测试装置的制作方法

本揭示内容涉及一种用于测试半导体或类似待测试目标的电特性的测试装置。

背景技术：

1、在制造半导体或类似电子产品的过程中，需要一种用于测试最终制造的电子产品的电特性的测试装置。当测试电子产品时，在测试装置中产生热量。在此情况下，所产生热量通过在测试期间提高电阻而降低测试的可靠性，且通过短路内部电路造成产品失效。因此，快速散热对于测试功率半导体、车载半导体以及系统半导体至关重要。

2、待测试的特定目标需要在极端环境下对电特性进行测试。为此目的，测试装置包含用以创造极端环境的加热元件或冷却元件。当通过加热元件或冷却元件突然改变温度时，测试装置可能超出设定的测试温度。同时，热空气或冷空气可能引入至配置有多个测试装置的测试室中，以使得测试装置可快速达到设定的温度范围。然而，热空气或冷空气的效果视在测试室中的位置而变化，且因此存在测试室中的多个测试装置在不同时间达到设定温度而不同时满足设定温度条件的问题。

技术实现思路

1、技术问题

2、本揭示内容的实施例提供一种可靠的测试装置。

3、技术手段

4、根据本揭示内容的实施例，提供一种用于测试待测试目标的电特性的测试装置。测试装置包含：测试插座，包括经组态以将测试信号传输至待测试目标的探针；推动器主体，耦接至测试插座；推动器单元，支撑于推动器主体上且按压及释放待测试目标；以及热屏蔽盖，用以执行屏蔽暴露于推动器主体的顶部的推动器单元以及释放屏蔽。

5、推动器单元可包括具有按压表面的第一侧面及具有散热表面的第二侧面的推动器基底，及设置于推动器基底上的散热表面且散热的散热器，且热屏蔽盖执行屏蔽暴露于推动器主体的顶部的散热器以及释放屏蔽。

6、热屏蔽盖可包括彼此耦接以相对旋转的多个盖叶片。

7、多个盖叶片中的一者可包括固定至推动器主体的顶部的静止叶片，且多个盖叶片中的其他者包括通过轴耦接以相对于静止叶片可旋转地打开及关闭的多个可变叶片。

8、多个可变叶片可包括安置于静止叶片上方的第一可变叶片，及安置于第一可变叶片上方的第二可变叶片，静止叶片可包括一对第一导向突起，所述一对第一导向突起相对于轴对称地设置于其顶部上的圆周外端部分的一侧处，第一可变叶片可包括一对第一导向凹槽，所述一对第一导向凹槽沿其底部上的圆周外端部分延伸且分别容纳一对第一导向突起以可移动。

9、第一可变叶片可包括一对第二导向突起，所述一对第二导向突起相对于轴对称地设置于其顶部上的圆周外端部分的一侧处，且第二可变叶片可包括一对第二导向凹槽，所述一对第二导向凹槽沿其底部上的圆周外端部分延伸且分别容纳一对第二导向突起以可移动。

10、多个盖叶片可包括相对于轴对称地耦接的一对扇形屏蔽部分，及自扇形屏蔽部分的圆周外端部分弯曲并向下延伸且与推动器主体的顶部接触的一对裙状部分。

11、静止叶片可包括一对停止器，所述一对停止器自其顶部的径向端部分向上突起且相对于轴对称地设置。

12、发明技术功效

13、在本发明的测试装置中，覆盖推动器单元的散热器的热屏蔽盖可根据安置于单个测试室中的多个测试装置的位置差异来调节热屏蔽盖的打开及关闭量。因此，通过根据位置差异校正不同温度，测试可在相同温度条件下执行。

技术特征：

1.一种测试装置，用于测试待测试目标的电特性，所述测试装置包括：

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中

3.根据权利要求1所述的测试装置，其中所述热屏蔽盖包括彼此耦接以相对旋转的多个盖叶片。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其中

5.根据权利要求4所述的测试装置，其中

6.根据权利要求5所述的测试装置，其中

7.根据权利要求3所述的测试装置，其中所述多个盖叶片包括相对于所述轴对称地耦接的一对扇形屏蔽部分，及自所述扇形屏蔽部分的圆周外端部分弯曲并向下延伸且与所述推动器主体的所述顶部接触的一对裙状部分。

8.根据权利要求4所述的测试装置，其中所述静止叶片包括一对停止器，所述一对停止器自其所述顶部的径向端部分向上突起且相对于所述轴对称地设置。

技术总结
本发明揭示一种用于测试待测试目标的电特性的测试装置。测试装置包含：测试插座，包括经组态以将测试信号传输至待测试目标的探针；推动器主体，耦接至测试插座；推动器单元，支撑于推动器主体上且按压及释放待测试目标；以及热屏蔽盖，用以执行屏蔽暴露于推动器主体的顶部的推动器单元以及释放屏蔽。

技术研发人员：严熙一
受保护的技术使用者：李诺工业股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14