流量测量装置及质量流量控制器的制作方法

1.本实用新型涉及流体流量测量技术领域，具体地，涉及一种流量测量装置及质量流量控制器。


背景技术：

2.质量流量控制器作为一种用于精确测量和控制流体(如气体、液体等)流量的仪器，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业等领域的科研和生产中起到重要的作用。流量测量装置作为质量流量控制器的核心部件，其工作可靠性直接影响到质量流量控制器的测量精度、线性和重复度等指标。
3.流量测量装置包括壳体、设置在壳体内部的测量管以及对称设置在测量管上的多个绕组。以两个绕组为例，两个绕组通电后会产生热量，假设这些热量能够通过壳体向外均匀地散发，流量测量装置的工作原理为：当测量管中没有流体时，两个绕组处的热量一致，壳体内部的温度分布曲线左右对称(钟型曲线)；当测量管中流过流体时，测量管上游的管壁温度因热量被流体带走而降低，下游的管壁温度因热量由上游搬运至下游而升高，壳体内部的温度分布曲线也会随之偏移，上述温度变化能够被紧贴管壁的绕组感知并输出相应的电信号，从而实现流体流量的测量。
4.然而，在现有技术中，流量测量装置由于某些原因，无法保证热量向外均匀地散发，这就会导致壳体内部的温度分布曲线产生偏移，而这种偏移与测量管中流过的流体无关，称之为“零漂”。例如，流量测量装置的壳体包括底座和分别连接在底座上的两个板状罩体，每个罩体上设有凹槽并且两个罩体在装配后能够扣合，扣合后测量管置于两个凹槽中，测量管的端部伸入至底座中并与底座连接。其中，由于罩体和测量管分别连接在底座上，装配时产生的误差会影响到最终罩体与测量管的相对位置，从而无法保证测量管上的绕组位于壳体整体的中间位置，进而容易导致散热不均匀，发生“零漂”现象。若流量测量装置发生“零漂”，对工作可靠性影响较大，流量测量装置的性能无法满足要求。


技术实现要素：

5.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流量测量装置及质量流量控制器。
6.第一方面，本实用新型提供一种流量测量装置，包括测量管、密封件、第一安装座和第二安装座，其中，测量管包括主管段和位于主管段两端的连接管段，主管段上具有对称设置的两个绕组；第一安装座包括主体部和固定部，主体部和固定部为一体结构且两者之间呈角度设置；第二安装座设置于固定部，且与主体部相对设置，主体部与第二安装座之间形成容置腔；密封件位于容置腔内并包覆在两个绕组和至少部分主管段上；连接管段穿过并连接于固定部。
7.进一步地，主体部设有第一凹槽，第二安装座设有第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽能够共同围成容置腔。
8.进一步地，密封件包括两个对称设置的保温块，两个保温块分别放置于第一凹槽和第二凹槽，两个绕组和至少部分主管段位于两个保温块之间，容置腔的形状与密封件的外轮廓的形状相适配，以在装配密封件时对其进行定位。
9.进一步地，固定部设有第一通孔，连接管段伸入至第一通孔内并通过填充体与固定部连接。
10.进一步地，第一通孔包括主孔段和缩颈段，主孔段位于容置腔与缩颈段之间，主孔段的孔径大于缩颈段的孔径，且缩颈段的孔径与连接管段的外径相适配，填充体位于主孔段内。
11.进一步地，还包括底座，第一安装座与底座连接，底座设有第二通孔，第二通孔与第一通孔相对应，连接管段穿过第一通孔后伸入至第二通孔内，其中，连接管段的端面与底座的底面平齐，且连接管段与第二通孔密封连接。
12.进一步地，还包括外壳，外壳罩设在第一安装座和第二安装座的外侧，外壳与第一安装座和第二安装座中的至少一个相连接。
13.进一步地，密封件的顶面凸出容置腔，外壳的内顶壁压于密封件的顶面。
14.进一步地，还包括底座和线排，其中，第一安装座连接在底座上，第一安装座朝向底座的底面设有第三凹槽和穿设槽，穿设槽的一侧与容置腔连通，另一侧与第三凹槽连通；线排的一端依次穿过第三凹槽和穿设槽伸入至容置腔，并与两个绕组电性连接，线排的另一端用于连接外部件。
15.第二方面，本实用新型还提供一种质量流量控制器，包括流量测量装置，流量测量装置为上述的流量测量装置。
16.本实用新型具有以下有益效果：
17.本实用新型提供的流量测量装置包括测量管、密封件、第一安装座和第二安装座。其中，测量管包括主管段和位于主管段两端的连接管段，主管段上具有对称设置的两个绕组。第一安装座包括呈角度设置且为一体结构的主体部和固定部。第二安装座设置于固定部，且与主体部相对设置，主体部与第二安装座之间形成容置腔。密封件位于容置腔内并包覆在两个绕组和至少部分主管段上，密封件主要对两个绕组和主管段用于设置绕组的部分进行包裹密封，从而对其起到一定的密封和保护作用。连接管段穿过并连接于固定部。
18.测量管的连接管段与固定部的连接，第二安装座与固定部连接，即测量管和第二安装座均装配至主体部和固定部形成的一体结构上，从而使结构更加紧凑。同时，由于上述一体结构的加工精度较高，有利于保证装配后一体结构与测量管、第二安装座之间的位置关系的准确性；采用上述一体结构装配测量管和第二安装座，相比于主体部和固定部呈分体结构而言，也能够尽量减少进行装配操作的部位，有利于减少装配误差，提高装配精度，部件之间的紧密程度更容易控制，便于保证装配后测量管的多个绕组的位置以及流量测量装置的整体结构的对称性，散热更为均匀；一体结构的主体部和固定部之间固定更为紧固且配合更为紧密，两者的固定可靠性更强，能够有效防止松动以避免影响散热均匀性，同时两者紧密配合有利于保温性能的提高，从而保证散热均匀性。
19.因此，采用上述加工精度、装配精度、固定可靠性及保温性能较高的结构，能够有效地保证散热均匀性，从而避免或减小“零漂”，提高工作可靠性。
附图说明
20.图1为根据本实用新型的一个实施例的流量测量装置的正面结构示意图；
21.图2为图1的流量测量装置的侧面结构示意图；
22.图3为图1的流量测量装置的底面结构示意图；
23.图4为图3的流量测量装置的a-a向剖视示意图；
24.图5为图4的流量测量装置的b-b向剖视示意图；
25.图6为图1的流量测量装置的底座、第一安装座及线排装配后的正面结构示意图；
26.图7为图6的流量测量装置的c-c向剖视示意图；
27.图8为图1的流量测量装置的线排的背面结构示意图；
28.图9为图8的线排的侧面结构示意图；
29.图10为图1的流量测量装置的线排与测量管上的绕组连接后的位置关系示意图；
30.图11为图1的流量测量装置的第一安装座的结构示意图；
31.图12为图11的第一安装座的底面结构示意图；
32.图13为图11的第一安装座的顶面结构示意图；
33.图14为图11的第一安装座的背面结构示意图；
34.图15为图14的第一安装座的d-d向剖视示意图；
35.图16为图1的流量测量装置的第二安装座的顶面结构示意图；
36.图17为图16的第二安装座的正面结构示意图；
37.图18为图17的第二安装座的e-e向剖视示意图；
38.图19为图1的流量测量装置的第一安装座、第二安装座及密封件装配后的结构示意图；
39.图20为图19的第一安装座、第二安装座及密封件的顶面结构示意图；
40.图21为图20的第一安装座、第二安装座及密封件的f-f向剖视示意图；
41.图22为图1的流量测量装置的底座、第一安装座、第二安装座、密封件及线排装配后的正面结构示意图；
42.图23为图22的底座、第一安装座、第二安装座、密封件及线排的顶面结构示意图；
43.图24为图22的底座、第一安装座、第二安装座、密封件及线排的g-g向剖视示意图。
具体实施方式
44.为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的流量测量装置进行详细描述。其中，附图涉及到的“正面”、“背面”、“顶面”、“底面”及“侧面”仅是为了便于描述和理解而针对图中结构的方位进行的定义，对实际产品的结构并不构成限定。例如，图1示出的是流量测量装置的整体的“正面”结构，与其相反的一侧则为“背面”结构，此外，流量测量装置的各个部件在装配后与图1示出的整体的“正面”处于同方向的一侧，也可称为该部件的“正面”，与其相反的一侧则为“背面”。
45.本实用新型提供的流量测量装置可用于测量流体(如气体、液体等)的流量。如图1至图5、图10以及图22至图24所示，在一些实施例中，流量测量装置包括测量管10，测量管10用于通入待测量流体。测量管10包括主管段11和位于主管段11两端的连接管段12。待测量流体能够由一侧的连接管段12的管口进入，并经过主管段11后由另一侧的连接管段12的管
口流出。主管段11上具有对称设置的两个绕组20。绕组20由金属丝在测量管10的主管段11的管壁外侧绕制而成，绕组20紧贴主管段11的管壁。两个绕组20可通电，并在通电后产生热量。其中，金属丝优选为热敏电阻丝。
46.上述流量测量装置采用毛细管传热温差量热法原理测量流体的流量。当测量管10中没有流体时，两个绕组20处的热量一致，温度分布曲线左右对称(钟型曲线)；当测量管10的主管段11中流过流体时，主管段11上游的管壁温度因热量被流体带走而降低，下游的管壁温度因热量由上游搬运至下游而升高，此时温度分布曲线也会随之偏移。根据金属材料热传导的特性，主管段11管壁的温度变化会直接反映到两个绕组20上，通过两个绕组20搭建的电桥的平衡被打破，产生电压信号，该电压信号能够反映出主管段11内流体的流量，从而实现流体流量的测量。
47.如图1至图7以及图11至图24所示，在一些实施例中，流量测量装置还包括第一安装座30、第二安装座40以及密封件50。第一安装座30包括主体部31和固定部32。主体部31和固定部32为一体结构且两者之间呈角度设置。第二安装座40设置于固定部32，且第二安装座40与主体部31相对设置，主体部31与第二安装座40之间形成容置腔。密封件50位于上述容置腔内并包覆在两个绕组20和至少部分主管段11上，密封件50主要对两个绕组20和主管段11用于设置绕组20的部分进行包裹密封，从而对其起到一定的保护作用。同时，由于主体部31和固定部32呈角度设置，当第二安装座40设置于固定部32上后，至少部分固定部32能够对应于上述容置腔，以使连接管段12可穿过并连接于固定部32。其中，“一体结构”指的是主体部31和固定部32为一个整体件，通过一体加工成型，两个部分不可拆分。
48.一方面，主体部31和固定部32形成的一体结构的尺寸公差相较于两个分别加工的独立件的尺寸公差较容易控制，加工精度更高。同时，主体部31和固定部32一体成型相较于需要装配的两个独立件也避免了装配误差的问题。
49.基于此，第二安装座40通过与固定部32的连接，实现与上述整体件的装配，同时测量管10也通过连接管段12与固定部32的连接，实现与上述整体件的装配。也就是说，测量管10和第二安装座40均装配至主体部31和固定部32形成的整体件上，这样可以使结构更加紧凑。同时，由于上述整体件的加工精度较高，有利于保证装配后整体件与测量管10、第二安装座40之间的位置关系的准确性。此外，采用上述整体件装配测量管10和第二安装座40，也能够尽量减少进行装配操作的部位，有利于减少装配误差，提高装配精度，部件之间的紧密程度更容易控制。
50.为了避免流量测量装置发生“零漂”或尽量减少“零漂”，应保证测量管10的两个绕组20在装配完成后位于整体结构的中间位置，并且流量测量装置的整体结构应相对于中心线左右对称(如图1和图4所示)，从而使两个绕组20发出的热量能够均匀地向外发散，进而降低对流体流量测量的影响。而流量测量装置的各部件的加工精度和装配精度则直接影响装配后测量管10的两个绕组20的位置以及流量测量装置的整体结构的对称性。
51.例如，在图中示出的具体实施例中，只需要保证两个绕组20装配至测量管10的主管段11的对称位置上、测量管10和第二安装座40连接在固定部32预设位置上，等等，就能够使装配后的流量测量装置符合相关要求。因此，通过前述方式提高装配精度后能够避免或减少“零漂”。
52.另一方面，主体部31和固定部32为一体结构可以使主体部31和固定部32这两部分
之间固定更为紧固且配合更为紧密。主体部31和固定部32之间的固定可靠性更强，从而防止主体部31与固定部32之间发生松动，有效避免主体部31与固定部32相对位置发生变化而影响散热均匀性；同时，紧密配合的主体部31和固定部32也有利于保温性能的提高，从而保证散热均匀性。因此，通过前述方式提高主体部31和固定部32的固定可靠性和保温性能后也能够避免或减少“零漂”。
53.综合上述两方面，有效避免或减少“零漂”能够提高流量测量装置的工作可靠性，从而保证流量测量装置的性能。此外，将主体部31和固定部32设置为一个整体件，有利于减少零件数量，提高装配及生产效率。
54.如图5以及图11至图24所示，在一些实施例中，主体部31与固定部32之间呈直角设置，即主体部31与固定部32相互垂直。当然，在图中未示出的其他实施例中，主体部31与固定部32之间的角度也可以为锐角或钝角。特别地，在一些实施例中，第二安装座40连接在固定部32朝向容置腔的一侧，这样可以减少第二安装座40与第一安装座30装配后的体积，使结构更加紧凑。具体地，在图中示出的实施例中，第二安装座40通过第一螺钉91连接在固定部32上。流量测量装置还包括底座70，第一安装座30通过第二螺钉92连接在底座70上。当然，在图中未示出的其他实施例中，第二安装座40也可以连接在固定部32背离主体部31的一侧的侧面上。
55.在一些实施例中，密封件50可以由能够实现保温的固态材料制成，例如密封件50可以为由聚酰亚胺泡沫制成的保温棉。通过密封件50可以对其包裹的两个绕组20和至少部分主管段11进行保温，从而减少散热，有利于流体流量的测量。此外，即使容置腔外侧的结构(例如第一安装座30、第二安装座40)装配不够紧密出现缝隙，密封件50也能够减缓该缝隙对散热均匀性产生的影响。
56.进一步地，如图5、图13至图19以及图24所示，在一些实施例中，主体部31设有第一凹槽311，第二安装座40设有第二凹槽41，当第一安装座30与第二安装座40装配后，第一凹槽311与第二凹槽41共同围成容置腔。密封件50能够同时与第一凹槽311和第二凹槽41接触配合，从而有利于密封件50的放置。优选地，第一凹槽311和第二凹槽41形成的容置腔的形状可以与密封件50的外轮廓的形状相适配，以在装配密封件50时对其进行定位。也就是说，密封件50填满整个容置腔，密封件50的外表面与容置腔的三个方向的腔壁(即底壁和两个方向的侧壁)均贴合。由于容置腔是在第一安装座30与第二安装座40装配后形成，在装配过程中，容置腔的腔壁能够对密封件50进行准确定位，防止密封件50发生错位，保证装配后整体结构的对称性，以使两个绕组20的散热均匀，从而避免或减少“零漂”。
57.具体地，在一些实施例中，密封件50包括两个对称设置的保温块51，两个保温块51可分别放置于第一凹槽311和第二凹槽41中，第一凹槽311和第二凹槽41的形状与相应的保温块51的形状相适配，从而对每个保温块51起到良好的定位作用。例如，在图中示出的具体实施例中，两个保温块51呈长条状，其截面的形状呈矩形，相应地，第一凹槽311和第二凹槽41也为矩形槽，当两个保温块51分别置于第一凹槽311和第二凹槽41后，第一凹槽311和第二凹槽41的槽壁与对应的保温块51相贴合以进行定位。
58.当第一安装座30与第二安装座40连接后(例如第二安装座40连接到固定部32朝向容置腔的一侧后)，两个保温块51由两个绕组20和至少部分主管段11的两侧对其进行包覆，即两个绕组20和至少部分主管段11位于两个保温块51之间，这种方式更加便于装配。在此
过程中，随着第一安装座30与第二安装座40之间的连接固定，两个保温块51夹持住两个绕组20和主管段11，也能够起到一定的固定作用。当然，可以理解地，在其它实施方式中，密封件50也可以预先包覆在两个绕组20和主管段11上，将密封件50、绕组20和测量管10整体与第一安装座30与第二安装座40进行装配。
59.如图1至图5所示，在一些实施例中，流量测量装置还包括外壳60，外壳60罩设在第一安装座30和第二安装座40的外侧，外壳60与第一安装座30和第二安装座40中的至少一个直接连接。在图中示出的具体实施例中，外壳60与第一安装座30通过第三螺钉93直接连接固定。上述外壳60能够对其内部的第一安装座30、第二安装座40、测量管10、密封件50等部件起到保护作用，并且外壳60的保温效果较好，有利于保证散热均匀性。如果第一安装座30和第二安装座40装配后两者之间存在缝隙，外壳60也可以对缝隙起到遮挡作用，从而减缓缝隙对散热均匀性的影响。另外，外壳60与第一安装座30和第二安装座40的相对位置固定且可靠，在流量测量装置使用过程中不会因为振动等因素发生相对移动，从而保证流量测量装置的结构对称性。
60.需要说明的是，外壳60也不限于与第一安装座30和/或第二安装座40直接连接，在一些实施例中，外壳60也可以与底座70直接连接。此时，外壳60安装在底座70的上方，外壳60与底座70之间形成封闭腔室，第一安装座30、第二安装座40、密封件50、至少部分测量管10、绕组20置于该腔室内，腔室内的上述结构相对于中心线呈左右对称。
61.如图5、图19以及图24所示，在一些实施例中，容置腔具有开口，密封件50的部分由开口伸出容置腔，即密封件50的顶面凸出容置腔，外壳60的内顶壁压于密封件50的顶面。通过外壳60压紧密封件50，从而进一步保证密封件50不会发生错位和松动。需要说明的是，密封件50与容置腔的腔壁之间可以通过胶粘等方式进行固定；也可以仅通过外壳60进行压紧，此时密封件50与容置腔的腔壁之间无需额外连接，从而简化制造工艺，提高生产效率。
62.进一步地，如图5所示，在一些实施例中，外壳60与第一安装座30和第二安装座40形成的整体结构的至少部分外表面相贴合，这样可以使外壳60与第一安装座30和第二安装座40相对位置固定且可靠，保证封装紧密且牢固，在流量测量装置使用过程中不会因为振动等因素发生相对移动，尽量减少内部环境气流波动，以降低对散热均匀性的影响，从而减小使用过程中的“零漂”。
63.优选地，在图中示出的具体实施例中，第二安装座40的底面和第一安装座30的固定部32的顶面(即朝向容置腔的一侧表面)均为平面，以使第二安装座40装配至固定部32上后能够紧密贴合。此外，第二安装座40与固定部32装配后，第二安装座40的背面的外表面与第一安装座30的背面的外表面(即固定部32远离主体部31的端面)平齐，第二安装座40的顶面与第一安装座30的主体部31的顶面平齐。也就是说，第一安装座30与第二安装座40装配后呈外轮廓规整的立方体。同时，外壳60也为立方体，外壳60的内壁能够与第一安装座30和第二安装座40形成的整体结构的周向外表面相贴合，而由于密封件50伸出容置腔部分的存在，外壳60与上述整体结构的顶部之间具有一定间隙。上述第一安装座30、第二安装座40、外壳60的结构简单，制造成本较低。
64.如图4和图10所示，在一些实施例中，测量管10的两个连接管段12均与主管段11弯折连接且弯折方向相同。如图4、图12以及图13所示，固定部32设有两个第一通孔321，连接管段12伸入至第一通孔321内并通过填充体与固定部32连接。其中，填充体由能够起到固定
作用的材料形成，例如，填充体由胶粘连接所用胶体形成，此时连接管段12与第一通孔321之间进行粘接固定；或由焊接所用焊锡形成，此时连接管段12与第一通孔321之间进行焊接固定。
65.上述方式将测量管10的连接管段12伸入至第一通孔321内进行连接固定，装配难度相对较小，且连接牢固。同时，由于孔结构的加工精度高，第一通孔321的尺寸容易保证准确，只要两个第一通孔321的尺寸一致，第一通孔321内填满形成填充体的材料(如胶体、焊锡等)，两个第一通孔321内的材料的用量容易控制，能够更为精确地保证几乎等量，从而保证结构的左右对称性，有利于避免或减小“零漂”。
66.进一步地，第一通孔321包括主孔段3211和缩颈段3212，主孔段3211位于容置腔与缩颈段3212之间。主孔段3211的孔径大于缩颈段3212的孔径。缩颈段3212的孔径与连接管段12的外径相适配，从而便于连接管段12穿过。填充体位于主孔段3211内。当进行装配时，可以先将测量管10从上往下穿过主孔段3211并伸入至缩颈段3212，此后再向主孔段3211中填充胶体、焊锡等材料，此时能够使填充材料保持在主孔段3211中，不会由缩颈段3212流出。
67.需要说明的是，如果第一安装座30的下方连接有底座70，第一通孔321也可以为等径的孔，此时可以通过底座70对第一通孔321的底部开口进行封堵，同样也能够使填充材料保持在第一通孔321内。
68.如图5所示，在一些实施例中，第一安装座30与底座70连接。底座70设有第二通孔71，第二通孔71与第一通孔321相对应。连接管段12穿过第一通孔321后伸入至第二通孔71内，直至连接管段12的端面与底座70的底面平齐。由于流量测量装置整体需要装配至其它结构上，而底座70的底面则需要与该结构进行配合，因此将连接管段12的端面与底座70的底面平齐能够便于后续与其它结构的装配。此外，连接管段12与第二通孔71还可通过胶粘、焊接等方式进行密封连接。
69.如图5、图7至图15所示，在一些实施例中，第一安装座30朝向底座70的底面设有第三凹槽33和穿设槽34，第三凹槽33由第一安装座30的侧面与其外部连通。具体地，如图11所示，第三凹槽33的槽底平行于底座70的底面，第三凹槽33对应于第一安装座30正面(即主体部31远离固定部32的侧面)的一侧呈开口状，当第一安装座30安装至底座70后，通过该位置第三凹槽33能够与第一安装座30的外部连通。穿设槽34的一侧与容置腔连通，另一侧与第三凹槽33连通。
70.另外，流量测量装置还包括线排80，线排80呈扁平状。如图8至图10所示，线排80包括依次连接的第一段、第二段和第三段，第一段和第三段大致平行，第三段上设有多个接线端子81，多个接线端子81用于与两个绕组20进行电性连接，从而为两个绕组20提供电能和/或将两个绕组20产生的电信号输出。第二段背离第一段和第三段的一侧连接有电子元件100，工作时，电子元件100起到信号处理的作用。
71.当进行装配时，线排80的一端依次穿过第三凹槽33和穿设槽34伸入至容置腔，并与两个绕组20电性连接，线排80的另一端位于第一安装座30的外部，并用于连接外部件(例如外部电源、控制板等)。在图中示出的具体实施例中，线排80的第三段由穿设槽34穿入至容置腔，并通过其上的接线端子81与两个绕组20进行电性连接，线排80的第二段置于第三凹槽33内，线排80的第一段位于第一安装座30的外部。
72.进一步地，线排80的宽度与第三凹槽33的槽宽相适配，第三凹槽33的槽宽指的是第三凹槽33在垂直于线排80的走线方向的方向上的尺寸。一方面，只要将第三凹槽33的位置进行合理设计，就能够通过第三凹槽33将线排80准确定位至中间位置，从而便于保证结构的对称性。另一方面，通过第一安装座30与底座70的连接，能够使第一安装座30压紧线排80，从而增强了线排80定位和安装的可靠性，安装稳定，防止线排80松动，避免线排80松动后位置移动而影响整体结构的对称性，进而保证了流量测量装置的工作可靠性，有利于避免或减小“零漂”。同时，第三凹槽33的槽深优选为0.1mm至0.3mm，从而在允许线排80通过的同时，保证线排80不会被压坏。此外，底座70上还设置有避让槽72，当装配后，避让槽72位于第三凹槽33的下方，电子元件100置于避让槽72内，防止电子元件100与底座70发生干涉。
73.需要说明的是，第二安装座40通过第一螺钉91连接在第一安装座30的固定部32上，第一安装座30通过第二螺钉92连接在底座70上，外壳60通过第三螺钉93连接在第一安装座30上，其中，第一螺钉91、第二螺钉92和第三螺钉93不用设置过多就能够实现有效连接，因此在装配时不容易出现螺钉孔错位而不能正常安装的问题。
74.本实用新型还提供了一种质量流量控制器，该质量流量控制器包括流量测量装置，流量测量装置为上述的流量测量装置。由于上述流量测量装置的结构能够改善“零漂”现象，流量测量装置的工作可靠性更高，性能更好。因此，包括上述流量测量装置的质量流量控制器的整体性能指标也有了较大提升，测量精度更高，重复度更好，并且性能可靠。
75.可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。