一种老化测试柜及其机架结构的制作方法

1.本技术涉及半导体集成电路高低温老化测试技术领域，特别涉及一种老化测试柜及其机架结构。


背景技术：

2.半导体存储器有一定的失效概率，其失效概率与使用次数之间的关系符合浴缸曲线的特性，开始使用时存储器的失效概率高，当经过一定使用次数后失效概率大幅降低，直到接近或达到其使用寿命后，存储器的失效概率又会升高。至今无任何存储器制造商会忽略半导体存储器的失效问题，一般通过老化测试(test during burn-in，tdbi) 来加速存储器失效概率的出现，直接让其进入产品稳定期来解决该问题。半导体存储器老化测试的总体方案是给被测半导体存储器供给电源信号和测试信号，在高低温或常温下让被测半导体存储器连续不间断地工作设定的时间，此过程称为老化(burn-in)，由此来加速半导体存储器件的失效，筛选出良品。
3.在相关技术中，老化测试柜有两个温区，其中老化区放置老化测试板，以对芯片半导体进行高低温的测试，通常高低温为-10℃～150℃，业务区放置测试核心板，需要保持常温状态。经发明人研究发现，采用上述方法，依然存在诸多不足，例如：在进行高温测试时，老化区的高温会窜到业务区，影响业务区的操作；在进行低温测试时，在业务区会产生凝露。
4.相关的设备通常是为了满足数量少、种类多的半导体芯片测试而定制的设备，该设备放置的测试板卡数量较少，老化测试板卡安装在钣金架体上后采用手动工具进行插拔。
5.针对现在存储器芯片的高速、宽温度范围、大容量的老化测试需求，需要提供高生产率和低成本兼备的测试解决方案，测试设备中需要放置更多的老化测试板卡，每个老化测试板卡上需要放下尽可能多的测试芯片，同时多层老化测试板卡需要能更快完成插拔，以提高芯片老化测试的批量生产效率，现有半导体存储器老化测试箱与上述需求相比，都存在一定的差距和不足。


技术实现要素：

6.本技术实施例提供一种老化测试柜及其机架结构，以解决相关技术中在进行高温测试时，老化区的高温会窜到业务区，影响业务区的操作，在进行低温测试时，在业务区会产生凝露的问题，以及插拔效率低的问题。
7.第一方面，提供了一种老化测试柜的机架结构，其包括：
8.第一安装架，其用于竖直地组设于柜体内，并将所述柜体分隔成第一温区和第二温区；
9.第三安装架，其位于第一温区内，并用于安装老化测试板；
10.第二安装架，其位于第二温区内，并用于安装测试核心板；其中，
11.所述第一安装架上自上而下设有若干窗口以及若干水平布置的直通板，所述直通板一端用于对接测试核心板，另一端穿过所述窗口并用于对接老化测试板；以及，
12.自动插拔装置，所述自动插拔装置与所述第一安装架固定，并用于沿水平方向插拔老化测试板。
13.一些实施例中，在相邻的两个直通板之间、且于所述第一安装架侧壁上开设有进气口和出气口，相邻的两个直通板所形成的空间内设有第一加热器。
14.一些实施例中，所述第一安装架包括第一板以及两个相对且间隔布置的第二板，两个所述第二板的一端固定于所述第一板的同一壁面上，且所述第一板位于所述第一温区与第二板之间，所述窗口位于所述第一板上；
15.两个所述第二板中，其中一个所述第二板开设所述进气口，另一个所述第二板开设所述出气口。
16.一些实施例中，所述第一板靠近所述第一温区的壁面上可拆卸地安装有固定框，所述固定框上可拆卸地设有小背板，所述直通板与所述小背板对接，以连接老化测试板；其中，
17.所述固定框上开设有第三安装孔；
18.所述小背板上开设有第四安装孔，第三安装孔孔径不小于所述第四安装孔的孔径，且第二紧固件螺接于所述第四安装孔，并可以穿过所述第三安装孔，以抵接在所述第一板上。
19.一些实施例中，所述第二板上还设有多个第一定位销和第五安装孔，所述第一定位销与大背板上的定位孔对应，以进行定位，所述第五安装孔用于固定所述大背板，其中，所述大背板对接直通板，以使直通板与测试核心板相连接。
20.一些实施例中，所述自动插拔装置包括：
21.两个固定部，其间隔地布置于第一安装架的两侧，并与第一安装架固定连接；
22.两个移动机构，其分别可移动地组设于两个所述固定部上；
23.两个第三移动部，其分别可移动地组设于两个所述移动机构上；
24.第一驱动机构，其与两个所述第三移动部相连，并用于驱动所述第三移动部竖直运动，以与老化测试板连接或分离；
25.第二驱动机构，其与两个所述移动机构相连，并用于驱动所述移动机构运动，以使所述第三移动部与第一驱动机构在水平方向上发生相对运动，并插拔老化测试板。
26.一些实施例中，所述移动机构包括：
27.两个第一移动部，其分别可移动地组设于两所述固定部上，所述第一移动部的侧壁上开设有倾斜布置的第一条形孔；
28.两个第二移动部，其分别可移动地组设于两所述固定部上，且所述第二移动部上设有销体，所述销体穿设于其所在侧的第一移动部上的第一条形孔；
29.以及，两个第三移动部分别可移动地组设于两所述第二移动部上，所述第二驱动机构与两所述第一移动部相连，并用于驱动所述第一移动部竖直运动，并在第一条形孔和销体配合下，驱使第二移动部水平运动。
30.一些实施例中，两个所述第三移动部通过第一连接件连接，第一连接件上设有第一安装板，所述第一安装板上开设有第二条形孔，所述第二条形孔沿老化测试板的插拔方
向延伸；
31.所述第一驱动机构的第一伸缩驱动轴竖直穿设于所述第二条形孔，并可以在所述第二条形孔中沿老化测试板的插拔方向移动。
32.第二方面，提供了一种老化测试柜，其包括：
33.柜体；以及，
34.如上任一所述的老化测试柜的机架结构，第一安装架竖直地组设于柜体内。
35.一些实施例中，于第二温区中，且在所述柜体底部开设有入风口，所述柜体顶部开设有出风口；
36.在所述柜体内设有风扇组，所述风扇组包括若干第一风扇，第二安装架位于所述风扇组和所述入风口之间，所述第一风扇用于驱使气流从所述入风口进入第二温区内，并经测试核心板后，从所述出风口排出。
37.本技术提供的技术方案带来的有益效果包括：
38.本技术实施例提供了一种老化测试柜及其机架结构，进气口和出气口分别连接进气管道和出气管道，在进行高温测试时，通过进气管道经进气口，输入干燥气体(比如空气等)，以此将第一温区扩散至第一安装架的热气带走，防止因热气进入第二温区而影响业务区的操作；在进行低温测试时，开启第一加热器，从而提高第一安装架区域的温度，防止第一温区的冷气进入第二温区，从而避免在业务区产生凝露。
39.同时，相对于直接人工用手插拔，采用这种自动插拔设备，大大地减小了工人施加的作用力，减轻了工人的劳动量；由于老化测试板通常上下排布较多，相邻两个老化测试板之间的空间较小，不好容纳人手，所以采用该自动插拔设备，还可以方便地插拔，从而提高了工作效率。此外，本技术可以同时进行多个老化测试板的插拔，进一步地提高了工作效率。
附图说明
40.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
41.图1为本技术实施例提供的老化测试柜的一个视角示意图；
42.图2为本技术实施例提供的老化测试柜另一个视角示意图；
43.图3为本技术实施例提供的第一安装架与老化测试板布置示意图；
44.图4为本技术实施例提供的第一安装架的第一个视角示意图；
45.图5为本技术实施例提供的第一安装架的第二个视角示意图；
46.图6为本技术实施例提供的第一安装架安装有直通板示意图；
47.图7为本技术实施例提供的第一加热器安装示意图；
48.图8为本技术实施例提供的第一安装架的第三个视角示意图；
49.图9为图8中a处局部示意图；
50.图10为图8中b处局部示意图；
51.图11为本技术实施例提供的自动插拔设备与第一安装架的布置图；
52.图12为本技术实施例提供的固定部、第一移动部、第二移动部和第三移动部之间的装配示意图；
53.图13为本技术实施例提供的自动插拔设备示意图；
54.图14为本技术实施例提供的第一驱动机构的一个视角示意图；
55.图15为本技术实施例提供的第一驱动机构另一个视角示意图；
56.图16为本技术实施例提供的第二温区散热示意图。
57.图中：1、柜体；2、第一安装架；20、窗口；21、直通板；210、安装条；211、第二安装孔；212、第一紧固件；213、第一限位块； 22、进气口；23、出气口；24、第一加热器；25、第一板；250、第一安装孔；26、第二板；260、第一导槽；261、第一定位销；262、第五安装孔；27、第三板；3、老化测试板；30、固定框；31、小背板；310、第四安装孔；311、第二紧固件；312、防撞条；313、第六安装孔；32、第一卡勾槽；4、测试核心板；5、自动插拔装置；50、固定部；500、第四板；501、第五板；51、第一移动部；510、第一条形孔；511、第二连接件；512、第三连接件；513、导向轴；514、直线轴承；515、加强板；52、第二移动部；520、凸轮随动器；53、第三移动部；530、第一卡勾；531、第一连接件；532、第一安装板； 533、第二条形孔；534、第六板；535、第一垫片；54、第一驱动机构；540、第一伸缩驱动轴；541、探针；55、第二驱动机构；550、第二伸缩驱动轴；56、限位传感器。
具体实施方式
58.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
59.参见图1～图11所示，本技术实施例提供的一种老化测试柜的机架结构，该老化测试柜包括一柜体1，机架结构包括第一安装架2、第二安装架6、第三安装架7和自动插拔装置5，第一安装架2竖直地组设于柜体1的隔热区内，并将柜体1分隔成两个温区，其中第三安装架7位于第一温区，并用于安装老化测试板3，第二安装架6位于第二温区，并用于安装测试核心板4，第一安装架2上自上而下设有若干窗口20以及若干水平布置的直通板21，一个直通板21对应一个窗口20，直通板21一端用于对接测试核心板4，另一端穿过窗口20并用于对接老化测试板3；在相邻的两个直通板21之间、且于第一安装架2侧壁上开设有进气口22和出气口23，相邻的两个直通板21所形成的空间内设有第一加热器24。此外，自动插拔装置5与第一安装架2固定，并且可以用来沿水平方向插拔老化测试板3。
60.在本实施例中，进气口22和出气口23分别连接进气管道和出气管道，在进行高温测试时，通过进气管道经进气口22，输入干燥气体(比如空气等)，以此将第一温区扩散至第一安装架2的热气带走，防止因热气进入第二温区而影响业务区的操作；在进行低温测试时，开启第一加热器24，从而提高第一安装架2区域的温度，防止第一温区的冷气进入第二温区，从而避免在业务区产生凝露。
61.同时，相对于直接人工用手插拔，采用这种自动插拔设备，大大地减小了工人施加的作用力，减轻了工人的劳动量；由于老化测试板通常上下排布较多，相邻两个老化测试板之间的空间较小，不好容纳人手，所以采用该自动插拔设备，还可以方便地插拔，从而提高
了工作效率。此外，本技术可以同时进行多个老化测试板的插拔，进一步地提高了工作效率。
62.参见图4和图5所示，在一些优选的实施方式中，第一安装架2 包括第一板25以及两个相对且间隔布置的第二板26，两个第二板26 的一端固定于第一板25的同一壁面上，且第一板25位于第一温区与第二板26之间，窗口20位于第一板25上，采用第一板25和第二板26进行拼装而成，不仅制造方便、造价便宜，而且重量小，便于运输和转移；两个第二板26中，其中一个第二板26开设进气口22，另一个第二板26开设出气口23，为了便于管理，所有的进气口22 开设在其中一个第二板26上，所有的出气口23开设在另外的一个第二板26上。
63.参见图5、图6和图7所示，在一些优选的实施方式中，在两个第二板26上，自上而下设有若干第一导槽260，两个第二板26上的第一导槽260一一对应，直通板21的两端分别可移动地连接在两个第二板26的第一导槽260上，通过第一导槽260，可以非常方便地对直通板21进行插拔操作。
64.可选的方式，可以在直通板21两端设置滚轮，滚轮在第一导槽 260内滚动，相比于滑动方式，滚动方式摩擦阻力更小。当然也可以在第一导槽260内设置滚轮，直通板21的端部在滚轮上滚动。
65.可选的方式，导槽结构可以设置在直通板21上，而在第二板26 上设置导轨，通过导槽结构与导轨的配合，实现直通板21的插拔。
66.参见图7、图8和图9所示，在一些优选的实施方式中，第一板 25靠近第一温区的壁面上开设有第一安装孔250，直通板21上设置有安装条210，安装条210位于直通板21与第二板26相对的端面上，安装条210可以在第一导槽260内滑动，以实现直通板21的插拔；安装条210的末端朝该安装条210所在侧的第二板26延伸并形成延伸部，延伸部上开设有第二安装孔211，第二安装孔211孔径大于第一安装孔250孔径，且第一紧固件212穿过第二安装孔211并螺接于第一安装孔250上，以使直通板21固定于第一板25上。
67.在安装时，直通板21沿第一温区向第二温区方向，经对应的窗口20，通过两端的安装条210滑入对应的第一导槽260，直至第二安装孔211与对应的第一安装孔250对准，第一紧固件212可以穿过第二安装孔211，然后螺接在第一安装孔250上，第一紧固件212的端头贴紧或抵持延伸部，从而将直通板21固定在第一板25上；由于直通板21是与大背板对接，通过大背板与测试核心板4相连接，当需要将直通板21从大背板上拔下时，先将第一紧固件212取下，然后使用与第二安装孔211相适配的螺杆，将螺杆螺接在第二安装孔211 上，由于螺杆与第二安装孔211相适配，故螺杆直径大于第一安装孔 250孔径，螺杆便会抵接在第一板25上，在施拧螺杆的过程中，驱使直通板21朝第一温区移动，从而实现拔取直通板21的目的，因为老化测试板3等零部件的存在，使得操作空间狭小，相对于直接用手拔取，这种方法较为省力，操作也方便。
68.参见图5所示，第二板26上还设有多个第一定位销261和第五安装孔262，第一定位销261与大背板上的定位孔对应，以便于大背板安装在第二板26上时进行定位，第五安装孔262用于固定大背板，其中，大背板用于对接直通板21，以使直通板21与测试核心板4相连接。
69.参见图8和图10所示，在一些优选的实施方式中，第一板25靠近第一温区的壁面上可拆卸地安装有固定框30，比如通过螺钉安装，固定框30上可拆卸地设有小背板31，具体
地，小背板31上开设有第六安装孔313，小背板31通过第六安装孔313以及适配的螺钉固定在固定框30上，直通板21与小背板31对接，以连接老化测试板 3；其中，固定框30上开设有第三安装孔(图中未示出)，小背板31 上开设有第四安装孔310，第四安装孔310与第三安装孔正对设置，第三安装孔孔径不小于第四安装孔310的孔径，且第二紧固件311螺接于第四安装孔310，并可以穿过第三安装孔，以抵接在第一板25 上。
70.当需要从直通板21上拆下小背板31时，先将固定框30与第一板25之间的螺钉拆掉，再将第二紧固件311螺接在第四安装孔310 上，施拧第二紧固件311，由于第三安装孔的孔径不小于第四安装孔310的孔径，第二紧固件311便会穿过第三安装孔，并抵接在第一板 25上，在施拧第二紧固件311的过程中，驱使固定框30带着小背板 31朝第一温区移动，从而实现拔取小背板31的目的，因为老化测试板3等零部件的存在，使得操作空间狭小，相对于直接用手拔取，这种方式较为省力，操作也方便。
71.参见图7所示，在一些优选的实施方式中，第一加热器24呈带状，并环绕地或者呈s型地铺设在直通板21上，以使第一加热器24 尽可能地覆盖直通板21，目的是能够有效地扩大加热区域，确保能够均匀地加热。优选地，第一加热器24可拆卸地铺设在直通板21上。
72.在一些优选的实施方式中，第一加热器24的电源线经进气口22 或出气口23进行走线，利用现有的口子走线，避免额外打孔。
73.参见图7所示，在一些优选的实施方式中，直通板21上设置有多个第一限位块213，第一限位块213与直通板21之间形成容置第一加热器24的容置空间，第一加热器24通过第一限位块213固定在直通板21上，第一限位块213呈l型或u型。
74.参见图5所示，在第一板25和两个第二板26之间还设置有多个第三板27，以对第一安装架2进行结构加强，第三板27自上而下间隔布置。同时，使测试核心板4尽量在相邻两个第三板27之间，而对于相邻两个第三板27之间如果没有测试核心板4，则在这两个第三板27之间填充保温材料。
75.参见图11、图12和图13所示，本技术实施例提供的一种自动插拔设备，其包括自动插拔装置5，自动插拔装置5包括两个固定部 50、两个移动机构、两个第三移动部53、第一驱动机构54和第二驱动机构55。继续参见图11所示，第一安装架2上设置有小背板31，小背板31用于与水平布置的老化测试板3对接，通常老化测试板3 滑动地组设于第三安装架(图中未示出)上，通过在第三安装架上朝小背板31滑动，以实现老化测试板3与小背板31的对接，两个固定部50用于间隔地布置于小背板31的两侧，使用时，两个固定部50 可以分别固定在第一安装架2的两侧；两个移动机构分别可移动地组设于两个固定部50上，两个第三移动部53分别可移动地组设于两个移动机构上，第一驱动机构54可以固定在第一安装架2上，并与两个第三移动部53相连，并用于驱动第三移动部53竖直运动，以与老化测试板3连接或分离；第二驱动机构55与两个移动机构相连，并用于驱动移动机构运动，以使第三移动部53与第一驱动机构54在水平方向上发生相对运动，并插拔老化测试板3。
76.本实施例提供的自动插拔设备，当需要将老化测试板3插接于小背板31上时，通过第一驱动机构54，驱动第三移动部53在竖直方向上运动，从而与老化测试板3连接，再通过第二驱动机构55，驱动移动机构运动，以使第三移动部53带着老化测试板3朝小背板31 移动，以实现插接；当需要拔除老化测试板3时，通过第一驱动机构 54，驱动第三移动部53在竖直方向上运动，从而与老化测试板3分离，再通过第二驱动机构55，驱动移动机构运动，以
使第三移动部 53朝远离小背板31方向顶推老化测试板3，以实现拔除。
77.参见图11所示，在一些优选的实施方式中，第三移动部53上设有与老化测试板3底部的第一卡勾槽32相适配的第一卡勾530，通过第一卡勾槽32和第一卡勾530实现二者的连接或分离。
78.参见图12和图13所示，在一些优选的实施方式中，固定部50 呈l型结构，两个固定部50间隔布置于第一安装架2的两侧，并与第一安装架2固定连接。具体地，固定部50包括互相垂直连接的第四板500和第五板501，移动机构包括两个第一移动部51和两个第二移动部52。
79.两个第一移动部51分别可移动地组设于两固定部50上，第一移动部51的侧壁上开设有倾斜布置的第一条形孔510，具体地，第一移动部51可以沿竖直方向移动地组设于第四板500上，第一移动部51与第四板500之间通过滑槽与滑轨配合以实现滑动连接，或者再设置滚轮，以实现滚动连接。
80.两个第二移动部52分别可移动地组设于两固定部50上，且第二移动部52上设有销体，销体穿设于其所在侧的第一移动部51上的第一条形孔510；具体地，第二移动部52可沿水平方向移动地组设于第五板501上，更为具体地，在水平方向上，第二移动部52可以沿着靠近或者远离小背板31的方向移动，以实现老化测试板3的插拔，第二移动部52与第五板501之间通过滑槽与滑轨配合以实现滑动连接，或者再设置滚轮，以实现滚动连接。
81.两个第三移动部53分别可沿竖直方向移动地组设于两第二移动部52上，第三移动部53与第二移动部52之间通过滑槽与滑轨配合以实现滑动连接，或者再设置滚轮，以实现滚动连接，第二驱动机构 55与两第一移动部51相连，并用于驱动第一移动部51竖直运动，并在第一条形孔510和销体配合下，驱使第二移动部52水平运动。
82.需要说明的是，第二驱动机构55驱动第一移动部51上升或下降，以实现老化测试板3的插接或拔除，是由第一条形孔510的倾斜方向来决定，比如，参见图12、图13所示，第一条形孔510采用图中的倾斜方向时，第一移动部51上升，则驱使老化测试板3拔除，第一移动部51下降，则驱使老化测试板3插接。至于上升对应插接且下降对应拔除，还是上升对应拔除且下降对应插接，可以根据实际需要对第一条形孔510的倾斜方向进行设置。
83.在本实施例中，采用上升对应插接且下降对应拔除的方案。
84.这样，自动插拔装置5的工作原理为：
85.当需要插接老化测试板3时，通过第一驱动机构54，驱动第三移动部53上升，使第三移动部53上的第一卡勾530勾入老化测试板 3的第一卡勾槽32中；再通过第二驱动机构55，驱动第一移动部51 下降，在第一条形孔510和销体的作用下，驱使第二移动部52在水平方向上，朝小背板31的方向移动，从而使得老化测试板3可以插接在对应的小背板31上。
86.当需要拔除老化测试板3时，通过第一驱动机构54，驱动第三移动部53下降，使第三移动部53上的第一卡勾530与老化测试板3 的第一卡勾槽32脱离；再通过第二驱动机构55，驱动第一移动部51 上升，在第一条形孔510和销体的作用下，驱使第二移动部52在水平方向上，朝远离小背板31的方向移动，通过第三移动部553顶推老化测试板3的端部，从而将老化测试板3从对应的小背板31上拔除。
87.参见图12所示，在一些优选的实施方式中，销体采用凸轮随动器520，或者销体上还设有滚轮，采用滚动方式替换滑动方式，可以减小摩擦力，有利于将第一移动部51的竖直
驱动力转变成第二移动部52的水平驱动力。
88.参见图11所示，在一些优选的实施方式中，小背板31上还设有防撞条312，在插接老化测试板3时，通过防撞条312，可以防止第三移动部53对小背板31造成损伤。
89.参见图13所示，在一些优选的实施方式中，两个第一移动部51 的顶端均连接在第二连接件511上，第二驱动机构55设有两个，两个第二驱动机构55安装在第三连接件512上，且第二驱动机构55的第二伸缩驱动轴550竖直向下穿过第三连接件512后连接在第二连接件511上，在第三连接件512和第二连接件511中，其中一个安装有导向轴513，另一个安装有直线轴承514，且导向轴513套设于直线轴承514中，通过导向轴513和直线轴承514，实现导向和平衡稳定的作用。
90.参见图12所示，在一些优选的实施方式中，第一移动部51采用 l型结构，在第一移动部51上自上而下间隔设置有多个加强板515，相邻两个加强板515之间有一个第一条形孔510，第三移动部53通过第六板534间接性地与第二移动部52连接，第三移动部53通过螺钉等方式可拆卸地固定在第六板534上，为了调节第一卡勾530的位置，使之与第一卡勾槽32相配合，在第三移动部53与第六板534之间还可以设置若干个第一垫片535。
91.参见图12和图13所示，在一些优选的实施方式中，第三移动部 53包括多个片段结构，每个片段结构设于第六板534上，且片段结构上自上而下依次设置有若干个(比如5个)与老化测试板3底部的第一卡勾槽32相适配的第一卡勾530。设置成多个片段结构，其好处是，在装配的时候，如果局部出现误差情况，可以单独地对相应的片段结构进行调整，减小第一卡勾530与第一卡勾槽32的装配误差，从而使得调节操作更加方便。
92.参见图14和图15所示，在一些优选的实施方式中，两个第三移动部53通过第一连接件531连接，第一连接件531上设有第一安装板532，第一安装板532上开设有第二条形孔533，第二条形孔533 沿老化测试板3的插拔方向延伸，第一驱动机构54的第一伸缩驱动轴540竖直穿设于第二条形孔533，并可以在第二条形孔533中沿老化测试板3的插拔方向移动。
93.具体地，第一伸缩驱动轴540侧壁上内凹并形成有轴槽，第一伸缩驱动轴540在轴槽处的宽度与第二条形孔533的宽度相适配，第一伸缩驱动轴540其余部分的宽度大于第二条形孔533的宽度，这样可以保证第一伸缩驱动轴540与第一安装板532在竖直方向上不会发生相对运动，通过第一伸缩驱动轴540在竖直方向上伸缩，可以驱使第一安装板532带动第三移动部53在竖直方向上运动。
94.或着，第一伸缩驱动轴540上间隔设置有两个限位块，两个限位块分别位于第一安装板532的上面和下面，这样也可以保证第一伸缩驱动轴540与第一安装板532在竖直方向上不会发生相对运动。
95.在安装固定第一驱动机构54时，可以固定在第一安装架2上，虽然第一驱动机构54固定在第一安装架2上，但是因为存在第二条形孔533，这个第二条形孔533可以起到避让第一伸缩驱动轴540的作用，第一伸缩驱动轴540与第一安装板532之间可以发生沿第二条形孔533长度方向的相对移动，因此，当第二移动部52沿水平方向上移动时，在第二条形孔533的避让下，使得第三移动部53带动第一安装板532沿水平方向移动，最终实现第三移动部53在水平方向上发生相对于第一驱动机构54的运动。
96.参见图15所示，在一些优选的实施方式中，自动插拔装置5还包括上下布置的两个
限位传感器56，第一伸缩驱动轴540上组设有探针541，探针541位于两个限位传感器56之间。通过设置限位传感器56和探针541，可以指导第一卡勾530勾住老化测试板3的第一卡勾槽32，或者使二者脱离。
97.本技术实施例还提供了一种老化测试柜，其包括柜体1以及上述任一实施例提供的老化测试柜的机架结构，第一安装架2竖直地组设于柜体1内。
98.在一些优选的实施方式中，参见图16所示，于第二温区中，且在柜体1底部开设有入风口10，柜体1顶部开设有出风口11，在柜体1内设有风扇组，风扇组包括若干第一风扇12，第二安装架6位于风扇组和入风口10之间，第一风扇12用于驱使气流从入风口10 进入第二温区内，并经测试核心板4后，从出风口11排出。
99.如图16中，入风口10在第二安装架6左侧，而第一风扇12在第二安装架6右侧，且出风口11在第一风扇12上方，如图16中，虚线箭头为冷风流经方向。为了方便热风出来，在出风口11处还设置第二风扇。在工作过程中，当测试核心板4需要散热时，开启风扇，冷风经入风口10进入第二温区，然后在经过第二安装架6的同时，带走测试核心板4上的热量，以进行散热，再经过第一风扇12后从出风口11排出。
100.在一些优选的实施方式中，参见图1所示，在该老化测试柜中，其具有两个腔室，并且左右布置，每个腔室安装一套机架结构，每个腔室的温度独立控制，可以根据需要分别进行高低温测试。每个腔室中，其第三安装架7上可以安装30个老化测试板3，使得该老化测试柜可以安装60个老化测试板3，每个老化测试板3上可以测试384 个芯片，从而一台设备可以同时进行23000个芯片的测试。
101.总之，本技术采用背板(包括小背板和大背板)和直通板进行信号传输，老化测试板与测试核心板可分别放置在两个独立的温区工作，减少了对测试核心板不必要的温度冲击；能够降低高低温下测试核心板器件失效的可能性，保证测试质量；通过第一安装架将两个温区间进行良好隔离，能够避免两个温区之间的温度串扰，能够避免低温凝露，能够有效提高测试设备的安全性、
102.本技术每个腔室的温度可以独立控制，可以根据需要分别进行高低温测试。
103.本技术可同时进行大批量芯片测试，可根据需要灵活配置老化测试板和测试核心板的数量，通过配置不同的老化测试板和测试核心板，能够有效减少测试成本。
104.本技术通过自动插拔装置可以同时进行所有老化测试板的插拔，确保板卡连接的可靠性及一致性，操作简单，同时可以节省大量的插拔板卡时间，提升测试效率。
105.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
106.需要说明的是，在本技术中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意
在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
107.以上所述仅是本技术的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。