技术特征：
1.一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，其特征在于，包括谐振结构、介质基板和设于介质基板一端面上的共面波导，共面波导由中间的金属传输线和金属传输线两侧平行且间隔设置的金属接地线构成，金属传输线上蚀刻出至少一组谐振结构，每组所述谐振结构包括第一金属臂、第二金属臂和两个相对设置的尖端，其中一所述尖端生长在所述第一金属臂的末端，所述第二金属臂呈回形结构，另一所述尖端生长在所述第二金属臂上，两尖端之间形成公共电容间隙。2.如权利要求1所述的一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，其特征在于：所述第二金属臂和蚀刻宽度的宽度同为4um。3.如权利要求1所述的一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，其特征在于：所述共面波导的总长度为300um，厚度为0.4um,金属传输线的宽度为36um，金属接地线的宽度为74um，金属传输线与金属接地线间的间距为8um。4.如权利要求1所述的一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，其特征在于：所述公共电容间隙为2um。5.如权利要求1所述的一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，其特征在于：所述尖端呈三角形，三角形的底边长度为4um，高度为5um。6.如权利要求1所述的一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，其特征在于：所述介质基板材料为石英。7.如权利要求1所述的一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，其特征在于：在所述介质基板两端设有与共面波导相连的输入端口和输出端口。8.如权利要求7所述的一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，其特征在于：所述输入端口和输出端口的阻抗均为50欧姆。
技术总结
本发明公开一种基于共面波导与谐振结构结合的太赫兹生物传感器，包括谐振结构、介质基板和设于介质基板一端面上的共面波导，共面波导由中间的金属传输线和金属传输线两侧平行且间隔设置的金属接地线构成，金属传输线上蚀刻出至少一组谐振结构，每组所述谐振结构包括第一金属臂、第二金属臂和两个相对设置的尖端，其中一所述尖端生长在所述第一金属臂的末端，所述第二金属臂呈回形结构，另一所述尖端生长在所述第二金属臂上，两尖端之间形成公共电容间隙。本发明实现局域电场增强，增强了太赫兹波与生物样品间的相互作用，实现太赫兹范围内的高灵敏度生物检测。围内的高灵敏度生物检测。围内的高灵敏度生物检测。
技术研发人员：武京治 王艳红 刘川玉 李孟委
受保护的技术使用者：中北大学
技术研发日：2022.02.23
技术公布日：2022/5/25