超声波式检查装置、支承体的检查方法以及支承体的检查程序与流程

本发明涉及超声波式检查装置、支承体的检查方法以及支承体的检查程序。

背景技术：

1、在制造膜时，使用用于支承膜的带(belt)或滚筒(dram)等金属制的支承体(以下称为“金属支承体”)。例如，在制造偏振片或电子显示器中广泛使用的聚合物膜时(例如，溶液制膜法)，在膜的初期干燥工序中使用用于支承原材料的带或滚筒，另外，为了后干燥或膜的输送等而使用输送辊。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特表2016－517494号公报

5、专利文献2：日本特开2007－083451号公报

6、专利文献3：日本特开平11－051910号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、但是，已知如果在金属支承体的表面存在伤痕、污垢或针眼(即孔)等缺陷(以下称为“缺陷”)，则会导致所制造的膜的品质降低(例如专利文献1及专利文献2)。特别是，在通过使聚合物溶液从狭缝流延到滚筒、带及载体膜等支承体上而成为片状，并从得到的片状的膜使溶剂干燥来制造膜的溶液制膜法中，由于存在于金属支承体(在此为滚筒及带)的表面的缺陷，容易在膜的表面产生针眼缺陷。

3、从这样的背景出发，以往，在这种膜的制造设备中，定期地检查金属支承体的表面，在该检查中在金属支承体的表面检测出缺陷的情况下，进行通过研磨等修理金属支承体的工艺。

4、在这种膜的制造设备中，在金属支承体的检查时及修理时，停止膜的生产线，因此从提高生产率的观点出发，需要在短时间内结束从检查步骤到修理步骤。关于这一点，如下情况成为课题：若在金属支承体的内部存在空隙(void)(即，空孔)或异物，则在修理金属支承体时，在金属支承体的表面会产生新的缺陷。这是因为，在修理金属支承体时，若在金属支承体的表面产生新的缺陷，则修理步骤会长期化，或产生反复进行修理步骤的状态，导致生产率降低。

5、因此，为了防止膜品质的降低及生产率的降低，需要导入缺陷的显现性低的金属支承体。另外，能够事先预测修理步骤后的状态是必不可少的。特别是，这种金属支承体以伴随该金属支承体制造时的弯曲加工等而受到大的压力的状态来配置，因此其内部构造(例如结晶构造)经时变化，不久就会含有很多空隙或异物。因此，优选在金属支承体的检查时，或将金属支承体装入膜的制造设备之前，能够高精度地评价金属支承体的内部的状态，甚至能够预测该金属支承体的寿命的程度。

6、本公开是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够高精度地评价在膜的制造中使用的支承体的内部状态的超声波式检查装置、支承体的检查方法以及支承体的检查程序。

7、用于解决课题的手段

8、解决前述的课题的主要的本公开是超声波式检查装置，该超声波式检查装置是检查用于制造膜的、至少一部分由金属部件形成的支承体的超声波式检查装置，包括：

9、发送接收部，使用超声波探头，经由接触介质向所述支承体内发送超声波，并且接收来自所述支承体的内部的超声波回波；

10、断层图像生成部，基于在利用所述超声波探头对所述支承体内进行超声波扫描时在各扫描位置所检测出的所述超声波回波，生成所述支承体的断层图像；以及

11、评价部，对所述断层图像进行图像分析，并基于起因于从所述超声波探头送出的超声波在所述支承体的金属部的表面和里面之间的多重反射而在所述断层图像内表现出来的层状图像的形态，来评价所述支承体的内部的状态。

12、另外，在其他方面，是检查方法，该检查方法是检查用于制造膜的支承体的检查方法，包括：

13、使用超声波探头，经由接触介质向所述支承体内发送超声波，并且接收来自所述支承体内部的超声波回波的处理；

14、基于利用所述超声波探头对所述支承体内进行超声波扫描时在各扫描位置所检测出的所述超声波回波，生成所述支承体的断层图像的处理；以及

15、对所述断层图像进行图像分析，基于起因于从所述超声波探头送出的超声波在所述支承体的金属部的表面和里面之间的多重反射而在所述断层图像内表现出来的层状图像的形态，来评价所述支承体的内部状态的处理。

16、另外，在其他方面是检查程序，该检查程序是检查用于制造膜的支承体的检查程序，包括：

17、使用超声波探头，经由接触介质向所述支承体内发送超声波，并且接收来自所述支承体内部的超声波回波的处理；

18、基于利用所述超声波探头对所述支承体内进行超声波扫描时在各扫描位置所检测出的所述超声波回波，生成所述支承体的断层图像的处理；以及

19、对所述断层图像进行图像分析，基于起因于从所述超声波探头送出的超声波在所述支承体的金属部的表面和里面之间的多重反射而在所述断层图像内表现出来的层状图像的形态，来评价所述支承体的内部状态的处理。

20、发明效果

21、根据本公开的超声波式检查装置，能够高精度地评价在膜的制造中所使用的支承体的内部的状态。

技术特征：

1.一种超声波式检查装置，是检查用于制造膜的、至少一部分由金属部件形成的支承体的超声波式检查装置，具备：

2.根据权利要求1所述的超声波式检查装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的超声波式检查装置，其中，

4.根据权利要求3所述的超声波式检查装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的超声波式检查装置，其中，

6.根据权利要求5所述的超声波式检查装置，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的超声波式检查装置，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的超声波式检查装置，其中，

9.一种检查方法，是检查用于制造膜的支承体的检查方法，具有：

10.一种检查程序，是检查用于制造膜的支承体的检查程序，具有：

技术总结
超声波式检查装置(A)是检查用于制造膜的、至少一部分由金属部件形成的支承体的超声波式检查装置(A)，具备：发送接收部(11)，使用超声波探头(2)，经由接触介质向金属支承体内发送超声波，并且接收来自支承体的内部的超声波回波；断层图像生成部(12)，基于在利用超声波探头(2)对支承体内进行超声波扫描时在各扫描位置所检测出的超声波回波，生成支承体内的断层图像；评价部(13)，对断层图像进行图像解析，基于起因于从超声波探头(2)送出的超声波在支承体的金属部件的表面和里面之间的多重反射而在断层图像内表现出来的层状图像的形态，来评价支承体的内部的状态。

技术研发人员：壬生飒史,森藤亨
受保护的技术使用者：柯尼卡美能达株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11