探针结构的制作方法

本公开涉及一种探针。尤其涉及一种包含多个探针本体的探针结构。

背景技术：

1、公知技术中，集成电路芯片于制造的过程须进行电性测试，因此，集成电路芯片上形成有作为电极部的焊料球或焊料块。其中，为了在电极部与用于电性测试的探针间取得较佳的电性连接，需除去存在于电极部表面的氧化覆膜。据此，探针的端部会形成较锐利的形状，由此刺破氧化覆膜而得到较佳的接触。

2、探针接触待测试的集成电路芯片时会产生形变，为了缓冲探针的形变以确保探针本体的强度，现有技术的探针本体采用螺旋弹簧的结构。然而，采用螺旋弹簧的结构的探针具有至少以下缺点：(1)电信号传递效果不良；(2)电流流向不稳定；(3)增加结构耗损。

3、上文的“背景技术”说明仅提供背景技术，并未承认上文的“背景技术”说明公开本公开的标的，不构成本公开的背景技术，且上文的“背景技术”的任何说明均不应作为本发明的任一部分。

技术实现思路

1、本公开的目的在于提出一种探针结构，以解决上述至少一个问题。

2、本公开的一实施例提供一种探针结构，包含：多个本体，每一本体包含一端部，每一端部具有一表面；以及多个突出部，形成于多个所述表面上，朝同一方向延伸，其中，每一表面上形成有至少一突出部。

3、在一些实施例中，该多个本体包含一第一本体以及一第二本体，该第一本体与该第二本体邻接设置。

4、在一些实施例中，多个所述突出部包含一第一突出部以及一第二突出部，该第一突出部形成于该第一本体的该端部的该表面上，该第二突出部形成于该第二本体的该端部的该表面上。

5、在一些实施例中，多个所述突出部包含一第一突出部、一第二突出部以及一第三突出部，该第一突出部形成于该第一本体的该端部的该表面上，该第二突出部以及该第三突出部形成于该第二本体的该端部的该表面上。

6、在一些实施例中，多个所述突出部包含一第一突出部、一第二突出部、一第三突出部以及一第四突出部，该第一突出部以及该第二突出部形成于该第一本体的该端部的该表面上，该第三突出部以及该第四突出部形成于该第二本体的该端部的该表面上。

7、在一些实施例中，该多个本体包含一第一本体、一第二本体以及一第三本体，该第一本体、该第二本体以及该第三本体互相邻接设置。

8、在一些实施例中，该多个本体包含一第一本体、一第二本体以及一第三本体，该第一本体以及该第二本体分别与该第三本体邻接设置。

9、在一些实施例中，多个所述突出部包含一第一突出部、一第二突出部、一第三突出部以及一第四突出部，该第一突出部形成于该第一本体的该端部的该表面上，该第二突出部形成于该第二本体的该端部的该表面上，该第三突出部以及该第四突出部形成于该第三本体的该端部的该表面上。

10、在一些实施例中，每一本体与至少二本体邻接设置。

11、在一些实施例中，每一突出部具有尖端的形状。

12、在一些实施例中，多个所述突出部的尖端的顶点形成一平面，且该平面与任一表面平行。

13、在一些实施例中，每一突出部延伸的方向与相应的该表面垂直

14、本公开的另一实施例提供一种探针结构，包含：一第一本体，具有一第一接触端，其中，该第一接触端具有一第一表面；一第二本体，具有一第二接触端，其中，该第二接触端具有一第二表面；至少一第一尖端，形成于该第一表面且朝一方向延伸；以及至少一第二尖端，形成于该第二表面且朝该方向延伸；其中，该至少一第一尖端的顶点与该至少一第二尖端的顶点共线或共面，且该至少一第一尖端的顶点与该至少一第二尖端的顶点形成的一线段或一平面平行于该第一表面及该第二表面。

15、在一些实施例中，该线段或该平面朝该方向的反向，于该第一表面以及该第二表面上产生一投影，该投影与该第一表面以及该第二表面部分重叠。

16、在一些实施例中，该第一本体以及该第二本体邻接设置。

17、上文已相当广泛地概述本公开的技术特征及优点，以使下文的本公开详细描述得以获得较佳了解。构成本公开的权利要求标的的其它技术特征及优点将描述于下文。本公开所属技术领域中技术人员应了解，可相当容易地利用下文公开的概念与特定实施例可作为修改或设计其它结构或工艺而实现与本公开相同的目的。本公开所属技术领域中技术人员亦应了解，这类等效建构无法脱离随附的权利要求所界定的本公开的精神和范围。

1.一种探针结构，包含：

2.如权利要求1所述的探针结构，其中，该多个本体包含一第一本体以及一第二本体，该第一本体与该第二本体邻接设置。

3.如权利要求2所述的探针结构，其中，多个所述突出部包含一第一突出部以及一第二突出部，该第一突出部形成于该第一本体的该端部的该表面上，该第二突出部形成于该第二本体的该端部的该表面上。

4.如权利要求2所述的探针结构，其中，多个所述突出部包含一第一突出部、一第二突出部以及一第三突出部，该第一突出部形成于该第一本体的该端部的该表面上，该第二突出部以及该第三突出部形成于该第二本体的该端部的该表面上。

5.如权利要求2所述的探针结构，其中，多个所述突出部包含一第一突出部、一第二突出部、一第三突出部以及一第四突出部，该第一突出部以及该第二突出部形成于该第一本体的该端部的该表面上，该第三突出部以及该第四突出部形成于该第二本体的该端部的该表面上。

6.如权利要求1所述的探针结构，其中，该多个本体包含一第一本体、一第二本体以及一第三本体，该第一本体、该第二本体以及该第三本体互相邻接设置。

7.如权利要求1所述的探针结构，其中，该多个本体包含一第一本体、一第二本体以及一第三本体，该第一本体以及该第二本体分别与该第三本体邻接设置。

8.如权利要求6或7所述的探针结构，其中，多个所述突出部包含一第一突出部、一第二突出部、一第三突出部以及一第四突出部，该第一突出部形成于该第一本体的该端部的该表面上，该第二突出部形成于该第二本体的该端部的该表面上，该第三突出部以及该第四突出部形成于该第三本体的该端部的该表面上。

9.如权利要求1所述的探针结构，其中，每一本体与至少二本体邻接设置。

10.如权利要求1所述的探针结构，其中，每一突出部具有尖端的形状。

11.如权利要求10所述的探针结构，其中，多个所述突出部的尖端的顶点形成一平面，且该平面与任一表面平行。

12.如权利要求1所述的探针结构，其中，每一突出部延伸的方向与相应的该表面垂直。

13.一种探针结构，包含：

14.如权利要求13所述的探针结构，其中，该线段或该平面朝该方向的反向，于该第一表面以及该第二表面上产生一投影，该投影与该第一表面以及该第二表面部分重叠。

15.如权利要求13所述的探针结构，其中，该第一本体以及该第二本体邻接设置。