设置，而将待测晶圆吸附固定在对应的位移模组上，通过待测晶圆的运动来实现与对应相机的对位调整。
51.本实用新型中的晶圆外观检测模组，其结构简单，设置简便，能实现2d相机和3d相机的同时设置，满足待测晶圆的不同检测需求，避免了晶圆外观检测设备中检测模组的频繁更换和待测晶圆的多次移动定位，简化了晶圆外观检测的工序，提升了晶圆外观检测的效率和质量，降低了晶圆的生产和应用成本，具有较好的应用前景和推广价值。
52.本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。