荧光X射线分析装置的制作方法

本发明涉及一种荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置对试样照射一次x射线，该试样具有基底层和在其上形成且各成分的附着量和厚度为分析对象的单层薄膜，基于所产生的二次x射线的测定强度，通过基本参数法求出薄膜中的各成分的附着量和厚度的定量值。

背景技术：

1、作为对具有薄膜的试样照射一次x射线，基于所产生的二次x射线的测定强度，通过基本参数法(以下，也称为fp法)求出薄膜中的组成(各成分的附着量)和厚度的定量值的荧光x射线分析装置，例如有在专利文献1中所记载的装置。在这里，基于测定强度，通过fp法求出薄膜的组成和厚度的定量值是指，基于针对构成试样的薄膜假定的组成，计算通过一次x射线激发而从试样中产生的二次x射线(测定线)的理论强度，以该理论强度与将试样的测定强度换算成理论强度标度而得到的换算测定强度一致的方式，对薄膜假定的组成逐次近似地进行修正计算，求出组成和厚度的定量值。

2、通常，在通过fp法求出主体的组成的定量值的场合，作为与组成相对应的指标，使用各成分的含有率(质量分率)，测定线的强度依赖于所对应的成分的含有率，因此，可以求出主体的组成的定量值，但无法求出厚度的定量值。相对于此，在薄膜中，作为与组成相对应的指标，采用各成分的附着量(每单位面积的质量)，由于测定线的强度依赖于所对应的成分的附着量，故在测定线的强度对应于薄膜厚度的变化而变化的区域，可以求出薄膜中的各成分的附着量和厚度的定量值。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：wo2017026200a号

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、但是，在基底层上形成有薄膜的试样的场合，如果来自基底层的测定线的强度超过上述的区域，则在逐次近似的修正计算中，无法更新已假定的各成分的附着量，因此无法继续进行定量计算，并有关于此的误差(错误)显示，同时在无法求出各成分的附着量及厚度的定量值的状态下结束定量计算。

3、本发明是鉴于上述过去的问题而完成的，本发明的目的在于，提供一种荧光x射线分析装置，在该荧光x射线分析装置中，在通过fp法求出形成于基底层上的薄膜中的各成分的附着量和厚度的定量值，对于因来自基底层的测定线强度的影响而导致关于薄膜的定量计算产生误差的成分，能够将其作为不能定量的成分从分析对象中排除。

4、用于解决课题的技术方案

5、为了实现上述目的，本发明涉及一种荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置对试样照射一次x射线，该试样具有各成分的附着量或含有率已知的单层或多层的基底层、以及在该基底层上形成且各成分的附着量和厚度为分析对象的单层的薄膜，基于所产生的二次x射线的测定强度，通过基本参数法求出上述薄膜中的各成分的附着量和厚度的定量值；

6、包括排除机构，该排除机构：作为基本参数法的定量计算的前处理，将与作为应测定强度的二次x射线的测定线相对应的成分中的不能定量的成分从分析对象中排除。

7、另外，排除机构：首先对于上述基底层中不含测定元素的成分，针对每条对应的测定线，假定该成分单独构成上述薄膜来计算其附着量，将最大的附着量设定为该成分的附着量的初始值。进而，排除机构：对于上述基底层中包含测定元素的成分，针对每条对应的测定线，基于上述基底层中不包含测定元素的各成分的附着量的初始值来计算其附着量，在所有对应的测定线的计算结果均有误差的情况下，将该成分作为不能定量的成分从分析对象中排除，在除此以外的情况下，将最大的附着量设定为该成分的附着量的初始值。

8、在本发明的荧光x射线分析装置中，通过排除机构，首先，对于基底层中不包含测定元素的成分，概算附着量的初始值，对于基底层中包含测定元素的成分，基于基底层中不包含测定元素的各成分的附着量的初始值来计算其附着量，研究计算结果是否产生误差，因此，对于因来自基底层的测定线强度的影响而对薄膜的定量计算产生误差的成分，能够将其作为不能定量的成分适当地从分析对象中排除。

9、权利要求书和/或说明书和/或附图中公开的至少两个结构的任意组合也包含在本发明中。特别是，权利要求书的各权利要求的两个以上的任意组合也包含于本发明中。

技术特征：

1.一种荧光x射线分析装置，该荧光x射线分析装置对试样照射一次x射线，该试样具有各成分的附着量或含有率已知的单层或多层的基底层、以及在该基底层上形成且各成分的附着量和厚度为分析对象的单层的薄膜，基于所产生的二次x射线的测定强度，通过基本参数法求出上述薄膜中的各成分的附着量和厚度的定量值；

技术总结
本发明的荧光X射线分析装置所具有的排除机构(21)：对于基底层中不含测定元素的成分，针对每条相应的测定线，假定该成分单独构成薄膜来计算其附着量，将最大附着量设定为该成分的附着量的初始值；对于基底层中包含测定元素的成分，针对每条相应的测定线，基于基底层中不包含测定元素的每个成分的附着量的初始值来计算其附着量；在所有对应的测定线的计算结果均有误差的情况下，将该成分作为不能定量的成分从分析对象中排除，在除此以外的情况下，将最大的附着量设定为该成分的附着量的初始值。

技术研发人员：原真也,山田康治郎,儿玉宪治,堂井真
受保护的技术使用者：株式会社理学
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13