双回道检测装置及其检测方法与流程

本申请是关于一种双回道检测装置及其检测方法，是用于半导体组件制程后端的外观瑕疵检测，尤指具有通过时间差来运行双回道的检测路径，以大幅缩短检测时程。

背景技术：

1、一般完整的集成电路制造，主要包括初期的集成电路设计与晶圆制造，中期的晶圆电性测试，及后期的最终测试与产品出货。其中，检测与分类是在产品制造完成后相当重要的一环，在目前的受测环节中，是通过对外观瑕疵进行检测的自动化设备，以对封装完成产品的背面与正面撷取其外观影像进行判断，以确保产品出厂后外观上能符合所需的规格。

2、在测试产业时间成本是业主极为重视的一环，每一个待测物的测试成本是以秒作为时间单位计算，故无不尽全力的从缩短测试时间、设计更好的测试流程下功夫，最直接的方式就是采用更精简且生产量高(higher throughput)的机台，倘若测试机台在测试过程不断的被搬运及延迟等待，在庞大产量下每个组件所耗费的零碎时间一经累积，便形成无谓时间浪费，付出相当的时间成本。

3、现阶段对于半导体组件市场需求仍持续扩大，精进检测流程的问题具急迫性，本申请人以多年来熟稔于自动化测试的技术，在该技术领域中不断改良测试，能够大幅地节省待测物搬运所花费的时间并保留机台的弹性，适时的根据待测物的测试条件而更动测试流程，将能够提高待测物的测试产能，目前类似的测试机台大多是采单一轨道/路径进行测试，因此，本申请所揭示的双回道检测方法是在同一测试机台上采双轨道/路径的设计，并采用时间差让彼此之间可以互补搬运及延迟等待的时间，以提高uph(unit per hour)每单位小时的产量、能力、产能，本申请所揭示的双回道检测装置则配置了所述的双回道运作的结构，并用以实现其方法。

技术实现思路

1、本申请所要解决的技术问题在于提供一种双回道检测方法，包含：设置一取放装置、一检测单元、设置于该检测单元两侧的一第一位移装置与一第二位移装置、设置于该第一位移装置上与该第二位移装置上的一第三位移装置与一第四位移装置以及设置于该第三位移装置上与该第四位移装置上的承载盘；设定有多个第一控制点位，是分别位于该第一位移装置与该第二位移装置所移动的一x轴向上；设定有多个第二控制点位，是分别位于该第三位移装置上与该第四位移装置所移动的一y轴向上；该第一位移装置通过各该第一控制点位而于该x轴向上位移，该第三位移装置通过各该第二控制点位而于该y轴向上位移，该第一位移装置与该第三位移装置所在的各该第一控制点位与各该第二控制点位构成一第一检测回道，该第三位移装置上的该承载盘于该第一检测回道上依序完成置放待测组件、检测作业与取下待测组件的动作；该第二位移装置通过各该第一控制点位而于该x轴向上位移，该第四位移装置通过各该第二控制点位而于该y轴向上位移，该第二位移装置与该第四位移装置所在的各该第一控制点位与各该第二控制点位构成一第二检测回道；其中，在该第一检测回道上的该承载盘开始进行动作一预定时间后，该第四位移装置上的该承载盘再于该第二检测回道上依序完成置放待测组件、检测作业与取下待测组件的动作；以及在该第一检测回道上的该承载盘与该第二检测回道上的该承载盘连续交替的使用同一个该取放装置与该检测单元进行检测。

2、更具体的说，于该x轴向上的各该第一控制点位分别设定有一起始点、一回转点、一检测起始点与一检测完成点，于该y轴向上的各该第二控制点位则分别设定有一取放点、一回避点与一检测点，该起始点对应该取放点是用于进行该置放待测组件与该取下待测组件的动作，该检测单元是位在该检测起始点对应该检测点上方，以用于进行该检测作业。

3、更具体的说，当完成该置放待测组件的动作欲进行该检测作业的过程中，各该承载盘是经由该x轴向上经该起始点、该回转点再进入该检测起始点，在该起始点至该回转点时，各该承载盘是对应于该回避点。

4、更具体的说，当完成该检测作业的动作欲进行该取下待测组件的过程中，各该承载盘是经由该检测完成点回到该起始点，在该检测完成点回到该起始点时，各该承载盘是对应于该回避点。

5、更具体的说，该第二检测回道上的该承载盘是在该第一检测回道上的该承载盘完成该置放待测组件的动作后，再于该回转点开始该第二检测回道的各个动作。

6、更具体的说，分别于该第一检测回道与该第二检测回道上设置的一测距仪，在进行该检测作业之前是预先以该测距仪检测与待测组件之间的直线距离，用以控制该检测单元调整检测距离。

7、更具体的说，该待测组件为影像传感器。

8、一种双回道检测装置，是至少包含：一测试平台，于两侧设置有一第一位移机构与一第二位移机构，该第一位移机构与该第二位移机构是于该测试平台上做x轴向位移；一第三位移机构，是设置在该第一位移机构上，该第三位移机构是于该第一位移机构上做y轴向位移；一第四位移机构，是设置在该第二位移机构上，该第四位移机构则是于该第二位移机构上做y轴向位移；一承载盘，是分别的设置在该第三位移机构与该第四位移机构上，各该承载盘上具有一用于置入至少一待测组件的槽位；一取放机构，是配置在该测试平台旁，用于携行或放置该待测组件至该槽位；以及一检测单元，是位于该测试平台上方，用以检测位于该承载盘上每个通过下方的该待测组件；其中，该第一位移机构与该第二位移机构带动各该承载盘于该测试平台相对的两侧错时进行该x轴向的往返位移，当各该承载盘于该x轴向位移时交错，该第三位移机构与该第四位移机构则能进行该y轴向的位移使得各该承载盘相互回避，进而使各承载盘上的槽位依序通过该检测单元的下方，并对每一个待测组件进行检测。

9、于一较佳实施例中，该槽位于该承载盘上的数量具有一个或一个以上。

10、于一较佳实施例中，位于该第一位移机构及第二位移机构的x轴向位移方向上方分别设置一测距仪。

11、于一较佳实施例中，各测距仪上分别设置有一限位位移机构用于带动该测距仪做该y轴向位移，是带动各该测距仪配合位移至相对于各该槽位上方，确保各该槽位依序通过各该测距仪下方检测各该待测组件z轴向的直线距离。

12、于一较佳实施例中，该第一位移机构具有一装设在该测试平台一侧的第一轨道、一装设在该第一轨道上的第一滑块与一用于驱动该第一滑块的第一驱动器，该第二位移机构具有一装设在该测试平台另一侧的第二轨道、一装设在该第二轨道上的第二滑块与一用于驱动该第二滑块的第二驱动器，该第一轨道与该第二轨道皆是平行于该x轴向。

13、于一较佳实施例中，该第三位移机构具有一装设在该第一滑块上的第三轨道、一装设在该第三轨道上的第三滑块与一用于驱动该第三滑块的第三驱动器，该第四位移机构具有一装设在该第二滑块上的第四轨道、一装设在该第四轨道上的第四滑块与一用于驱动该第四滑块的第四驱动器，该第三轨道与该第四轨道皆是平行于该y轴向，各该承载盘是分别装设在该第三滑块与该第四滑块上。

14、有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。

技术特征：

1.一种双回道检测方法，其特征在于，包含：

2.根据权利要求1的双回道检测方法，其特征在于，于该x轴向上的各该第一控制点位分别设有一起始点、一回转点、一检测起始点与一检测完成点，于该y轴向上的各该第二控制点位则分别设定有一取放点、一回避点与一检测点，该起始点对应该取放点是用于进行该置放待测组件与该取下待测组件的动作，该检测单元是位在该检测起始点对应该检测点上方，以用于进行该检测作业。

3.根据权利要求2的双回道检测方法，其特征在于，当完成该置放待测组件的动作欲进行该检测作业的过程中，各该承载盘是经由该x轴向上经该起始点、该回转点再进入该检测起始点，在该起始点至该回转点时，各该承载盘是对应于该回避点。

4.根据权利要求2的双回道检测方法，其特征在于，当完成该检测作业的动作欲进行该取下待测组件的过程中，各该承载盘是经由该检测完成点回到该起始点，在该检测完成点回到该起始点时，各该承载盘是对应于该回避点。

5.根据权利要求2的双回道检测方法，其特征在于，该第二检测回道上的该承载盘是在该第一检测回道上的该承载盘完成该置放待测组件的动作后，再于该回转点开始该第二检测回道的各个动作。

6.根据权利要求2的双回道检测方法，其特征在于，分别于该第一检测回道与该第二检测回道上设置的一测距仪，在进行该检测作业之前是预先以该测距仪检测与待测组件之间的直线距离，用以控制该检测单元调整检测距离。

7.根据权利要求1的双回道检测方法，其特征在于，该待测组件为影像传感器。

8.一种双回道检测装置，其特征在于，至少包含：

9.根据权利要求8的双回道检测装置，其特征在于，该第一位移机构具有一装设在该测试平台一侧的第一轨道、一装设在该第一轨道上的第一滑块与一用于驱动该第一滑块的第一驱动器，该第二位移机构具有一装设在该测试平台另一侧的第二轨道、一装设在该第二轨道上的第二滑块与一用于驱动该第二滑块的第二驱动器，该第一轨道与该第二轨道皆是平行于该x轴向。

10.根据权利要求8的双回道检测装置，其特征在于，该第三位移机构具有一装设在该第一滑块上的第三轨道、一装设在该第三轨道上的第三滑块与一用于驱动该第三滑块的第三驱动器，该第四位移机构具有一装设在该第二滑块上的第四轨道、一装设在该第四轨道上的第四滑块与一用于驱动该第四滑块的第四驱动器，该第三轨道与该第四轨道皆是平行于该y轴向，各该承载盘是分别装设在该第三滑块与该第四滑块上。

11.根据权利要求8的双回道检测装置，其特征在于，该槽位于该承载盘上的数量具有一个或一个以上。

12.根据权利要求8的双回道检测装置，其特征在于，位于该第一位移机构及第二位移机构的x轴向位移方向上方分别设置一测距仪。

13.根据权利要求12的双回道检测装置，其特征在于，各测距仪上分别设置有一限位位移机构用于带动该测距仪做该y轴向位移，是带动各该测距仪配合位移至相对于各该槽位上方，确保各该槽位依序通过各该测距仪下方检测各该待测组件z轴向的直线距离。

技术总结
本申请提供一种双回道检测装置及其检测方法，所述的装置是至少包含一测试平台、一承载盘与一检测单元，该测试平台于一侧设置有一第一位移机构与一第三位移机构，另一侧设置有一第二位移机构与一第四位移机构；其中，该第一位移机构与该第二位移机构带动其中一侧的该承载盘，该第三位移机构与该第四位移机构则带动另一侧的该承载盘，当各该承载盘于位移时交错，该第三位移机构与该第四位移机构则能进行位移使得各该承载盘相互回避，进而使各承载盘上的槽位依序通过该检测单元的下方，并对每一个该槽位内的待测组件进行检测。

技术研发人员：高宏典,吕孟恭,陈建名,罗文期,陈庭玮
受保护的技术使用者：致茂电子（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14