一种半导体机台液体自动补充装置及半导体机台的制作方法

1.本实用新型涉及半导体机台技术领域，特别是涉及一种半导体机台液体自动补充装置及半导体机台。


背景技术：

2.半导体机台可包括光刻机等半导体设备，半导体机台在工作时，其内部的各个运动部件相互摩擦会造成温度升高，因此需要冷却液对其进行冷却，以保证各个运动部件正常工作。在冷却过程中，冷却液会被消耗，当冷却液剩余量不足以正常对各个运动部件进行冷却时，半导体机台会宕机，从而造成产能损失，因此需要及时补充冷却液。
3.现有对冷却液进行补充时，都是通过工作人员定期观察，从而判断是否需要补充冷却液。采用这种方式进行补充，存在一定的空窗期，且无法做到对冷却液剩余量的及时、精确监控。


技术实现要素：

4.鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种半导体机台液体自动补充装置及半导体机台，本实用新型通过感应反射光在第一激光接收器的位置，从而控制开关阀的开启和关闭，从而能够对补充罐自动补充冷却液。
5.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种半导体机台液体自动补充装置，包括：
6.储存罐，其与补充罐相连通；
7.第一激光反射板，其漂浮在所述储存罐内的液面上；
8.第一激光发射器，其设置在所述储存罐上；
9.第一激光接收器，其设置在所述储存罐的内壁上；以及
10.控制器，其分别与所述第一激光发射器、所述第一激光接收器相连接。
11.在本实用新型一实施例中，还包括液位充满线，所述液位充满线设于所述储存罐上。
12.在本实用新型一实施例中，还包括第一低液位预警线，所述第一低液位预警线设于所述储存罐上。
13.在本实用新型一实施例中，还包括低液位报警线，所述低液位报警线设于所述储存罐上。
14.在本实用新型一实施例中，所述储存罐与半导体机台相连通。
15.本实用新型还提供一种应用液体自动补充装置的半导体机台，包括：
16.补充罐；
17.第二激光反射板，其漂浮在所述补充罐内的液面上；
18.第二激光发射器，其设置在所述补充罐上；
19.第二激光接收器，其设置在所述补充罐的内壁上；以及
相连通，从而储存罐2内冷却液的液面高度与第一连通器内冷却液的液面高度保持一致。
37.请参阅图2所示，在本实用新型的一个实施例中，第一连通器上可安装有第一激光发射器3，第一连通器内的液面上可漂浮有第一激光反射板4，第一连通器的侧壁上可安装有第一激光接收器5，从而当第一激光发射器3向第一激光反射板4发射激光时，激光会被第一激光反射板4反射到第一激光接收器5 上，第一激光接收器5上的感应元件可接收到相应的激光信号。当第一连通器内的液面下降时，即储存罐2内剩余的冷却液的量减少时，第一激光反射板4会随着液面向下移动，而由于第一激光发射器3的激光照射角度并不会产生变化，从而激光在第一激光反射板4上反射时，照射在第一激光接收器5上的位置会向下移动，从而可通过检测第一激光接收器5上反射光的位置，可对储存罐2 内剩余的冷却液的量进行判断。为了避免第一激光接收器5接受到不同高度的反射光位置，导致判断结果出现偏差，因此第一激光发射器3应当仅能发射单道固定角度的光线，而不能发射平行的入射光，从而可保证第一激光接收器5接受到的反射光位置不会产生偏差，判断结果也不会产生偏差。当然，在其他实施例中，在未设置第一连通器时，第一激光发射器3、第一激光反射板4以及第一激光接收器5也可位于储存罐2内，只要能够满足第一激光发射器3发出的激光被第一激光反射板4反射后，反射光能够被第一激光接收器5上的感应元件检测到，同时需要满足第一激光反射板4持续漂浮在冷却液液面上即可。
38.请参阅图1所示，在本实用新型的一个实施例中，液位充满线6、第一低液位预警线7以及低液位报警线8也可设置在第一连通器上。当第一激光反射板4 与液位充满线6位于同一高度时，此时第一激光接收器5接收到第一激光反射板4上的反射光，控制器判断为储存罐2内冷却液的量充足。当第一激光反射板 4与第一低液位预警线7位于同一高度时，此时第一激光接收器5接收到第一激光反射板4上的反射光，控制器判断为储存罐2需要补充冷却液，此时控制器可进行相应的报警。当第一激光反射板4与低液位报警线8位于同一高度时，此时第一激光接收器5接收到第一激光反射板4上的反射光，控制器判断为储存罐2内冷却液不足，此时控制器可进行相应的报警。当然，在其他实施例中，在未设置第一连通器时，液位充满线6、第一低液位预警线7以及低液位报警线 8也可设置在储存罐2上。
39.请参阅图1所示，本实用新型还公开了一种应用液体自动补充装置的半导体机台，半导体机台可包括补充罐1、开关阀9、第二激光发射器10、第二激光反射板11、第二激光接收器12、第二低液位预警线13以及自动补充装置。其中，控制器也可分别与第二激光发射器10、第二激光接收器12连接，补充罐1可与自动补充装置内的储存罐2相连通，储存罐2可与半导体机台相连通，补充罐1 与储存罐2的连接处可设有开关阀9，控制器可控制开关阀9的开启和关闭。当第一激光反射板4与第一低液位预警线7位于同一高度，或者第一激光反射板 4与低液位报警线8位于同一高度时，此时第一激光接收器5会接收到反射光的信号，从而向控制器发出相应的信号，此时控制器会控制开关阀9开启，从而补充罐1内存储的冷却液会流到储存罐2内，此时储存罐2内冷却液的液面会升高，从而带动第一激光反射板4向上移动，从而使得反射到第一激光接收器5上的反射光的位置会向上移动，直至第一激光反射板4与液位充满线6位于同一高度时，第一激光接收器5会发出向控制器发出相应的信号，此时控制器会控制开关阀9关闭。
40.请参阅图1所示，在本实用新型的一个实施例中，补充罐1上可设有加液口，可通过加液口向补充罐内添加冷却液。补充罐1的一侧可设有第二连通器，第二连通器可与补充罐
1相连通，从而补充罐1内冷却液的液面高度与第二连通器内冷却液的液面高度保持一致。第二连通器上可安装有第二激光发射器10，第二连通器内的液面上可漂浮有第二激光反射板11，第二连通器的侧壁上可安装有第二激光接收器12，从而当第二激光发射器10向第二激光反射板11发射激光时，激光会被第二激光反射板11反射到第二激光接收器12上，第二激光接收器12上的感应元件可接收到相应的激光信号。当第二连通器内的液面下降时，即补充罐1内剩余的冷却液的量减少时，第二激光反射板11会随着液面向下移动，而由于第一激光发射器3的激光照射角度并不会产生变化，而由于第二激光发射器10的激光照射角度角度并不会产生变化，从而激光在第二激光反射板11上反射时，照射在第二激光接收器12上的位置会向下移动，从而可通过检测第二激光接收器12上反射光的位置，从而可对补充罐1内剩余的冷却液的量进行判断。为了避免第二激光接收器12接受到不同高度的反射光位置，导致判断结果出现偏差，因此第二激光发射器10应当仅能发射单道固定角度的光线，而不能发射平行的入射光，从而可保证第二激光接收器12接受到的反射光位置不会产生偏差，判断结果也不会产生偏差。
41.请参阅图1所示，在本实用新型的一个实施例中，第二低液位预警线13可设置在第二连通器上，当第二激光反射板11与第二低液位预警线13位于同一高度时，此时第二激光接收器12上的感应元件会接收到相应的激光信号，从而向控制器发出相应的信号，控制器接受到此信号后，判断补充罐1内剩余的冷却液的量不足，并报警，以使工作人员及时对补充罐1内的冷却液进行补充。当然，在其他实施例中，在未设置第二连通器时，第二激光发射器10、第二激光反射板11、第二激光接收器12以及第二低液位预警线13也可设置在补充罐1内，只要能够满足第二激光发射器10发出的激光被第二激光反射板11反射后，反射光能够被第二激光接收器12上的感应元件检测到，同时需要满足第二激光反射板11持续漂浮在冷却液液面上即可。
42.综上所述，通过本实用新型提供的一种半导体机台液体自动补充装置及半导体机台，可以实时监测冷却液的液位高度，准确性较高，同时可根据储存罐内冷却液的剩余量，自动补充冷却液，从而能够保证储存罐内含有充足的冷却液。
43.在本说明书的描述中，参考术语“本实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
44.以上公开的本实用新型实施例只是用于帮助阐述本实用新型。实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。