检测装置和检测设备的制作方法

1.本技术涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测装置和检测设备。


背景技术：

2.在相关技术中，在对面板等元件进行检测时通常采用明场照明方式，然而，在明场照明下，有些缺陷则不易检出，或者缺陷现象不明显，例如透明非金属夹杂的色彩、面板上的崩边、凹凸点和划痕等缺陷不易检出。


技术实现要素：

3.本技术实施方式提供一种检测装置和检测设备。
4.本技术实施方式的检测装置对待测物进行检测，所述检测装置包括：
5.光源；
6.明场照明光纤，所述明场照明光纤用于将所述光源发出的光线引导射向所述待测物以对所述待测物进行明场照明；
7.暗场照明光纤，所述暗场照明光纤用于将所述光源发出的光线引导射向所述待测物以对所述待测物进行暗场照明；和
8.切换模块，所述切换模块连接所述明场照明光纤和所述暗场照明光纤，所述切换模块用于选择性地将所述明场照明光纤和所述暗场照明光纤与所述光源对准。
9.在某些实施方式中，所述切换模块包括电机和安装件，所述明场照明光纤和所述暗场照明光纤安装在所述安装件上，所述电机用于驱动所述安装件相对所述所述光源移动或者转动以选择性地将所述明场照明光纤和所述暗场照明光纤与所述光源对准。
10.在某些实施方式中，所述检测装置还包括角度调节机构，所述角度调节机构连接所述暗场照明光纤，所述角度调节机构用于调节从所述暗场照明光纤出射的光线射向所述待测物的角度。
11.在某些实施方式中，所述检测装置还包括成像模块，所述成像模块用于接收经所述待测物反射后的光线以对所述待测物进行成像；
12.所述角度调节机构包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件与所述成像模块连接，所述第二连接件与所述暗场照明光纤的出射端连接，所述第二连接件能够相对所述第一连接件转动以调节从所述暗场照明光纤出射的光线射向所述待测物的角度。
13.在某些实施方式中，所述第一连接件上形成有弧形槽，所述第二连接件上形成有凸起，所述凸起与所述弧形槽配合，所述第二连接件能够通过所述凸起沿所述弧形槽相对所述第一连接件转动。
14.在某些实施方式中，所述第一连接件上形成第一弧形槽和第二弧形槽，所述第一弧形槽与所述第二弧形槽同心设置且所述第一弧形槽的半径大于所述第二弧形槽的半径，所述第二连接件上形成有第一凸起和第二凸起，所述第一凸起与所述第一弧形槽配合，所述第二凸起与所述第二弧形槽配合，所述第二连接件能够通过所述第一凸起和所述第二凸
起沿所述第一弧形槽和所述第二弧形槽相对所述第一连接件转动。
15.在某些实施方式中，所述检测装置还包括成像模块，所述成像模块包括探测器和分光元件；
16.所述明场照明光纤的出射端朝向所述分光元件，从所述明场照明光纤出射的光线经所述分光元件反射后射向所述待测物以对所述待测物进行明场照明；
17.所述暗场照明光纤的出射端朝向所述待测物，从所述暗场照明光纤出射的光线直接射向所述待测物；
18.其中，经所述待测物反射后的光线透射所述分光元件后能够被所述探测器接收以对所述待测物进行成像。
19.在某些实施方式中，所述检测装置还包括第一聚焦组件，所述第一聚焦组件连接所述明场照明光纤的出射端，所述第一聚焦组件用于对从所述明场照明光纤射出的光线进行聚焦。
20.在某些实施方式中，所述检测装置还包括第二聚焦组件，所述第二聚焦组件连接所述暗场照明光纤的出射端，所述第二聚焦组件用于对从所述暗场照明光纤射出的光线进行聚焦。
21.在某些实施方式中，所述明场照明光纤包括入射端和多个出射端；和/或。
22.所述暗场照明光纤包括入射端和多个出射端。
23.本技术实施方式的检测设备包括上述任一实施方式所述的检测装置。
24.本技术的检测装置和检测设备中，检测装置可通过切换模块来将明场照明光纤和暗场照明光纤选择性地将明场照明光纤和暗场照明光纤与光源对准从而实现明场照明和按照照明。如此，可通过切换模块来实现对待测物分别进行明场照明和暗场照明，从而使得能够对面板等元件上的缺陷进行更加全面的检测，以提高检测的完整性。
25.本技术的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实施方式的实践了解到。
附图说明
26.本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
27.图1是本技术实施方式的检测装置的结构示意图；
28.图2是本技术实施方式的检测装置的部分结构示意图；
29.图3是本技术实施方式的检测装置的暗场照明光纤、第二聚焦模块和角度调节机构的结构示意图；
30.图4是本技术实施方式的检测装置的明场照明光纤和第一聚焦模块的结构示意图；
31.图5是本技术实施方式的检测设备的模块示意图。
32.主要元件符号说明：
33.检测设备1000；
34.检测装置100、光源10、明场照明光纤20、入射端21、出射端22、暗场照明光纤30、入射端31、出射端32、切换模块40、电机41、安装件42、第一聚焦组件50、第二聚焦组件60、成像
模块70、探测器71、分光元件72、角度调节机构80、第一连接件81、第一弧形槽811、第二弧形槽812、第二连接件82、第一凸起821、第二凸起822；
35.处理器200；
36.待测物300。
具体实施方式
37.以下结合附图对本技术的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
38.另外，下面结合附图描述的本技术的实施方式是示例性的，仅用于解释本技术的实施方式，而不能理解为对本技术的限制。
39.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
40.请参阅图1，本技术实施方式的检测装置100用于对待测物300进行检测，检测装置100包括光源10、明场照明光纤20、暗场照明光纤30和切换模块40。明场照明光纤20用于将光源10发出的光线引导射向待测物300以对待测物300进行明场照明，暗场照明光纤30用于将光源10发出的光线引导射向待测物300以对待测物300进行暗场照明。切换模块40连接明场照明光纤20和暗场照明光纤30，切换模块40用于选择性地将明场照明光纤20和暗场照明光纤30与光源10对准。
41.具体地，在本技术中，待测物300包括但不限于为显示屏面板、晶圆、芯片等元件。可以理解，在相关技术中，在对面板等元件进行检测时通常采用明场照明方式，然而，在明场照明下，短路、断路等缺陷能够很好检出，而有些缺陷则不易检出，或者缺陷现象不明显，例如透明非金属夹杂的色彩、面板上的崩边、凹凸点和划痕等缺陷不易检出。
42.本技术实施方式中的检测装置100中，检测装置100可通过切换模块40来将明场照明光纤20和暗场照明光纤30选择性地将明场照明光纤20和暗场照明光纤30与光源10对准从而实现明场照明和暗场照明。如此，可通过切换模块40来实现对待测物300分别进行明场照明和暗场照明，从而使得能够对面板等元件上的缺陷进行更加全面的检测，以提高检测的完整性。
43.需要说明的是，在本技术的实施方式中，“明场照明”可以理解为光源10发出的光线以垂直待测物300的方向射向待测物300，从而经待测物300反射后或者是透射待测物300后形成信号光，“暗场照明”可以理解为光源10发出光线以不垂直的倾斜角度射向待测物300，从而经待测物300反射后形成信号光。此外，在本技术中，“对准”可以理解为明场照明光纤20的入射端21或者暗场照明光纤30的入射端31与光源10对齐，光源10发出的光线能够从入射端射入至明场照明光纤20或者暗场照明光纤30内。
44.请参阅图1，在某些实施方式中，切换模块40可包括电机41和安装件42，明场照明光纤20和暗场照明光纤30安装在安装件42上，电机41用于驱动安装件42相对光源10移动或者转动以选择性地将明场照明光纤20和暗场照明光纤30与光源10对准。
45.如此，可通过电机41驱动安装件42移动或者转动的方式来实现明场照明和暗场照明的切换。
46.具体地，在一个可能的实施方式中，安装件42可为转盘，转盘可相对光源10转动，明场照明光纤20的入射端21和暗场照明光纤30的入射端31可安装在转盘上且沿转盘的周向方向间隔排布，电机41可通过齿轮传动机构或者带轮传动机构等传动元件来驱动转盘相对光源10转动，这样，在需要进行明暗场切换时，只需要通过电机41驱动转盘转动以使的明场照明光纤20的入射端21或者暗场照明光纤30的入射端31与光源10对准即可。
47.在另一个可能的实施方式中，安装件42可为滑块，滑块可相对光源10滑动，明场照明光纤20的入射端21和暗场照明光纤30的入射端31可安装滑块上且沿同一直线间隔排布，电机41可通过齿轮齿条传动机构或者丝杆螺母传动机构等传动元件来驱动滑块相对光源10移动，从而可选择性地将明场照明光纤20的入射端21和暗场照明光纤30的入射端31与光源10对准。
48.请参阅图1和图2，在某些实施方式中，检测装置100还包括成像模块70，成像模块70包括探测器71和分光元件72。明场照明光纤20的出射端21朝向分光元件72，从明场照明光纤20出射的光线经分光元件72反射后射向待测物300以对待测物300进行明场照明。暗场照明光纤30的出射端31朝向待测物300，从暗场照明光纤30出射的光线直接射向待测物300。其中，经待测物300反射后的光线透射分光元件72后能够被探测器71接收以对待测物300进行成像。
49.如此，从明场照明光纤20出射的光线可通过成像模块70的分光元件72反射后射向待测物300以实现明场照明和明场成像，而从暗场照明光纤30出射的光线可直接以倾斜的角度摄像待测物300以实现暗场照明和暗场成像。
50.具体地，在这样的实施方式中，探测器71可为成像相机，例如彩色检测相机或者黑白检测相机等，分光元件72可为半反半透镜，明场照明光纤20的出射端朝向分光元件72设置，在进行明场照明时，可通过切换装置将明场照明光纤20对准光源10，从明场照明光纤20出射的光线射向分光元件72，经分光元件72反射后可垂直射向待测物300，经待测物300反射后形成的信号光可透过分光元件72后被探测器71接收从而实现明场成像。在进行暗场照明时，可通过切换装置将暗场照明光纤对准光源10，从暗场照明光纤出射的光线从待测物300的一侧倾斜直接射向待测物300，经待测物300反射后形成的信号光可透过分光元件72后被探测器71接收从而实现暗场成像。
51.请参阅图1和图2，在某些实施方式中，检测装置100还可包括第一聚焦组件50，第一聚焦组件50连接明场照明光纤20的出射端22，第一聚焦组件50用于对从明场照明光纤20射出的光线进行聚焦。
52.如此，可通过第一聚焦组件50来对从明场照明光纤20射出的光线进行聚集以提高明场照明的成像亮度和成像质量。
53.具体地，第一聚焦组件50可柱面镜，柱面镜的数量可以是一个也可以是多个，当然，第一聚焦组件50也不仅限于采用柱面镜，也可采用其它能够对光线进行汇聚的光学元件，具体在此不作限制，只需要能够对光线起到聚集作用即可。
54.请继续参阅图1和图2，在某些实施方式中，检测装置100还可包括第二聚焦组件60，第二聚焦组件60连接暗场照明光纤30的出射端32，第二聚焦组件60用于对从暗场照明
光纤30射出的光线进行聚焦。
55.如此，可通过第二聚焦组件60来对从暗场照明光纤30射出的光线进行聚集以提高暗场照明的成像亮度和成像质量。
56.具体地，第二聚焦组件60也可柱面镜，柱面镜的数量可以是一个也可以是多个，当然，第二聚焦组件60也不仅限于采用柱面镜，也可采用其它能够对光线进行汇聚的光学元件，具体在此不作限制，只需要能够对光线起到聚集作用即可。
57.请参阅图2和图3，在某些实施方式中，检测装置100还包括角度调节机构80，角度调节机构80连接暗场照明光纤30，角度调节机构80用于调节从暗场照明光纤30出射的光线射向待测物300的角度。
58.如此，在进行暗场照明时，可通过角度调节机构80来调节光线射向待测物300的入射角度以使探测器71可在暗场照明的情况下获取更加精确的缺陷信息。
59.具体地，如图1所示，成像模块70的探测器71和分光元件72沿探测器71的光轴方向排布，两者位于同一垂直与待测物300的直线上，而通过角度调节机构80来调节入射光的入射角度也即是调节入射光纤与成像模块70的光轴之间的夹角。
60.请参阅图2和图3，在某些实施方式中，角度调节机构80可包括第一连接件81和第二连接件82，第一连接件81与成像模块70连接，第二连接件82与暗场照明光纤30的出射端连接，第二连接件82能够相对第一连接件81转动以调节从暗场照明光纤30出射的光线射向待测物300的角度。
61.如此，可通过第一连接件81和第二连接件82来连接成像模块70和暗场照明光纤30以便对暗场照明光纤30进行支撑的同时也可通过第二连接件82相对第一连接件81的转动来调节入射光的角度。
62.具体地，在这样的实施方式中，第一连接件81可通过螺钉或者螺栓等紧固元件固定安装在成像模块70的外壳上，第二连接件82可通过螺钉或者螺栓等紧固元件固定安装在第二聚焦组件60上，当然，在不设置第二聚焦组件60时，第二连接件82也可之间固定安装在暗场照明光纤30的出射端上。
63.进一步地，请继续参阅图2和图3，在某些实施方式中，第一连接件81上可形成第一弧形槽811和第二弧形槽812，第一弧形槽811与第二弧形槽812同心设置且第一弧形槽811的半径大于第二弧形槽812的半径，第二连接件82上形成有第一凸起821和第二凸起822，第一凸起821与第一弧形槽811配合，第二凸起822与第二弧形槽812配合，第二连接件82能够通过第一凸起821和第二凸起822沿第一弧形槽811和第二弧形槽812相对第一连接件81转动。
64.如此，通过两个凸起与两个同心的弧形槽的配合可以保证在不同的角度下暗场照明光斑在待测物300上均可与成像视场重合。
65.具体地，第一弧形槽811与第二弧形槽812同心设置，第一凸起821与第一弧形槽811配合，第二凸起822与第二弧形槽812配合，在这样的情况下，第一聚焦组件50和暗场照明光纤30的出射端相对第一连接件81(也即成像模块70)以成像模块70的成像光轴与待测物300的垂直交点为圆心进行转动而不能够相对第一连接件81沿其它的方向转动，从而使得无论处于何种角度下均可使得暗场照明光斑在待测物300上均可与成像视场重合。
66.在上述的实施方式中，是通过采用两个同心的弧形槽以及两个凸起来实现角度调
节。当然，可以理解的是，在一些实施方式中，也可以是只采用一个弧形槽和一个凸起来配合实现角度调节，在这样的情况下，第一连接件81上形成有弧形槽，第二连接件82上形成有凸起，凸起与弧形槽配合，第二连接件82能够通过凸起沿弧形槽相对第一连接件81转动。这样，同样也可能够实现入射光的入射角度的调节。
67.请参阅图4，在某些实施方式中，明场照明光纤20可包括入射端21和多个出射端22。
68.如此，可通过多个出射端22以不同的方向和位置来对待测物300进行明场照明以提高明场成像质量。
69.具体地，在这样的实施方式中，明场照明光纤20可分为多个分支，每一个分支对应一个出射端22，当然，每个出射端22也可均对应一个第一聚焦组件50，具体在此不作限制。
70.请参阅图3，在某些实施方式中，暗场照明光纤30也可包括入射端31和多个出射端32。
71.如此，可通过多个出射端32以不同的方向和位置来对待测物300进行暗场照明以提高暗场成像质量。
72.具体地，在这样的实施方式中，暗场照明光纤30也可分为多个分支，每一个分支对应一个出射端32，当然，每个出射端32也可均对应一个第二聚焦组件60，具体在此不作限制。
73.请参阅图5，本技术实施方式的检测设备1000包括上述任一实施方式所述的检测装置100。
74.检测设备1000还可包括处理器200，处理器200可与光源10、切换模块40以及成像模块70电性连接，具体地，处理器200与光源10电连接可控制光源10的启闭，处理器200还可与切换模块40的电机41电性连接，处理器200可根据控制指令控制电机41工作以选择性地将明场照明光纤20和暗场照明光纤30与光源10对准，此外，处理器200与成像模块70的探测器71连接，处理器200可控制探测器71进行成像并且能够接收并存储探测器71的成像图片。
75.本技术实施方式中的检测设备1000中，检测装置100可通过切换模块40来将明场照明光纤20和暗场照明光纤30选择性地将明场照明光纤20和暗场照明光纤30与光源10对准从而实现明场照明和暗场照明。如此，可通过切换模块40来实现对待测物300分别进行明场照明和暗场照明，从而使得能够对面板等元件上的缺陷进行更加全面的检测，以提高检测的完整性。
76.在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
77.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。
78.尽管上面已经示出和描述了本技术的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本技术的限制，本领域的普通技术人员在本技术的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本技术的范围由权利要求及其等同物限定。