一种改进的晶圆测试装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体生产技术领域，涉及一种晶圆测试装置，特别是一种改进的晶圆测试装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶圆。
3.经检索，如中国专利文献公开了一种硅片测试台【申请号：cn201810247686.2；公开号：cn110299297a】。这种硅片测试台，包括工作台、校准器及传送器；所述传送器用于拾取待检测硅片并将拾取到的待检测硅片传送至所述工作台上，所述校准器用于对所述工作台上待检测硅片的角度进行调整，所述工作台用于检测待检测硅片的少子寿命；所述工作台包括台体、升降杆和固定框，所述升降杆和固定框安装在所述台体上，所述升降杆的位置在所述固定框内，所述升降杆相对于所述台体和所述固定框上下移动。
4.该专利中公开硅片测试台在进行检测时圆盘表面没有突起部，这样硅片在完成测试后需要用镊子去夹取，在夹取的过程中比较困难，容易造成硅片的损坏，并且对晶圆的固定不够稳定，晶圆在进行检测时容易松动。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种改进的晶圆测试装置，该晶圆测试装置在使用时便于对晶圆固定，提高了晶圆的测试效率，且提高了晶圆的良品率。
6.本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：
7.一种改进的晶圆测试装置，包括底座，所述底座顶部的右侧固定有支撑柱，所述支撑柱的表面滑动连接有连接柱，所述连接柱的左侧固定有测试仪器，所述支撑柱与连接柱之间设置有限位结构，所述底座顶部的两侧均固定有连接杆，所述连接杆的顶部固定有放置台，所述放置台的内部滑动连接有固定板，所述固定板的顶部固定有晶圆固定座，所述晶圆固定座的顶部开设有固定槽，所述放置台的两侧均设置有固定结构，所述晶圆固定座内部的两侧均开设有空槽，所述空槽的内部滑动连接有u型杆，所述u型杆贯穿空槽并延伸至固定槽的内部。
8.本实用新型的工作原理是：在使用时，首先将晶圆放置于固定槽的内部，将晶圆固定座放置于放置台的内部并向下按压对其固定，固定完成后，转动圆形块和螺纹杆，将螺纹杆向外侧移动，脱离支撑柱后调整连接柱和测试仪器的高度，调整完成后重新固定测试仪器对晶圆进行测试，测试完成后拉动拉杆，将晶圆固定座取下，取下后向上拉动u型杆将晶圆取出即可。
9.所述限位结构包括螺纹柱，所述螺纹柱连通于连接柱的右侧，所述螺纹柱的内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的右侧固定有圆形块。
10.采用以上结构，便于对连接柱进行固定，方便调整测试仪器的高度。
11.所述螺纹杆的左侧粘接有防滑垫，防滑垫的材质为硅胶。
12.采用以上结构，便于增加螺纹杆于支撑柱之间摩擦力，防止连接柱滑落。
13.所述固定结构包括滑动槽，所述滑动槽开设于放置台内部的两侧，所述滑动槽的内部滑动连接有固定柱，所述固定柱的表面固定有限位板，所述固定柱的表面套设有弹簧，所述固定柱的顶部固定有拉杆。
14.采用以上结构，便于对晶圆固定座进行固定，便于对晶圆进行固定进行测试。
15.所述拉杆的表面套设有防滑套，所述防滑套为橡胶材质。
16.采用以上结构，便于增加拉杆表面的摩擦力，便于拉动固定柱。
17.所述底座底部的四周均固定有支撑块，所述支撑块的底部粘接有支撑垫。
18.采用以上结构，便于对装置进行支撑，提高在测试时装置的稳定性。
19.与现有技术相比，本晶圆测试装置具有以下优点：
20.1、本实用新型通过底座、支撑柱、连接柱、测试仪器、限位结构、连接杆、放置台、固定板、晶圆固定座、固定槽、固定结构、空槽和u型杆的设置，使此装置具备了使用时便于对晶圆固定，提高了晶圆的测试效率，且提高了晶圆的良品率的优点，可以防止在放置和拿取晶圆时对晶圆的损伤，减少晶圆的损坏几率，解决了现有的检测装置容易造成硅片的损坏，对晶圆的固定不够稳定且晶圆在进行检测时容易松动的问题。
21.2、通过设置螺纹柱、螺纹杆和圆形块，便于对连接柱进行固定，方便调整测试仪器的高度，方便进行测试。
22.3、通过设置滑动槽、固定柱、限位板、弹簧和拉杆，便于对晶圆固定座进行固定，便于对晶圆进行固定进行测试。
附图说明
23.图1是本实用新型的主视平面结构示意图。
24.图2是本实用新型的局部立体结构示意图。
25.图3是本实用新型的局部俯视结构示意图。
26.图4是本实用新型图1中a处的结构示意图。
27.图5是本实用新型图1中b处的结构示意图。
28.图中，1、底座；2、支撑柱；3、连接柱；4、测试仪器；5、限位结构；51、螺纹柱；52、螺纹杆；53、圆形块；6、连接杆；7、放置台；8、固定板；9、晶圆固定座；10、固定槽；11、固定结构；111、滑动槽；112、固定柱；113、限位板；114、弹簧；115、拉杆；12、空槽；13、u型杆；14、防滑套；15、支撑块；16、支撑垫。
具体实施方式
29.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
30.如图1-图5所示，本晶圆测试装置，包括底座1，底座1顶部的右侧固定有支撑柱2，
支撑柱2的表面滑动连接有连接柱3，连接柱3的左侧固定有测试仪器4，支撑柱2与连接柱3之间设置有限位结构5，底座1顶部的两侧均固定有连接杆6，连接杆6的顶部固定有放置台7，放置台7的内部滑动连接有固定板8，固定板8的顶部固定有晶圆固定座9，晶圆固定座9的顶部开设有固定槽10，放置台7的两侧均设置有固定结构11，晶圆固定座9内部的两侧均开设有空槽12，空槽12的内部滑动连接有u型杆13，u型杆13贯穿空槽12并延伸至固定槽10的内部；通过底座1、支撑柱2、连接柱3、测试仪器4、限位结构5、连接杆6、放置台7、固定板8、晶圆固定座9、固定槽10、固定结构11、空槽12和u型杆13的设置，使此装置具备了使用时便于对晶圆固定，提高了晶圆的测试效率，且提高了晶圆的良品率的优点，可以防止在放置和拿取晶圆时对晶圆的损伤，减少晶圆的损坏几率，解决了现有的检测装置容易造成硅片的损坏，对晶圆的固定不够稳定且晶圆在进行检测时容易松动的问题。
31.限位结构5包括螺纹柱51，螺纹柱51连通于连接柱3的右侧，螺纹柱51的内部螺纹连接有螺纹杆52，螺纹杆52的右侧固定有圆形块53，在本实施例中，通过设置螺纹柱51、螺纹杆52和圆形块53，便于对连接柱3进行固定，方便调整测试仪器4的高度，方便进行测试。
32.螺纹杆52的左侧粘接有防滑垫，防滑垫的材质为硅胶，在本实施例中，通过设置防滑垫，便于增加螺纹杆52于支撑柱2之间摩擦力，防止连接柱3滑落。
33.固定结构11包括滑动槽111，滑动槽111开设于放置台7内部的两侧，滑动槽111的内部滑动连接有固定柱112，固定柱112的表面固定有限位板113，固定柱112的表面套设有弹簧114，固定柱112的顶部固定有拉杆115，在本实施例中，通过设置滑动槽111、固定柱112、限位板113、弹簧114和拉杆115，便于对晶圆固定座9进行固定，便于对晶圆进行固定进行测试。
34.拉杆115的表面套设有防滑套14，防滑套14为橡胶材质，在本实施例中，通过设置防滑套14，便于增加拉杆115表面的摩擦力，便于拉动固定柱112。
35.底座1底部的四周均固定有支撑块15，支撑块15的底部粘接有支撑垫16，在本实施例中，通过设置支撑块15和支撑垫16，便于对装置进行支撑，提高在测试时装置的稳定性，防止晃动。
36.本实用新型的工作原理：在使用时，首先将晶圆放置于固定槽10的内部，将晶圆固定座9放置于放置台7的内部并向下按压，晶圆固定座9带动固定板8向外侧挤压固定柱112，固定柱112带动限位板113挤压弹簧114，当固定柱112之间的间距大于固定板8的宽度时固定柱112即可回弹对固定板8进行限位固定，固定完成后，转动圆形块53和螺纹杆52，将螺纹杆52向外侧移动，脱离支撑柱2后调整连接柱3和测试仪器4的高度，调整完成后重新固定测试仪器4对晶圆进行测试，测试完成后拉动拉杆115，将晶圆固定座9取下，取下后向上拉动u型杆13将晶圆取出即可。
37.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。