晶圆存储系统及晶圆污染监控系统的制作方法

本申请涉及半导体制程领域，尤其涉及一种晶圆存储系统及晶圆污染监控系统。

背景技术：

1、在大尺寸的半导体晶圆的工艺中，通常使用晶圆盒作为储存及输送晶圆的装置，以减少生产环境中掉落颗粒在晶圆上。然而一般的晶圆盒无法监测晶圆存储环境中的微量气体的状态，随着制程技术的持续提升，晶圆盒内的微量气体也会造成晶圆的缺陷与良率的降低。

技术实现思路

1、有鉴于此，有必要提供一种晶圆存储系统及晶圆污染监控系统，能够高效的监测晶圆盒内的晶圆存储环境。

2、本申请的第一方面提供一种晶圆存储系统，包括晶圆盒，所述晶圆盒用于存储晶圆，所述晶圆存储系统还包括检测管道、控制单元和检测单元；

3、所述晶圆盒设置有出气接头及进气接头；

4、所述检测管道的一端连接所述出气接头，所述检测管道的另一端连接所述进气接头；

5、控制单元电连接至所述检测单元，用于向所述检测单元发送第一控制信号；

6、所述检测单元包括设置于所述检测管道的第一传感器，所述第一传感器用于响应于所述第一控制信号，检测所述晶圆盒内的气体，以得到晶圆存储环境数据。

7、可选地，所述晶圆存储系统还包括：与所述控制单元电连接的存储单元及通信单元；所述存储单元用于存储所述晶圆存储环境数据；所述控制单元还用于向所述通信单元发送第二控制信号；所述通信单元用于响应于所述第二控制信号，将存储的所述晶圆存储环境数据传输至数据库模块。

8、可选地，所述第一传感器为温湿度传感器、挥发性有机化合物传感器、氧气浓度传感器中的一种或多种。

9、可选地，所述晶圆盒设置有通孔，所述控制单元设置在所述晶圆盒的外部；所述检测单元包括第二传感器，所述第二传感器连接检测线的一端，所述检测线的另一端穿过所述通孔，并连接至所述控制单元。

10、可选地，所述第二传感器为气压传感器。

11、可选地，所述检测单元还包括第三传感器，所述第三传感器为加速度传感器，用于检测所述晶圆盒在移动过程中的加速度。

12、可选地，所述晶圆存储系统还包括显示单元，所述显示单元用于显示所述检测单元检测到的所述晶圆存储环境数据。

13、可选地，所述晶圆存储系统还包括输入单元，所述输入单元用于触发所述控制单元生成所述第一控制信号。

14、可选地，所述晶圆盒上设置有第一循环通道及第二循环通道，所述第一循环通道为气体出口，所述第二循环通道为气体入口；所述晶圆存储系统还包括气体循环单元，所述气体循环单元对应所述第一循环通道设置，用于通过所述第一循环通道将所述晶圆盒内的气体抽出，再通过所述第二循环通道将抽出的气体流入至所述晶圆盒内，以驱动所述晶圆盒内的气体循环流动。

15、本申请的第二方面提供一种晶圆污染监控系统，包括：数据库模块、电子设备及晶圆存储系统；

16、所述晶圆存储系统包括晶圆盒，所述晶圆盒用于存储晶圆，所述晶圆存储系统还包括检测管道、控制单元和检测单元；所述晶圆盒设置有出气接头及进气接头；所述检测管道的一端连接所述出气接头，所述检测管道的另一端连接所述进气接头；控制单元电连接至所述检测单元，用于向所述检测单元发送第一控制信号；所述检测单元用于响应于所述第一控制信号以进行检测，所述检测单元包括第一传感器，所述第一传感器设置于所述检测管道，用于对所述晶圆盒内抽出的气体进行检测，以得到晶圆存储环境数据，所述晶圆存储系统还用于将所述晶圆存储环境数据传输给所述数据库模块；

17、所述数据库模块用于接收所述晶圆存储系统发送的所述晶圆存储环境数据；

18、所述电子设备通信连接所述数据库模块，用于查看并调用所述晶圆存储环境数据。

19、本申请相比于现有技术，至少具有如下有益效果：

20、本申请通过为晶圆盒增加检测单元，从而在存储晶圆的同时，实现高效地对晶圆的存储环境进行监测，以得到晶圆存储环境数据。

技术特征：

1.一种晶圆存储系统，包括晶圆盒，所述晶圆盒用于存储晶圆，其特征在于，所述晶圆存储系统还包括检测管道、控制单元和检测单元；

2.如权利要求1所述的晶圆存储系统，其特征在于，所述晶圆存储系统还包括：与所述控制单元电连接的存储单元及通信单元；

3.如权利要求1所述的晶圆存储系统，其特征在于，所述第一传感器为温湿度传感器、挥发性有机化合物传感器、氧气浓度传感器中的一种或多种。

4.如权利要求1所述的晶圆存储系统，其特征在于，所述晶圆盒设置有通孔，所述控制单元设置在所述晶圆盒的外部；

5.如权利要求4所述的晶圆存储系统，其特征在于，所述第二传感器为气压传感器。

6.如权利要求1所述的晶圆存储系统，其特征在于，所述检测单元还包括第三传感器，所述第三传感器为加速度传感器，用于检测所述晶圆盒在移动过程中的加速度。

7.如权利要求1所述的晶圆存储系统，其特征在于，所述晶圆存储系统还包括显示单元，所述显示单元用于显示所述检测单元检测到的所述晶圆存储环境数据。

8.如权利要求1所述的晶圆存储系统，其特征在于，所述晶圆存储系统还包括输入单元，所述输入单元用于触发所述控制单元生成所述第一控制信号。

9.如权利要求1所述的晶圆存储系统，其特征在于，所述晶圆盒上设置有第一循环通道及第二循环通道，所述第一循环通道为气体出口，所述第二循环通道为气体入口；

10.一种晶圆污染监控系统，其特征在于，包括：数据库模块、电子设备及如权利要求1至9中任意一项所述的晶圆存储系统；

技术总结
本申请提出一种晶圆存储系统及晶圆污染监控系统，所述晶圆存储系统包括晶圆盒，所述晶圆盒用于存储晶圆，所述晶圆存储系统还包括检测管道、控制单元和检测单元；所述晶圆盒设置有出气接头及进气接头；所述检测管道的一端连接所述出气接头，所述检测管道的另一端连接所述进气接头；控制单元电连接至所述检测单元，用于向所述检测单元发送第一控制信号；所述检测单元包括设置于所述检测管道的第一传感器，所述第一传感器用于响应于所述第一控制信号，检测所述晶圆盒内的气体，以得到晶圆存储环境数据。

技术研发人员：陈春忠,吴昱纬,黄俊凯,张堂育
受保护的技术使用者：富士迈半导体精密工业（上海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16